| 14/02 | . | предварительная обработка покрываемого материала (14/04 имеет преимущество) [4] |
| 14/04 | . | нанесение покрытия на выбранный участок поверхности, например с использованием масок [4] |
| 14/06 | . | характеризуемые покрывающим материалом (14/04 имеет преимущество) [4] |
| 14/08 | . . | оксиды (14/10 имеет преимущество) [4] |
| 14/10 | . . | стекло или кремнезем [4] |
| 14/12 | . . | органический материал [4] |
| 14/14 | . . | металлический материал, бор или кремний [4] |
| 14/16 | . . | . | на металлическую подложку или на подложку из бора или кремния [4] |
| 14/18 | . . | . | на другие неорганические подложки [4] |
| 14/20 | . . | . | на органические подложки [4] |
| 14/22 | . | характеризуемые способом покрытия [4] |
| 14/24 | . . | вакуумное испарение [4] |
| 14/26 | . . | . | с использованием источника резистивного или индуктивного нагрева [4] |
| 14/28 | . . | . | с использованием волновой энергии или облучения частицами (14/32-14/48 имеют преимущество) [4] |
| 14/30 | . . | . . | электронной бомбардировкой [4] |
| 14/32 | . . | . | с использованием взрыва, испарения и последовательной ионизации паров (14/34-14/48 имеют преимущество) [4] |
| 14/34 | . . | распыление металлов [4] |
| 14/35 | . . | . | с использованием магнитного поля, например распыление магнетроном [5] |
| 14/36 | . . | . | диодное распыление (14/35 имеет преимущество) [4,5] |
| 14/38 | . . | . . | с помощью тлеющего разряда постоянного тока [4] |
| 14/40 | . . | . . | с помощью разряда переменного тока, например высокочастотного разряда [4] |
| 14/42 | . . | . | триодное распыление (14/35 имеет преимущество) [4,5] |
| 14/44 | . . | . . | с применением высоких частот и дополнительного постоянного напряжения [4] |
| 14/46 | . . | . | с помощью ионного луча, получаемого от внешнего ионного источника (14/40 имеет преимущество) [4] |
| 14/48 | . . | ионное внедрение [4] |
| 14/50 | . . | держатели подложек [4] |
| 14/52 | . . | средства наблюдения за процессом покрытия [4] |
| 14/54 | . . | управление или регулирование способа нанесения покрытия (управление или регулирование вообще G 05) [4] |
| 14/56 | . . | устройства, специально приспособленные для непрерывного процесса покрытия; приспособления для поддержания вакуума, например вакуумные затворы [4] |
| 14/58 | . | последующая обработка [4] |