| 31/02 | . | контактированием с диффузионным материалом в твердом состоянии [3] |
| 31/04 | . | контактированием с диффузионным материалом в жидком состоянии [3] |
| 31/06 | . | контактированием с диффузионным материалом в газообразном состоянии (31/18 имеет преимущество) [3] |
| 31/08 | . . | с диффузионным материалом, являющимся соединением элементов, способным к диффузии [3] |
| 31/10 | . . | реакционные камеры; выбор материала для них [3] |
| 31/12 | . . | нагревание реакционной камеры [3] |
| 31/14 | . . | держатели или приемники подложек [3] |
| 31/16 | . . | средства для подачи или выпуска газов; изменение потока газов [3] |
| 31/18 | . . | управление или регулирование (управление или регулирование вообще G 05) [3] |
| 31/20 | . | легирование путем облучения электромагнитными волнами или облучения частицами [3] |
| 31/22 | . . | ионным внедрением [3] |