EA 010259B1 20080630

	Патентная документация ЕАПВ
Запрос:	ea000010259b*\id
Результат:	ID\|Номер и дата охранного документа

больше ...

Термины запроса в документе

Реферат

1. Способ создания заказа на фотомаску, содержащий стадии

создания интерфейса пользователя для общей информации, подсказывающего пользователю ввести общие данные о заказчике, размещающем заказ на фотомаску,

создания интерфейса пользователя для пользовательского заказа, подсказывающего пользователю ввести специальные данные, необходимые для завершения заказа на фотомаску, на основе общих данных и/или специальных данных, ранее введенных пользователем,

создания файла характеристик на основе специальных данных,

обеспечения доступа в файл команд сценариев, используемый для создания заказа на фотомаску, на основе файла характеристик, и

создания заказа на фотомаску с использованием файла команд сценариев.

2. Способ по п.1, в котором общие данные включают информацию, идентифицирующую заказчика.

3. Способ по п.2, в котором общие данные включают имя регистрации и пароль.

4. Способ по п.1, в котором специальные данные содержат по меньшей мере один из следующих элементов: информацию о выставлении счетов, информацию о поставках, информацию о типе изделия, информацию об оборудовании шагового мультипликатора, информацию о конечном изделии, наименование устройства, названия масок, необходимые данные, число компакт-дисков, цифровые данные звуковой информации, техническое задание на инструментальную обработку.

5. Способ по п.1, в котором специальные данные включают данные, которые занесены предварительно.

6. Способ по п.5, в котором предварительно занесенные данные включают данные, которые может редактировать пользователь.

7. Способ по п.1, в котором специальные данные, которые запрашиваются интерфейсом пользователя для пользовательского заказа, содержат данные, которые отличаются от данных стандартного заказа на фотомаску.

8. Способ по п.1, в котором файл характеристик является совместимым для использования по меньшей мере в одной из различных систем создания заказов на фотомаски.

9. Способ по п.1, в котором заказ на фотомаску создан по меньшей мере в одном из различных собственных и стандартных форматов заказов на фотомаски.

10. Способ по п.1, в котором заказ на фотомаску является полным заказом в стандартном формате заказов на фотомаски или в собственном формате заказов на фотомаски.

11. Способ по п.1, в котором заказ на фотомаску является неполным заказом в стандартном формате заказов на фотомаски или в собственном формате заказов на фотомаски.

12. Способ по п.1, дополнительно содержащий стадию проверки специальных данных, введенных пользователем, на достоверность.

13. Способ по п.12, дополнительно содержащий стадию подсказки пользователю ввести правильные данные, когда в процессе проверки обнаруживаются ошибки во введенных специальных данных.

14. Способ по п.1, дополнительно содержащий стадию передачи заказа на фотомаску в компьютерную систему изготовителя фотомаски для дальнейшей обработки.

15. Способ по п.14, дополнительно содержащий стадию приема сообщения из компьютерной системы изготовителя фотомаски, подтверждающего статус заказа на фотомаску.

16. Способ по п.14, дополнительно содержащий стадию приема сообщения из компьютерной системы изготовителя фотомаски, идентифицирующего по меньшей мере одну ошибку в заказе на фотомаску.

17. Способ по п.14, дополнительно содержащий стадию приема сообщения из компьютерной системы изготовителя фотомаски, подтверждающего, что заказ на фотомаску передан правильно и полностью.

18. Способ по п.14, в котором заказ на фотомаску передают с использованием одного из следующих протоколов: FTP, HTTP, SMTP и любой прикладной программы, поддерживаемой протоколом передачи.

19. Способ по п.14, дополнительно содержащий стадию верификации, по меньшей мере, достоверности, выполнимости или желательности заказа на фотомаску.

20. Способ по п.19, дополнительно содержащий стадию модификации специальных данных на основе результатов стадии верификации.

21. Способ по п.20, в котором специальные данные подвергаются модификации автоматически.

22. Способ по п.20, в котором специальные данные подвергаются модификации пользователем вручную.

23. Способ по п.1, в котором интерфейс пользователя для общей информации является экраном ввода общей информации, созданным компьютером.

24. Способ по п.23, в котором интерфейс пользователя для пользовательского заказа является экраном ввода пользовательского заказа, созданным компьютером.

25. Способ по п.24, в котором экран ввода общей информации и экран ввода пользовательского заказа создаются в локальном компьютере.

26. Способ по п.1, в котором экран ввода общей информации и экран ввода пользовательского заказа создаются в компьютере, расположенном вдали от компьютера, используемого пользователем.

27. Способ по п.24, в котором экран ввода общей информации и экран ввода пользовательского заказа создаются в компьютере, расположенном в интрасети вместе с компьютером, используемым пользователем.

28. Способ по п.24, в котором экран ввода общей информации и экран ввода пользовательского заказа создаются в компьютере, расположенном в экстрасети вместе с компьютером, используемым пользователем.

29. Система создания заказа на фотомаску, содержащая

генератор интерфейса пользователя для общей информации, предназначенный для создания и форматирования интерфейса пользователя для общей информации, подсказывающего пользователю ввести общие данные, относящиеся к заказчику, размещающему заказ на фотомаску,

генератор интерфейса пользователя для пользовательского заказа, предназначенный для создания и форматирования интерфейса пользователя для пользовательского заказа, подсказывающего пользователю ввести специальные данные, относящиеся к заказу на фотомаску, на основе общих данных и/или специальных данных, введенных ранее,

генератор сценариев, предназначенный для доступа в соответствующий набор сценариев для запуска на основе специальных данных, введенных на экран ввода пользовательского заказа,

подсистему сценариев, предназначенную для запуска набора сценариев, определяемых подсистемой сценариев, с целью преобразования специальных данных в компоненты заказа на фотомаску, и

генератор заказа на фотомаску, предназначенный для создания полного или неполного заказа на фотомаску на основе компонентов заказа на фотомаску.

30. Система по п.29, в которой общие данные содержат информацию, идентифицирующую заказчика.

31. Система по п.31, в которой общие данные включают имя регистрации и пароль.

32. Система по п.29, в которой специальные данные содержат по меньшей мере один из следующих элементов: информацию о выставлении счетов, информацию о поставках, информацию о типе изделия, информацию об оборудовании шагового мультипликатора, информацию о конечном изделии, наименование устройства, названия масок, необходимые данные, число компакт-дисков, цифровые данные звуковой информации, техническое задание на инструментальную обработку.

33. Система по п.29, в которой по меньшей мере часть данных, подлежащих вводу в качестве специальных данных, занесены предварительно.

34. Система по п.29, в которой по меньшей мере часть данных может редактировать пользователь.

35. Система по п.29, в которой страница ввода пользовательского заказа подсказывает пользователю ввести лишь данные, которые отличаются от данных стандартного заказа на фотомаску.

36. Система по п.29, дополнительно содержащая файл характеристик, который хранит специальные данные в формате, совместимом с генератором заказа на фотомаску.

37. Система по п.35, в которой файл характеристик выполнен в виде базы данных.

38. Система по п.36, в которой файл характеристик является совместимым для использования по меньшей мере с одним из различных генераторов заказов на фотомаски.

39. Система по п.29, в которой интерфейс пользователя для общих данных является Web-страницей.

40. Система по п.29, в которой интерфейс пользователя для общих данных включает последовательность соединенных друг с другом Web-страниц.

41. Система по п.29, в которой интерфейс пользователя для пользовательского заказа является Web-страницей.

42. Система по п.29, в которой интерфейс пользователя для пользовательского заказа содержит последовательность соединенных друг с другом Web-страниц.

