В начало Российская ФедерацияРоссийская Федерация РОСПАТЕНТ
ЕАПО > РОСПАТЕНТ > Международная патентная классификация English

 

Введение в МПК

Текст МПК8

 A   B   C   D   E   F   G   H 
 МПК7 
 МПК6 
  C 
 C23 
 C23C 

IPC - English

IPC - France


Российская Федерация Российская Федерация
C23C 16/00 - Химическое нанесение покрытия путем разложения газообразных соединений, причем продукты реакции не остаются в покрытии, т.е. способы химического осаждения паров (ХОП) (распыление или вакуумное испарение 14/00) [4]
 16/01. на временных подложках, например на подложках, последовательно удаляемых травлением [7]
 16/02. предварительная обработка покрываемого материала (16/04 имеет преимущество) [4]
 16/04. нанесение покрытия на выбранные участки поверхности, например с использованием масок [4]
 16/06. характеризуемые осаждением металлического материала [4]
 16/08. . из галогенидов металлов [4]
 16/10. . . осаждение только хрома [4]
 16/12. . . осаждение только алюминия [4]
 16/14. . . осаждение только одного другого металла [4]
 16/16. . из карбонилов металлов [4]
 16/18. . из металлоорганических соединений [4]
 16/20. . . осаждение только алюминия [4]
 16/22. характеризуемые осаждением неорганического материала иного, чем металлический [4]
 16/24. . осаждение только кремния [4]
 16/26. . осаждение только углерода [4]
 16/27. . . осаждением только алмаза [7]
 16/28. . осаждение только одного другого неметалла [4]
 16/30. . осаждение соединений, смесей или твердых растворов, например боридов, карбидов, нитридов [4]
 16/32. . . карбиды [4]
 16/34. . . нитриды [4]
 16/36. . . карбонитриды [4]
 16/38. . . бориды [4]
 16/40. . . оксиды [4]
 16/42. . . силициды [4]
 16/44. характеризуемые способом покрытия (16/04 имеет преимущество) [4]
 16/442. . способами в псевдоожиженном слое [7]
 16/448. . характеризуемые способом, используемым для генерирования реакционноспособных газовых струй, например путем испарения или сублимации промежуточных материалов [7]
 16/452. . . путем активирования реакционноспособных газовых струй перед вхождением в реакционную камеру, например путем ионизации или добавления реакционноспособных частиц [7]
 16/453. . прохождение реакционноспособных газов через форсунки или горелки, например ХОП при атмосферном давлении (16/513 имеет преимущество; для пламенного или плазменного распыления покрывающего материала в расплавленном состоянии 4/00) [7]
 16/455. . характеризуемые способом, используемым для введения газов в реакционную камеру или для модифицирования газовых потоков в реакционной камере [7]
 16/458. . характеризуемые способом, используемым для поддерживания подложек в реакционной камере [7]
 16/46. . характеризуемые способом, используемым для нагрева подложки (16/48,16/50 имеют преимущество) [4]
 16/48. . путем облучения, например фотолиза, радиолиза, корпускулярного излучения [4]
 16/50. . путем использования электрических разрядов [4]
 16/503. . . с использованием разрядов постоянного или переменного тока [7]
 16/505. . . с использованием радиочастотных разрядов [7]
 16/507. . . . с использованием внешних электродов, например в реакторах туннельного типа [7]
 16/509. . . . с использованием внутренних электродов [7]
 16/511. . . с использованием микроволновых разрядов [7]
 16/513. . . с использованием плазменных струй [7]
 16/515. . . с использованием пульсирующих разрядов [7]
 16/517. . . с использованием комбинации разрядов, охватываемых двумя или более группами 16/503-16/515 [7]
 16/52. . управление или регулирование способа покрытия (управление или регулирование вообще G 05) [4]
 16/54. . устройства, специально приспособленные для непрерывного покрытия [4]
 16/56. последующая обработка [4]
Введение в МПК         Текст МПК8         IPC - English         IPC - France