В начало Российская ФедерацияРоссийская Федерация РОСПАТЕНТ
English

Российская Федерация Российская Федерация
C23C 14/00 - Покрытие вакуумным испарением, распылением металлов или ионным внедрением материала, образующего покрытие (разрядные трубки с устройствами для ввода объектов или материалов, подлежащих воздействию разряда H 01J 37/00) [6]
 14/02предварительная обработка покрываемого материала (14/04 имеет преимущество) [4]
 14/04нанесение покрытия на выбранный участок поверхности, например с использованием масок [4]
 14/06характеризуемые покрывающим материалом (14/04 имеет преимущество) [4]
 14/08. . оксиды (14/10 имеет преимущество) [4]
 14/10. . стекло или кремнезем [4]
 14/12. . органический материал [4]
 14/14. . металлический материал, бор или кремний [4]
 14/16. . на металлическую подложку или на подложку из бора или кремния [4]
 14/18. . на другие неорганические подложки [4]
 14/20. . на органические подложки [4]
 14/22характеризуемые способом покрытия [4]
 14/24. . вакуумное испарение [4]
 14/26. . с использованием источника резистивного или индуктивного нагрева [4]
 14/28. . с использованием волновой энергии или облучения частицами (14/32-14/48 имеют преимущество) [4]
 14/30. . . . электронной бомбардировкой [4]
 14/32. . с использованием взрыва, испарения и последовательной ионизации паров (14/34-14/48 имеют преимущество) [4]
 14/34. . распыление металлов [4]
 14/35. . с использованием магнитного поля, например распыление магнетроном [5]
 14/36. . диодное распыление (14/35 имеет преимущество) [4,5]
 14/38. . . . с помощью тлеющего разряда постоянного тока [4]
 14/40. . . . с помощью разряда переменного тока, например высокочастотного разряда [4]
 14/42. . триодное распыление (14/35 имеет преимущество) [4,5]
 14/44. . . . с применением высоких частот и дополнительного постоянного напряжения [4]
 14/46. . с помощью ионного луча, получаемого от внешнего ионного источника (14/40 имеет преимущество) [4]
 14/48. . ионное внедрение [4]
 14/50. . держатели подложек [4]
 14/52. . средства наблюдения за процессом покрытия [4]
 14/54. . управление или регулирование способа нанесения покрытия (управление или регулирование вообще G 05) [4]
 14/56. . устройства, специально приспособленные для непрерывного процесса покрытия; приспособления для поддержания вакуума, например вакуумные затворы [4]
 14/58последующая обработка [4]
Введение в МПК         Текст МПК8         IPC - English         IPC - France