43. Система по п.36, в которой подсистема составления сценариев преобразует файл характеристик в объектную модель заказа на фотомаску.

44. Система по п.29, в которой заказ на фотомаску создан по меньшей мере в одном из различных собственных и стандартных форматов заказов на фотомаски.

45. Система по п.29, в которой заказ на фотомаску является полным заказом в стандартном формате заказов на фотомаски или в собственном формате заказов на фотомаски.

46. Система по п.29, в которой заказ на фотомаску является неполным заказом в стандартном формате заказов на фотомаски или в собственном формате заказов на фотомаски.

47. Система по п.29, дополнительно содержащая систему верификации, предназначенную для проверки достоверности специальных данных, введенных пользователем.

48. Система по п.29, в которой система верификации подсказывает пользователю ввести правильные данные, когда процесс проверки выявляет ошибки во введенных специальных данных.

49. Система по п.47, в которой система верификации содержит передатчик заказа на фотомаску, предназначенный для передачи заказа на фотомаску в компьютерную систему изготовителя фотомаски для дальнейшей обработки.

50. Система по п.49, в которой система верификации дополнительно содержит систему передачи сообщений, предназначенную для передачи сообщения из компьютерной системы изготовителя фотомаски к пользователю, подтверждающего статус заказа на фотомаску.

51. Система по п.50, в которой сообщение передается по меньшей мере в одном из следующих форматов: электронной почты, звуковой сигнализации или мобильного телефона.

52. Система по п.50, в которой система передачи сообщений передает сообщение из компьютерной системы изготовителя фотомаски к пользователю, идентифицирующее по меньшей мере одну ошибку в заказе на фотомаску.

53. Система по п.50, в которой система передачи сообщений передает сообщение из компьютерной системы изготовителя фотомаски к пользователю, указывающее, что заказ на фотомаску полностью и правильно передан.

54. Система по п.49, в которой передатчик заказа на фотомаску передает заказ на фотомаску с использованием одного из следующих протоколов: FTP, HTTP, SMTP и любой прикладной программы, поддерживаемой протоколом передачи.

55. Система для создания заказов на фотомаски, содержащая читаемый компьютером носитель информации, содержащий читаемые компьютером команды, выполняемые процессором для выполнения способа, содержащего стадии

создания файла характеристик на основе специальных данных;

доступа в файл команд сценариев, используемого для создания заказа на фотомаску, на основе файла характеристик, и

создания заказа на фотомаску с использованием файла команд сценариев.

56. Система по п.55, в которой общие данные содержат информацию, идентифицирующую заказчика.

57. Система по п.56, в которой общие данные включают имя регистрации и пароль.

58. Система по п.55, в которой специальные данные содержат по меньшей мере один из следующих элементов: информацию о выставлении счетов, информацию о поставках, информацию о типе изделия, информацию об оборудовании шагового мультипликатора, информацию о конечном изделии, наименование устройства, названия масок, необходимые данные, число компакт-дисков, цифровые данные звуковой информации, техническое задание на инструментальную обработку.

59. Система по п.55, в которой специальные данные содержат данные, которые занесены предварительно.

60. Система по п.59, в которой предварительно занесенные данные содержат данные, которые может редактировать пользователь.

61. Система по п.55, в которой специальные данные, которые вводятся по подсказкам страницы ввода пользовательского заказа, содержат данные, которые отличаются от данных стандартного заказа на фотомаску.

62. Система по п.55, в которой файл характеристик является совместимым для использования по меньшей мере с одной из различных систем создания заказов на фотомаски.

63. Система по п.55, в которой заказ на фотомаску создан по меньшей мере в одном из различных собственных и стандартных форматов заказов на фотомаски.

64. Система по п.55, в которой заказ на фотомаску является полным заказом в стандартном формате заказов на фотомаски или в собственном формате заказов на фотомаски.

65. Система по п.55, в которой заказ на фотомаску является неполным заказом в стандартном формате заказов на фотомаски или в собственном формате заказов на фотомаски.

66. Система по п.55, дополнительно содержащая стадию проверки на достоверность специальных данных, введенных пользователем.

67. Система по п.66, дополнительно содержащая стадию подсказки пользователю ввести правильные данные, когда в процессе проверки обнаруживаются ошибки во введенных специальных данных.

68. Система по п.55, дополнительно содержащая стадию передачи заказа на фотомаску в компьютерную систему изготовителя фотомаски для дальнейшей обработки.

69. Система по п.68, дополнительно содержащая стадию приема сообщения из компьютерной системы изготовителя фотомаски, подтверждающего статус заказа на фотомаску.

70. Система по п.68, дополнительно содержащая стадию приема сообщения из компьютерной системы изготовителя фотомаски, идентифицирующего по меньшей мере одну ошибку в заказе на фотомаску.

71. Система по п.68, дополнительно содержащая стадию приема сообщения из компьютерной системы изготовителя фотомаски, подтверждающего, что заказ на фотомаску передан правильно и полностью.

72. Система по п.68, в которой заказ на фотомаску передается с использованием одного из следующих протоколов: FTP, HTTP, SMTP и любой прикладной программы, поддерживаемой протоколом передачи.

73. Система по п.68, дополнительно содержащая стадию верификации, по меньшей мере, достоверности, выполнимости или желательности заказа на фотомаску.

74. Система по п.73, дополнительно содержащая стадию модификации специальных данных на основе результатов стадии верификации.

75. Система по п.74, в которой специальные данные подвергаются модификации автоматически.

76. Система по п.74, в которой специальные данные подвергаются модификации пользователем вручную.

77. Система по п.55, в которой интерфейс пользователя для общей информации и интерфейс пользователя для пользовательского заказа являются экранами, созданными в локальном компьютере.

78. Система по п.55, в которой экран ввода общей информации и экран ввода пользовательского заказа созданы в компьютере, расположенном вдали от компьютера, используемого пользователем.

79. Система по п.55, в которой экран ввода общей информации и экран ввода пользовательского заказа создаются в компьютере, расположенном в интрасети вместе с компьютером, используемым пользователем.

80. Система по п.55, в которой экран ввода общей информации и экран ввода пользовательского заказа создаются в компьютере, расположенном в экстрасети вместе с компьютером, используемым пользователем.

81. Способ обработки заказа на фотомаску, содержащий стадии

создания интерфейса пользователя для общей информации, подсказывающего пользователю ввести общие данные о заказчике, размещающем заказ на фотомаску;

создания интерфейса пользователя для пользовательского заказа, подсказывающего пользователю ввести специальные данные, необходимые для обработки заказа на фотомаску, на основе общих данных и/или введенных ранее специальных данных;

создания файла характеристик на основе специальных данных;

создания установочного файла для системы обработки заказа на фотомаску посредством доступа в файл команд сценариев на основе файла характеристик;

установки системы обработки заказа на фотомаску с использованием файла установки и

обработки заказа на фотомаску с использованием системы обработки заказа на фотомаску.

82. Способ отслеживания заказа на фотомаску, содержащему стадии

создания интерфейса пользователя для общей информации, подсказывающего пользователю ввести общие данные об условиях изготовления заказа на фотомаску;

создания интерфейса пользователя для пользовательского заказа, подсказывающего пользователю ввести специальные данные, относящиеся к условиям изготовления заказа на фотомаску, на основе общих данных и/или введенных ранее специальных данных;

создания файла характеристик на основе специальных данных и

создания сообщения посредством доступа в файл команд сценариев на основе файла характеристик.

Полный текст патента

(57) Реферат / Формула:
Способ создания заказа на фотомаску, содержащий стадии

создания файла характеристик на основе специальных данных,

создания заказа на фотомаску с использованием файла команд сценариев.

2. Способ по п.1, в котором общие данные включают информацию, идентифицирующую заказчика.

