| | Примечания: | (1) К данному классу отнесены микроструктурные устройства или системы, включающие по крайней мере один существенный элемент или структуру, характеризующиеся очень малым размером, главным образом в интервале от 10-4 до 10-7 метра, т.е. их существенные размеры, по крайней мере в одном измерении, не могут быть полностью распознаны без использования оптического микроскопа. [7] |
| | | (2) В данном классе используемые выражения имеют следующие значения: |
| | | | - к "микроструктурным устройствам" отнесены: |
| | | | | (i) микромеханические устройства с подвижными, гибкими или деформируемыми элементами и [7] |
| | | | | (ii) трехмерные структуры без подвижных, гибких или деформируемых элементов, имеющие микрообразования, предназначенные для выполнения существенной функции взаимодействия с окружающей средой, причем эта функция не является чисто электронной или химической, независимо от того, объединены ли эти структуры с микроэлектронными устройствами или образованы из специфических материалов; [7] |
| | | | - к "микроструктурным системам" отнесены: |
| | | | | (i) системы взаимодействия микроструктурных устройств и [7] |
| | | | | (ii) микроэлектромеханические или микрооптомеханические системы, которые объединяют на общей подложке специфические элементы микроструктурных устройств и электрических или оптических компонентов, например для управления микроструктурными устройствами , их контроля или сигнализации о функционировании. [7] |
|
| | B81B | Микроструктурные устройства или системы, например микромеханические устройства (пьезоэлектрические, электрострикционные или магнитострикционные приборы как таковые H 01L 41/00) [7] |
| | B81C | Способы или устройства, специально предназначенные для изготовления или обработки микроструктурных устройств или систем (изготовление микрокапсул или микросферических газоконтейнеров B 01J 13/02; способы или устройства, специально предназначенные для изготовления или обработки пьезоэлектрических, электрострикционных или магнитострикционных элементов как таковые H 01L 41/22) [7] |
ЕАПО > РОСПАТЕНТ
> Международная патентная классификация
МПК7
