B81B 7/00 - Микроструктурные системы [7]
| 7/02 | . | содержащие отдельные электрические или оптические устройства, необходимые для их функционирования, например микроэлектромеханические системы (МЭМС) (7/04 имеет преимущество) [7] |
| 7/04 | . | Схемы или матрицы микроструктурных элементов [7] |
|
 |