3. Способ по п.2, в котором общие данные включают имя регистрации и пароль.

5. Способ по п.1, в котором специальные данные включают данные, которые занесены предварительно.

21. Способ по п.20, в котором специальные данные подвергаются модификации автоматически.

22. Способ по п.20, в котором специальные данные подвергаются модификации пользователем вручную.

29. Система создания заказа на фотомаску, содержащая

30. Система по п.29, в которой общие данные содержат информацию, идентифицирующую заказчика.

31. Система по п.31, в которой общие данные включают имя регистрации и пароль.

34. Система по п.29, в которой по меньшей мере часть данных может редактировать пользователь.

37. Система по п.35, в которой файл характеристик выполнен в виде базы данных.

39. Система по п.29, в которой интерфейс пользователя для общих данных является Web-страницей.

41. Система по п.29, в которой интерфейс пользователя для пользовательского заказа является Web-страницей.

создания файла характеристик на основе специальных данных;

создания заказа на фотомаску с использованием файла команд сценариев.

56. Система по п.55, в которой общие данные содержат информацию, идентифицирующую заказчика.

57. Система по п.56, в которой общие данные включают имя регистрации и пароль.

59. Система по п.55, в которой специальные данные содержат данные, которые занесены предварительно.

75. Система по п.74, в которой специальные данные подвергаются модификации автоматически.

76. Система по п.74, в которой специальные данные подвергаются модификации пользователем вручную.

81. Способ обработки заказа на фотомаску, содержащий стадии

создания файла характеристик на основе специальных данных;

установки системы обработки заказа на фотомаску с использованием файла установки и

обработки заказа на фотомаску с использованием системы обработки заказа на фотомаску.

82. Способ отслеживания заказа на фотомаску, содержащему стадии

создания файла характеристик на основе специальных данных и

создания сообщения посредством доступа в файл команд сценариев на основе файла характеристик.

010259
Область техники, к которой относится изобретение
Данное изобретение относится, в целом, к системе и способу для создания и/или обработки заказа на фотомаску с использованием системы профилирования сценариев. В частности, данное изобретение относится к основанному на программном обеспечении приложению, которое может создавать заказ на фотомаску, который можно передавать в обрабатывающую систему изготовителя фотомасок с целью изготовления фотомаски.
Уровень техники
Фотомаски являются высокоточными пластинами, содержащими микроскопические изображения электронных схем. Фотомаски обычно выполнены из очень плоских кусков кварца или стекла со слоем хрома на одной стороне. В хроме вытравлена часть конструкции электронной схемы. Конструкцию схемы на фотомаске называют также "геометрией".
Типичная фотомаска, используемая для изготовления полупроводниковых приборов, формируется из "чистой" или "непроявленной" фотомаски. Как показано на фиг. 1, типичная чистая фотомаска 10 состоит из трех или четырех слоев. Первый слой 11 является слоем кварца или другого, по существу, прозрачного материала, обычно называемого подложкой. Следующий слой является обычно слоем непрозрачного материала 12, такого как Cr, который часто включает третий слой противоотражательного материала 13, такого как CrO. Противоотражательный слой может быть включен или не включен в любую заданную фотомаску. Верхний слой обычно является слоем светочувствительного резистивного материала 14. Известны и используются также другие типы фотомасок, включая, но не ограничиваясь этим, фазосдвигающие маски, встроенные фазосдвигающие маски с ослаблением (EAPSM) и фазосдвигающие маски с изменяемой апертурой (AAPSM).
Процесс изготовления фотомаски включает множество стадий и может занимать много времени. При этом для изготовления фотомаски желаемый рисунок непрозрачного материала 12, подлежащий созданию на фотомаске 10, обычно задается электронным файлом данных, загружаемым в систему экспонирования, которая обычно сканирует электронным пучком или лазерным лучом растровым или векторным образом по чистой фотомаске. Пример такой растровой системы экспонирования описан в патенте США № 3900737, выданном Колльеру. Каждая отдельная система экспонирования имеет свое собственное программное обеспечение и формат для обработки данных для выдачи команд оборудованию при экспонировании чистой фотомаски. При сканировании электронного пучка или лазерного луча по чистой фотомаске 10 система экспонирования направляет электронный пучок или лазерный луч на адресуемые места на фотомаске в соответствии с электронным файлом данных. Зоны светочувствительного резистивного материала, которые экспонируются электронным пучком или лазерным лучом, становятся растворимыми, в то время как не экспонированные части остаются нерастворимыми. Для определения, где электронный пучок или лазерный луч должны экспонировать фоторезист 14 на чистой фотомаске 10, а где нет, необходимо обеспечивать для обрабатывающего оборудования соответствующие команды в виде пакета заданий.
После сканирования системой экспонирования желаемого изображения на светочувствительный ре-зистивный материал 14, как показано на фиг. 2, растворимый светочувствительный резистивный материал удаляют с помощью средств, хорошо известных из уровня техники, а не экспонированный, нерастворимый светочувствительный резистивный материал 14' остается сцепленным с непрозрачным материалом 13 и 12. Таким образом, подлежащий формированию рисунок на фотомаске 10 образуется остающимся светочувствительным резистивным материалом 14'.
Затем рисунок переносится с оставшегося фоторезистивного материала 14' на фотомаску 10 с помощью известного процесса травления для удаления противоотражательного материала 13 и непрозрачного материала 12 в зонах, которые не покрыты оставшимся фоторезистом 14'. Имеется большое множество процессов травления, известных из уровня техники, включая сухое травление, а также влажное травление, и таким образом используется различное оборудование для выполнения такого травления. После завершения травления оставшийся фоторезистивный материал 14' снимают или удаляют и получают готовую фотомаску, как показано на фиг. 3. В готовой фотомаске рисунок, первоначально задаваемый оставшимся противоотражательным материалом 13' и непрозрачным материалом 12', расположен в зонах, где остается остаточный фоторезист 14' после удаления растворимых материалов на предыдущих стадиях.
Для определения наличия каких-либо недопустимых погрешностей в конкретной фотомаске необходимо инспектировать фотомаску. Погрешностью является любой дефект, влияющий на конструкцию схемы. Это включает нежелательные зоны хрома (пятна хрома, выступающие части хрома, мостики из хрома между элементами конструкции схемы) или нежелательные чистые зоны (тонкие отверстия, чистые выступающие части, чистые разрывы). Дефект может приводить к выходу из строя схемы заказчика. Заказчик в своей спецификации дефектов указывает размер дефектов, которые могут нарушать работу схемы. Все дефекты этого размера и больше должны быть исправлены, или же, если они не могут быть исправлены, маска идет в брак и записывается заново.
Для обнаружения дефектов обычно используются автоматические системы инспекции маски, такие как изготавливаемые фирмами KLA-Tencor или Applied Materials. Такие автоматические системы на
- 1 -
010259
правляют на фотомаску освещающий луч и измеряют интенсивность части светового луча, проходящего через маску и отраженного обратно от фотомаски. Затем измеренную интенсивность света сравнивают с ожидаемой интенсивностью света, и отклонение фиксируется как дефект. Подробное описание системы представлено в патенте США № 5563702, выданном фирме KLA-Tencor.
После прохождения инспекции готовую маску очищают от загрязнений. Затем на готовую фотомаску может быть нанесена пленка для защиты ее особенно важной зоны рисунка от находящихся в воздухе загрязнений. После нанесения пленки может быть выполнена проверка на дефекты. В некоторых случаях фотомаску разрезают до или после нанесения пленки.
После завершения указанных выше стадий изготовления готовую фотомаску посылают заказчику для использования в изготовлении полупроводниковых или других изделий. В частности, фотомаски обычно используются в полупроводниковой промышленности для переноса микроскопических изображений, задающих полупроводниковую схему, на подложку или пластину из кремния или арсенида галлия. Процесс переноса изображения с фотомаски на кремниевую подложку или пластину обычно называют литографией или микролитографией. Обычно, как показано на фиг. 4, процесс изготовления полупроводникового прибора содержит стадии осаждения, фотолитографии и травления. Во время осаждения слой либо электрически изолирующего, либо электрически проводящего материала (такого, как металл, поликремний или оксид) наносят на поверхность кремниевой пластины. Затем этот материал покрывают светочувствительным резистом. Затем используют фотомаску наподобие использования фотонегатива для получения фотографии. Фотолитография включает проецирование изображения фотомаски на пластину. Если изображение с фотомаски проецируется несколько раз рядом друг с другом на пластину, то этот прием известен как шаговое мультиплицирование, а фотомаску называют фотооригиналом.
Как показано на фиг. 5, для создания изображения на полупроводниковой пластине 20 фотомаску 10 располагают между полупроводниковой пластиной 20, которая включает слой светочувствительного материала, и оптической системой 22. Энергия, создаваемая источником 23 энергии, обычно называемым шаговым мультипликатором, не может проходить через зоны фотомаски 10, где имеется непрозрачный материал. Энергия из шагового мультипликатора 23 проходит через прозрачные части кварцевой подложки 11, не покрытые непрозрачным материалом 12 и противоотражательным материалом 13. Оптическая система 22 проецирует масштабное изображение 24 рисунка непрозрачного материала 12 и 13 на полупроводниковую пластину 20 и вызывает реакцию светочувствительного материала на полупроводниковой пластине. Растворимость светочувствительного материала изменяется в зонах, открытых для энергии. В случае положительного фотолитографического процесса растворимым становится экспонированный светочувствительный материал, и его можно удалять. В случае отрицательного фотолитографического процесса экспонированный светочувствительный материал становится нерастворимым, и удаляют не экспонированный растворимый светочувствительный материал.
После удаления растворимого светочувствительного материала изображение или рисунок, образованный в нерастворимом светочувствительном материале, переносится на подложку с помощью процесса, хорошо известного из уровня техники и обычно называемого травлением. После травления рисунка на материале подложки оставшийся резист удаляют с получением готового изделия. Затем на пластину осаждают новый слой материала и резиста и проектируют на него изображение следующей фотомаски. Этот процесс повторяют до завершения схемы.
Для выполнения каждой указанной выше стадии изготовления изготовитель (например, заказчик) полупроводниковых приборов должен сначала обеспечить изготовителя фотомасок различными типами данных, относящихся к подлежащей изготовлению фотомаске. В этом случае заказчик обычно предоставляет заказ на фотомаску, который включает информацию различного типа и данные, которые необходимы для изготовления и обработки фотомаски, включая, например, данные, относящиеся к конструкции фотомаски, подлежащим использованию материалам, датам поставки, информации о представлении счетов, и другую информацию, необходимую для обработки заказа и изготовления фотомаски.
Давнишней проблемой при изготовлении фотомасок является количество времени, которое необходимо для изготовления фотомаски после получения заказа на фотомаску от заказчика. Это полное время, необходимое для обработки заказа на фотомаску и изготовления фотомаски, может быть длительным, и таким образом общий выход фотомасок не является максимальным. Часть этой проблемы зависит от того, что многие заказчики, которые заказывают фотомаски, часто подают свои заказы в нескольких различных форматах, которые часто не совместимы с компьютерной системой изготовителя фотомаски и/или с оборудованием для их изготовления. В соответствии с этим изготовителю фотомаски часто необходимо переформатировать данные и условия заказа, преобразовывать и/или добавлять их в другой формат, который совместим с компьютерной системой и/или оборудованием для изготовления, что может занимать очень большое количество времени и тем самым удлинять время изготовления фотомаски.
В качестве попытки решения этой проблемы в промышленности по изготовлению фотомасок были разработаны различные стандартные форматы заказов на фотомаски, в которых должны выполняться заказы на фотомаски. Например, стандарт SEMI Р-10 является одним стандартным форматом, используемым для изготовления фотомасок. Дополнительно к этому, некоторые изготовители полупроводниковых приборов разработали свой собственный формат заказа на фотомаску, в котором должны выпол
- 2 -
010259
няться заказы на фотомаски, вместо приспособления стандартного формата. Эти стандартные и собственные форматы заказов на фотомаски были созданы для того, чтобы получать от клиентов заказы на фотомаски в унифицированном формате с целью уменьшения полного времени, необходимого для изготовления фотомаски.
Хотя использование таких стандартных или собственных форматов заказов на фотомаски является полезным для сокращения времени изготовления фотомасок, многие изготовители полупроводниковых приборов неохотно выполняют свои заказы на фотомаски в таких стандартных и/или собственных форматах по многим причинам. Например, стандартный формат заказа SEMI Р-10 является довольно сложным и требует от заказчика для выполнения заказа специальных рабочих знаний, связанных с этим стандартом. Поскольку многие изготовители полупроводниковых приборов не изготавливают фотомаски, то такие изготовители могут не иметь средств, времени и способности для изучения тонкостей такого стандартного формата. Таким образом, изготовители полупроводниковых приборов часто подают изготовителю фотомаски данные заказа на фотомаску в неорганизованном и часто неполном виде. В результате, изготовитель фотомаски должен анализировать эти данные и организовывать их в используемый формат (например, формат SEMI Р-10). Кроме того, эти стандартные или собственные форматы требуют подачи полного заказа. Эта проблема очень трудна, в частности, для небольших заказчиков, которые, по существу, не имеют средств для разработки эффективной системы заказа фотомасок. Таким образом, имеется давно ощущаемая потребность в области изготовления фотомасок в системе и способе для заказчиков для автоматического создания заказа на фотомаску в стандартном и/или собственном формате, который можно приспосабливать для данного заказчика с минимальными усилиями со стороны заказчика.
В прошлом фирма AlignRite Corporation (предшественник фирмы Photonics, Inc.) предпринимала попытки передачи электронных данных с помощью использования системы доставки, основанной на Интернете. Однако, хотя фирма AlignRite Corporation была способна быстро доставлять данные фотомаски от заказчика в компьютерную систему изготовителя фотомасок и была способна оценивать точность этих данных в реальном времени, эта известная система не обеспечивала автоматического создания данных заказа на фотомаску в едином стандартном и/или собственном формате. Таким образом, после получения данных от заказчика стандартные модификации данных необходимо также вводить вручную с помощью операторов. При каждом ручном вводе измененных данных увеличивается риск допущения ошибки человеком и тем самым увеличивается общая длительность обработки заказа. Кроме того, система фирмы AlignRite не обеспечивала выполнение процесса создания заказа в соответствии с требованиями заказчика, данные которого вводятся.
С того времени были раскрыты другие системы, в которых данные изготовления и выставления счетов на оплату загружались через Интернет и проверялись автоматически в онлайновом режиме. Одна такая система описана в РСТ 02/03141, опубликованном 10 января 2002 и принадлежащем фирме DuPont Photomask, Inc., которая является также предметом патента США № 6622295. В частности, в публикации РСТ фирмы DuPont раскрыта система, в которой данные заказа на фотомаску вводятся в онлайновом режиме заказчиком и передаются изготовителю фотомаски для обработки. В этой системе заказчик получает команды-подсказки на ввод данных заказа на фотомаску. Эти данные передаются изготовителю фотомаски, который, в свою очередь, проводит диагностическую оценку данных. Если какие-то данные являются неполными или неточными, то система направляет заказчику сообщение об этой погрешности. После этого пользователь должен исправить ошибку. После оценки данных изготовителем (и при необходимости после коррекции) изготовитель фотомаски обрабатывает эти данные и переводит их в стандартный (или собственный формат), такой как стандартный формат SEMI P-10.
Хотя система DuPont полезна для диагностических целей, она является очень громоздкой и обеспечивает пользователю очень небольшую гибкость при формулировании заказа на фотомаску, в зависимости от заказчика, данные которого вводятся. Система DuPont не обеспечивает профилирования информации заказчика на основе введенной общей информации. Другим недостатком системы DuPont является то, что заказчик должен повторно вводить специальную информацию, относящуюся к заказу, каждый раз, когда заказчик использует систему, и не может использовать информацию, введенную в предыдущих заказах. Таким образом, использование системы DuPont для создания заказа на фотомаску занимает много времени, в частности, для повторных заказов, и она непригодна для применения для так называемых "слабых клиентов".
Аналогичным образом, фирма Photronics, податель данной заявки, в прошлом разработала свою собственную систему и способ для создания заказа на фотомаску. Система создания заказа на фотомаску фирмы Photonics, известная как система MaskPilot(r), имела очень большой коммерческий успех. Эта система описана в заявках на патент США № 10/209254, поданной 30 июля 2002, 10/877011, поданной 25 июня 2004, и 10/974449, поданной 27 октября 2004, все от фирмы Photronics. Содержание каждой из этих заявок полностью включается в данное описание. Система MaskPilot(r) включает графический интерфейс пользователя, который подсказывает пользователю ввод информации заказа на фотомаску в виде шаблона или заказа. Хотя система MaskPilot(r) является эффективной при создании заказов в различных собственных и/или стандартных форматах заказа на фотомаску, она не выполняет профилирования
- 3 -
010259
на основе общей информации, введенной пользователем.
После передачи изготовителю фотомаски заказ на фотомаску обрабатывается с помощью системы обработки фотомаски. Из уровня техники известны системы обработки заказов на фотомаски, такие как система Cybermask(r). Например, в патенте США № 6760640, выданном фирме Photronics, Inc., описана такая система, полное содержание которого включается в данное описание. Однако эти системы обработки заказов на фотомаски в настоящее время не способны выполнять автоматически установку на основе информации, предоставляемой пользователем.
Хотя уровень техники представляет определенный интерес, известные способы и устройства согласно уровню техники имеют несколько ограничений, на преодоление которых направлено данное изобретение.
В частности, одной целью данного изобретения является создание системы и способа для создания по меньшей мере части заказа на фотомаску, которую можно передавать в систему обработки изготовителя фотомаски для изготовления по меньшей мере одной фотомаски.
Другой целью данного изобретения является создание системы и способа для создания заказа на фотомаску, которые полезны для применений для "слабых клиентов".
Другой целью данного изобретения является создание системы и способа для создания заказа на фотомаску, которые могут создавать заказы на фотомаски с использованием информации из предыдущих заказов от того же заказчика.
Другой целью данного изобретения является создание автоматической системы создания заказа на фотомаску для уменьшения ошибок переписи данных, связанных с ручным вводом данных заказа.
Другой целью данного изобретения является создание системы создания заказа на фотомаску, которую можно использовать для увеличения полного выпуска изготовляемых фотомасок.
Другой целью данного изобретения является создание системы и способа для создания заказа на фотомаску, которые могут автоматически выполнять установку на основе информации, предоставляемой пользователем.
Другой целью данного изобретения является создание системы и способа для отслеживания заказов на фотомаски, которые позволяют пользователю вводить информацию, относящуюся к переменным параметрам изготовления.
Другой целью данного изобретения является решение проблем уровня техники.
Другие цели следуют из предшествующего описания.
Сущность изобретения
Способ создания заказа на фотомаску согласно одному варианту выполнения изобретения включает создание интерфейса пользователя для общей информации, подсказывающего пользователю ввести общие данные о заказчике, размещающем заказ на фотомаску, и создание интерфейса пользователя для пользовательского заказа, подсказывающего пользователю ввести специальные данные, необходимые для завершения заказа на фотомаску, на основе общих данных и/или специальных данных, ранее введенных пользователем. На основе специальных данных создается файл характеристик, и на основе файла характеристик обеспечивается доступ в файл команд сценариев. Заказ на фотомаску создается с использованием файла команд сценариев.
По меньшей мере в одном варианте выполнения общие данные включают информацию, идентифицирующую заказчика.
По меньшей мере в одном варианте выполнения общие данные включают имя регистрации пользователя и пароль.
По меньшей мере в одном варианте выполнения специальные данные включают по меньшей мере один из следующих элементов: информацию о выставлении счетов, информацию о поставках, информацию о типе изделия, информацию об оборудовании шагового мультипликатора, информацию о конечном изделии, наименование устройства, названия масок, необходимые данные, число компакт-дисков, цифровые данные звуковой информации, техническое задание на инструментальную обработку.
По меньшей мере в одном варианте выполнения специальные данные включают данные, которые занесены предварительно.
По меньшей мере в одном варианте выполнения предварительно занесенные данные включают данные, которые может редактировать пользователь.
По меньшей мере в одном варианте выполнения специальные данные, которые запрашиваются интерфейсом пользователя для создания пользовательского заказа, включают данные, которые отличаются от стандартного заказа на фотомаску.
По меньшей мере в одном варианте выполнения файл характеристик является совместимым для использования по меньшей мере в одной из различных систем создания заказов на фотомаски.
По меньшей мере в одном варианте выполнения заказ на фотомаску создан по меньшей мере в одном из различных собственных и стандартных форматов заказов на фотомаски.
По меньшей мере в одном варианте выполнения заказ на фотомаску является полным заказом в стандартном формате заказов на фотомаски или в собственном формате заказов на фотомаски.
По меньшей мере в одном варианте выполнения заказ на фотомаску является неполным заказом в
- 4 -
010259
стандартном формате заказов на фотомаски или в собственном формате заказов на фотомаски.
По меньшей мере в одном варианте выполнения специальные данные, введенные пользователем, проверяются на достоверность.
По меньшей мере в одном варианте выполнения пользователь получает подсказку на ввод правильных данных, когда в процессе проверки обнаруживаются ошибки во введенных специальных данных.
По меньшей мере в одном варианте выполнения заказ на фотомаску передается в компьютерную систему изготовителя фотомаски для дальнейшей обработки.
По меньшей мере в одном варианте выполнения принимается сообщение из компьютерной системы изготовителя фотомаски, подтверждающее статус заказа на фотомаску.
По меньшей мере в одном варианте выполнения принимается сообщение из компьютерной системы изготовителя фотомаски, идентифицирующее по меньшей мере одну ошибку в заказе на фотомаску.
По меньшей мере в одном варианте выполнения принимается сообщение из компьютерной системы изготовителя фотомаски, подтверждающее, что заказ на фотомаску передан правильно и полностью.
По меньшей мере в одном варианте выполнения заказ на фотомаску передается с использованием одного из следующих протоколов: FTP, HTTP, SMTP и любой прикладной программы, поддерживаемой протоколом передачи.
По меньшей мере в одном варианте выполнения специальные данные подвергаются модификации на основе результатов стадии верификации.
По меньшей мере в одном варианте выполнения интерфейс пользователя для общей информации является экраном ввода общей информации, созданным компьютером.
По меньшей мере в одном варианте выполнения интерфейс пользователя для пользовательского заказа является экраном ввода пользовательского заказа, созданным компьютером.
По меньшей мере в одном варианте выполнения экран ввода общей информации и экран ввода пользовательского заказа создаются в локальном компьютере.
По меньшей мере в одном варианте выполнения экран ввода общей информации и экран ввода пользовательского заказа создаются в компьютере, расположенном вдали от компьютера, используемого пользователем.
Система создания заказа на фотомаску согласно одному примеру выполнения изобретения включает генератор интерфейса пользователя для общей информации, предназначенный для создания и форматирования интерфейса пользователя для общей информации, подсказывающий пользователю ввести общие данные, относящиеся к заказчику, размещающему заказ на фотомаску, и генератор интерфейса пользователя для пользовательского заказа, предназначенный для создания и форматирования интерфейса пользователя для пользовательского заказа, подсказывающий пользователю ввести специальные данные, относящиеся к заказу на фотомаску, на основе общих данных и/или специальных данных, введенных ранее пользователем. Генератор сценариев осуществляет доступ в соответствующий набор сценариев для запуска на основе специальных данных, введенных на экран ввода пользовательского заказа. Подсистема сценариев запускает набор сценариев, в который получил доступ генератор сценариев, с целью преобразования специальных данных в компоненты заказа на фотомаску. Генератор заказа на фотомаску создает полный или неполный заказ на фотомаску на основе компонентов заказа на фотомаску.
По меньшей мере в одном варианте выполнения файл характеристик хранит специальные данные в формате, совместимом с генератором заказа на фотомаску.
По меньшей мере в одном варианте выполнения интерфейс пользователя для общих данных является Web-страницей.
По меньшей мере в одном варианте выполнения интерфейс пользователя для общих данных включает последовательность соединенных друг с другом Web-страниц.
По меньшей мере в одном варианте выполнения интерфейс пользователя для пользовательского заказа является Web-страницей.
По меньшей мере в одном варианте выполнения интерфейс пользователя для пользовательского заказа включает последовательность соединенных друг с другом Web-страниц.
По меньшей мере в одном варианте выполнения процессор сценариев преобразует файл характеристик в объектную модель заказа на фотомаску.
По меньшей мере в одном варианте выполнения система верификации проверяет достоверность специальных данных, введенных пользователем.
По меньшей мере в одном варианте выполнения система верификации включает передатчик заказа на фотомаску, предназначенный для передачи заказа на фотомаску в компьютерную систему изготовителя фотомаски для дальнейшей обработки.
По меньшей мере в одном варианте выполнения система верификации дополнительно включает систему передачи сообщений, предназначенную для передачи сообщения из компьютерной системы изготовителя фотомаски к пользователю, подтверждающего статус заказа на фотомаску.
По меньшей мере в одном варианте выполнения система передачи сообщений передает сообщение из компьютерной системы изготовителя фотомаски к пользователю, идентифицирующее по меньшей мере одну ошибку в заказе на фотомаску.
- 5 -
010259
По меньшей мере в одном варианте выполнения система передачи сообщений передает сообщение из компьютерной системы изготовителя фотомаски к пользователю, указывающее, что заказ на фотомаску передан полностью и правильно.
По меньшей мере в одном варианте выполнения передатчик заказа на фотомаску передает заказ на фотомаску с использованием одного из следующих протоколов: FTP, HTTP, SMTP и любой прикладной программы, поддерживаемой протоколом передачи.
Система для создания заказов на фотомаски согласно другому примеру выполнения изобретения включает читаемый компьютером носитель информации, содержащий читаемые компьютером команды, выполняемые процессором для выполнения способа, включающего создание интерфейса пользователя для общей информации, подсказывающего пользователю ввести общие данные о заказчике, размещающем заказ на фотомаску; и создание интерфейса пользователя для пользовательского заказа, подсказывающего пользователю ввести специальные данные, необходимые для завершения заказа на фотомаску, на основе общих данных и/или других специальных данных, введенных ранее пользователем; создание файла характеристик на основе специальных данных; доступ в файл команд сценариев, используемого для создания заказа на фотомаску на основе файла характеристик; и создание заказа на фотомаску с использованием файла команд сценариев.
Способ обработки заказа на фотомаску согласно одному примеру выполнения изобретения включает создание интерфейса пользователя для общей информации, подсказывающего пользователю ввести общие данные о заказчике, размещающем заказ на фотомаску. Создается интерфейс пользователя для пользовательского заказа, подсказывающий пользователю ввести специальные данные, необходимые для обработки заказа на фотомаску, на основе общих данных и/или других введенных ранее специальных данных. Создается файл характеристик на основе специальных данных. Создается установочный файл для системы обработки заказа на фотомаску посредством доступа в файл команд сценариев, используемого для создания заказа на фотомаску на основе файла характеристик. Система обработки заказа на фотомаску инсталлируется с использованием файла установки, и заказ на фотомаску обрабатывается с использованием системы обработки заказа на фотомаску.
Способ отслеживания заказа на фотомаску согласно одному примеру выполнения изобретения включает создание интерфейса пользователя для общей информации, подсказывающего пользователю ввести общие данные об условиях изготовления заказа на фотомаску. Создается интерфейс пользователя для пользовательского заказа, подсказывающий пользователю ввести специальные данные, относящиеся к условиям изготовления заказа на фотомаску, на основе общих данных и/или других введенных ранее специальных данных. Создается файл характеристик на основе специальных данных, и создается сообщение посредством доступа в файл команд сценария на основе файла характеристик.
Эти и другие признаки изобретения описаны или следуют из приведенного ниже подробного описания различных примеров выполнения данного изобретения.
Краткое описание чертежей
Указанные выше и связанные с ними цели, признаки и преимущества данного изобретения следуют из приведенного ниже подробного описания предпочтительного, хотя и имеющего иллюстративный характер, варианта выполнения данного изобретения со ссылками на прилагаемые чертежи, на которых изображено:
фиг. 1 - чистая или непроявленная фотомаска согласно уровню техники; фиг. 2 - фотомаска согласно фиг. 1 после частичной обработки; фиг. 3 - фотомаска согласно фиг. 1 и 2 после полной обработки;
фиг. 4 - графическая схема способа использования обработанной фотомаски для изготовления или обработки полупроводниковой пластины;
фиг. 5 - процесс изготовления полупроводникового прибора с использованием шагового мультипликатора пластины;
фиг. 6 - блок-схема системы создания заказа на фотомаску согласно одному примеру выполнения изобретения;
фиг. 7 - дерево решений, используемое в системе создания заказа на фотомаску, согласно одному примеру выполнения изобретения;
фиг. 8 - графическая схема, показывающая способ создания заказа на фотомаску, согласно одному варианту выполнения данного изобретения;
фиг. 9-11 - различные экраны примера выполнения графического интерфейса пользователя, используемого в изобретении, для выдачи пользователю команд-подсказок на ввод общей информации заказа на фотомаску;
фиг. 12 и 13 - различные экраны примера выполнения графического интерфейса пользователя, используемого в изобретении, для выдачи пользователю команд-подсказок на ввод специальной информации заказа на фотомаску;
фиг. 14 - графическая схема, иллюстрирующая способ создания файлов установки для системы обработки заказа на фотомаску, согласно одному примеру выполнения изобретения;
фиг. 15 - графическая схема, показывающая ввод запрашиваемой информации для создания файлов
- 6 -
010259
установки для системы обработки заказа на фотомаску, согласно одному примеру выполнения данного изобретения;
фиг. 16-18 - фотографии с экрана различных Web-страниц, созданных системой отслеживания заказа на фотомаску, используемой в различных примерах выполнения данного изобретения;
фиг. 19 - графическая схема, иллюстрирующая способ создания автоматического выходного сигнала в ответ на изменяющийся входной сигнал климат-контроля в качестве части системы отслеживания заказа на фотомаску, согласно одному примеру выполнения изобретения; и
фиг. 20 - узел, расположенный внутри системы отслеживания заказа на фотомаску, согласно одному примеру выполнения данного изобретения.
Подробное описание предпочтительного варианта (вариантов) выполнения
Данное изобретение относится к компьютеризованным, основанным на правилах системе и способу для сбора относящейся к фотомаске информации и автоматического создания файлов, содержащих команды на выполнение одной или более автоматизированных задач посредством определения и выполнения подходящих файлов сценариев на основе информации. Один вариант выполнения изобретения предлагает систему и способ для автоматического создания заказов на фотомаски с использованием системы профилирования сценариев, в которой заказчик фотомаски, желающий разместить заказ на фотомаску, может направляться через процесс ввода заказа полным и точным образом в соответствии с требованиями заданного формата заказа на основе информации, предоставленной заказчиком. Система создания заказа на фотомаску согласно данному изобретению специально создана, в частности, для так называемых "слабых клиентов", хотя ее принципы применимы к другим типам пользователей. Системы и способы согласно данному изобретению выполнены с возможностью обеспечения для пользователя способности создавать заказы на фотомаски и/или предоставлять необходимую информацию изготовителю фотомасок с целью создания заказа на фотомаску простым и эффективным образом. Хотя ниже приводится описание различных примеров выполнения данного изобретения, в которых используется технология сценариев системы MaskPilot(r) фирмы Phototronics, такое использование приведено лишь в качестве примера, и можно использовать любую известную или открытую впоследствии систему, которая способна преобразовывать специальную информацию, относящуюся к необходимой фотомаске, в правильно форматированный заказ на фотомаску. Как будет более подробно описано ниже, системы и способы согласно данному изобретению применимы также к другим относящимся к фотомаскам системам, таким как, например, системы обработки заказов на фотомаски, таким как система Cybermask(r) фирмы Phototronics, и к системам отслеживания заказа на фотомаску, таким как система MaskTrac(r) фирмы Phototronics.
На фиг. 6 показана система 200 создания заказа на фотомаску согласно одному примеру выполнения изобретения. В системе 200 создания заказа на фотомаску можно использовать модули программного обеспечения, программно-аппаратные средства или любые программные технологии памяти, и она может осуществляться, в частности, посредством выполнения программы процессором с целью выполнения различных системных задач. Система 200 создания заказа на фотомаску включает генератор 210 интерфейса ввода общей информации, генератор 220 интерфейса ввода специальной информации, синтаксический анализатор 215 данных, систему 225 профилирования данных, генератор 230 сценариев, систему 240 профилирования сценариев, подсистему 250 создания сценариев и генератор 255 заказа на фотомаску. Генератор 210 интерфейса ввода общей информации создает и форматирует интерфейс ввода, подсказывающий пользователю ввести общую информацию 217 о заказчике, размещающем заказ на фотомаску. Генератор 220 интерфейса ввода специальной информации создает и форматирует интерфейс ввода, который подсказывает пользователю ввести специальную информацию 222, относящуюся к заказу на фотомаску, на основе общей информации 217. Указанные интерфейсы ввода могут включать любое подходящее средство, позволяющее пользователю вводить информацию, такое как, например, Web-страница, или последовательность связанных друг с другом Web-страниц, или система распознавания речи, чтобы назвать некоторые из них. В зависимости от предоставленной специальной информации 222 генератор 220 интерфейса ввода специальной информации может создавать и форматировать дополнительные интерфейсы ввода, которые подсказывают пользователю ввести дополнительную специальную информацию 222, относящуюся к заказу на фотомаску. При этом создание и форматирование интерфейса ввода специальной информации 222 являются предпочтительно интерактивным процессом, в котором можно использовать ранее введенную специальную информацию 222 и который определяет подходящие подсказки на ввод дополнительной специальной информации 222 с использованием дерева решений, основанного на правилах. Дерево решений может быть выполнено с возможностью полной или частичной модификации пользователем, так что тип и количество информации, требуемое системой 200 для ввода, может быть выполнено в зависимости от пользователя.
Специальная информация 222 может быть организована и храниться в файле 227 характеристик сценариев. Генератор 230 сценариев определяет подходящие для запуска сценарии 237 на основе специальной информации 222 посредством выбора из предварительно заданных сценариев, хранящихся в системе 240 профилирования сценариев. В других вариантах выполнения изобретения генератор 230 сценариев может выбирать сценарии в файле 227 характеристик сценариев, которые были созданы и сохране
- 7 -
010259
ны в файле 227 характеристик сценариев во время ввода специальной информации 222. После идентификации подходящих сценариев 237 генератор 230 сценариев передает информацию в подсистему 250 составления сценариев, относящуюся к подходящим сценариям, подлежащим запуску. Затем подсистема 250 составления сценариев запускает сценарии 237, идентифицированные генератором 230 сценариев посредством доступа к сценариям 237 в системе 240 профилирования сценариев и, при необходимости, к сценариям в файле 227 характеристик сценариев, а также к специальной информации 222, хранящейся в файле 227 характеристик сценариев. Запуск команд сценариев в файле 237 сценариев подсистемой 250 составления сценариев приводит к созданию компонентов 245 заказа на фотомаску, предпочтительно в виде объектной модели, такой как объектная модель MaskPilot(r). Компоненты 245 заказа или объектная модель используются затем для создания заказа на фотомаску. Подробное описание различных элементов системы 200 создания заказа на фотомаску приведено ниже.
Генератор 210 интерфейса ввода общей информации может создавать, например, экран ввода общей информации, который запрашивает у пользователя ввод общей информации 217, относящейся к заказчику фотомаски. Экран ввода общей информации может запрашивать информацию, такую как имя регистрации и пароль, контактная информация, информация о выставлении счетов и поставках, тип конечного изделия и тип шагового мультипликатора, чтобы назвать некоторые из них. Экран ввода общей информации может быть, например, единственной Web-страницей или последовательностью связанных друг с другом Web-страниц, которые появляются последовательно при вводе необходимой информации. Пользователю не надо вручную вводить всю запрашиваемую общую информацию 217 при каждом использовании системы 200 создания заказа на фотомаску, поскольку часть или вся общая информация 217 может автоматически вводиться на основе предыдущих заказов заказчика после идентификации заказчика, например после ввода заказчиком ранее установленных имени регистрации и пароля.
После ввода общей информации 217, относящейся к заказчику фотомаски, синтаксический анализатор 215 переводит общую информацию 217 в формат, который может читать генератор 220 интерфейса ввода специальной информации. На основе анализированной информации генератор 220 интерфейса ввода специальной информации определяет, какая специальная информация 222 необходима для создания достоверного заказа на фотомаску. Генератор 220 интерфейса ввода специальной информации может определить, что требуемая специальная информация включает, например, информацию о выставлении счетов, информацию о поставках, информацию о типе изделия, информацию об оборудовании шагового мультипликатора, информацию о конечном изделии, название устройства, названия масок, необходимые данные, число компакт-дисков, цифровые данные звуковой информации и/или требования к инструменту, чтобы назвать некоторые из них. После определения требуемой специальной информации генератор 220 интерфейса ввода специальной информации создает и форматирует интерфейс ввода пользовательского заказа, такой как экран ввода пользовательского заказа, который запрашивает пользователя ввести специальную информацию, относящуюся к заказу на фотомаску заказчика. При этом система 225 профилирования данных определяет, какие дополнительные команды-подсказки на ввод специальной информации необходимы при вводе пользователем специальной информации 222. Другими словами, система 225 профилирования данных обеспечивает обратную связь с генератором 220 интерфейса ввода специальной информации относительно типа дополнительной специальной информации, необходимой на основе специальной информации, уже введенной пользователем.
Для этого система 225 профилирования данных может использовать основанное на правилах дерево решений с целью определения подсказок на ввод дополнительной специальной информации на основе ранее введенной пользователем специальной информации 222. На фиг. 7 показана часть дерева 50 решений, используемого в системе 200, согласно одному примеру выполнения изобретения. Как указывалось выше, пользователь получает команды-подсказки на ввод общей информации 217, такой как имя пользователя и пароль, в ветви 1. Каждое имя пользователя и пароль должны соответствовать идентификатору предприятия, так что система 200 может определять предприятие пользователя (фирму пользователя) на основе введенных имени пользователя и пароля. В ветви 2 запрашивается дополнительная информация в зависимости от предприятия. Например, в ветви 2.1, поскольку предприятие определено как "А", запрашивается дополнительная информация, относящаяся к мультипликатору. Аналогичным образом, в ветви 2.2 предприятие определяется как "В" и поэтому запрашивается информация, относящаяся к "конструкция" и "изделие", а в ветви 2.3 предприятие определяется как "С", и поэтому запрашивается информация, относящаяся к "производство" и "изделие". В ветви 3 запрашивается дополнительная специальная информация 222 на основе данных, введенных в ветви 2. Например, в ветви 3.1, если изделие введено как "MLR" в ветви 2.2, запрашивается дополнительная информация, относящаяся к "название" и "устройство", а в ветви 3.2, если изделие введено как "STD", запрашивается дополнительная информация, относящаяся к слою. Дополнительные ветви обеспечиваются в соответствии с необходимостью и желанием, такие как, например, ветвь 4.1, которая запрашивает дополнительную информацию относительно слоя.
Экран для пользовательского заказа может быть, например, Web-страницей или последовательностью связанных друг с другом Web-страниц, которые появляются последовательно при вводе необходимой информации. В качестве альтернативного решения генератор 220 интерфейса ввода специальной информации может быть мастер-прикладной программой, управляемой для работы с системой создания
- 8 -
010259
заказа на фотомаску, такой как MaskPilot(r). В некоторых примерах выполнения генератор 220 интерфейса ввода специальной информации может быть основанным на правилах генератором, который выдает подсказки на ввод специальной информации и/или величин проверки на основе ряда заданных правил. Правила могут подвергаться модификации со стороны пользователя и/или изготовителя фотомаски. Генератор 220 интерфейса ввода специальной информации предпочтительно имеет способность предварительно заполнять некоторую или всю специальную информацию 222 на экране ввода пользовательского заказа на основе предшествующих заказов заказчика. Для этого некоторые или все предварительно заполненные вводы могут быть модифицируемыми и/или стираемыми. В некоторых случаях заказ может быть стандартным, за исключением некоторых незначительных отклонений, так что в этом случае может быть создан экран для пользовательского заказа, который требует лишь специальной информации, относящейся к возможным отклонениям от стандартного заказа. Таким образом, пользователь не должен затрачивать много времени на ввод данных.
После сбора специальной информации 222 генератором 220 интерфейса ввода специальной информации специальная информация 222 может быть сохранена в файле 227 характеристик. Файл 227 характеристик может быть выполнен, например, в виде базы данных, которая может включать специальную информацию 222 и/или строки команд сценариев, которые были созданы во время ввода специальной информации 222. В файле 227 характеристик специальная информация 222 хранится в специальном формате, так что специальная информация 222 может использоваться генератором заказа на фотомаску для создания заказа на фотомаску. Например, по меньшей мере в одном варианте выполнения изобретения, специальная информация 222 преобразуется в файл характеристик MaskPilot(r), так что эту информацию можно использовать для создания шаблонов или заказов с помощью системы создания заказов на фотомаски MaskPilot(r) фирмы Photronics. Файл 227 характеристик может быть в любом формате для обеспечения использования с любой известной системой создания заказов на фотомаски. Элементы файла 227 характеристик можно сохранять на различных стадиях ввода специальной информации 222, при этом каждая стадия сохранения способна задавать или выполнять действие, такое как передача сообщения пользователю или комплекта команд в устройство для изготовления.
Генератор 230 сценариев определяет, какой набор сценариев следует запускать, с использованием в качестве входного сигнала специальной информации 222. Например, в случае MaskPilot(r) генератор 230 сценариев может определять подходящий файл 237 сценариев, который необходимо запускать для создания точных и полных компонентов заказа на фотомаску. Для этого генератор 230 сценариев может определять подходящий файл 237 сценариев на основе собственного и/или стандартного формата заказа на фотомаску. Файл 237 может быть выполнен в виде файла открытых текстов, который содержит одну или более команд сценариев.
Подсистема 250 составления сценариев запускает файлы 237 сценариев, выбранные генератором 230 сценариев, для преобразования данных, хранящихся в файле 227 характеристик, в компоненты 245 заказа на фотомаску. Например, подсистема 250 составления сценариев может создавать объектную модель MaskPilot(r), которая может включать компоненты и субкомпоненты шаблона для заказа на фотомаску.
Генератор 260 заказа на фотомаску создает полный или неполный заказ 255 на фотомаску на основе компонентов 245, созданных подсистемой 250 составления сценариев. Например, когда подсистема 250 создает объектную модель MaskPilot(r), то можно использовать шаблон для заказа на фотомаску для создания заказа на фотомаску. Для этого генератор 260 заказа на фотомаску способен создавать заказ на фотомаску в различных стандартных и/или собственных форматах. Частичный заказ на фотомаску, созданный генератором 260, можно сохранять для последующего завершения и/или модификации пользователем.
Система 200 создания заказа на фотомаску может дополнительно включать систему 270 верификации, которая проверяет правдоподобность заказа 255 на фотомаску. Система 270 верификации может определять наличие ошибок в заказе 255 на фотомаску и/или полноту заказа 255 на фотомаску. Для этого система 270 верификации может включать систему 280 сообщений, которая посылает сообщения пользователю, указывающие, например, что создан заказ 255 на фотомаску, что имеются ошибки в заказе 255 на фотомаску или же что заказ 255 на фотомаску передан изготовителю фотомаски для обработки. Сообщение может иметь вид электронной почты, файлов регистрации, текстовых сообщений и/или вводов в базу данных. В одном варианте выполнения признаки составления сообщения автоматически создают сообщение, направляемое в распределительный список с именами лиц, которые связаны с заказом на фотомаску. Этот распределительный список может быть составлен на основе любых заданных критериев. После создания сообщения каждое лицо из распределительного списка автоматически получает сообщение, что заказ на фотомаску создан. Эти сообщения могут включать электронную почту, тональный вызов, срочное сообщение, мобильный телефон и т.д. Этот процесс автоматических сообщений может быть установлен в любом месте сети пользователя или даже сети изготовителя и инициироваться любой стадией по желанию пользователя. Этот пример не следует рассматривать как ограничивающий изобретение, а лишь как иллюстрирующий тип системы сообщений, которая может быть включена в данное изобретение.
Система 200 создания заказа на фотомаску может также включать передатчик 265 заказа на фото
- 9 -
010259
маску, который передает полный или неполный заказ 255 на фотомаску в компьютерную систему изготовителя фотомаски с целью определения достоверности, выполнимости и/или желательности конечной конструкции фотомаски, как раскрыто в заявке на патент США № 11/006525 (дело патентного поверенного № 67493/125) с названием "Система и способ для автоматического создания требований к инструментальной оснастке с использованием служебной программы выполнения логических операций, которую можно использовать для создания заказа на фотомаску", поданной 7 декабря 2004 от имени фирмы Photronics, полное содержание которой включается в данное описание. Например, частичный заказ на фотомаску, включающий часть команд, можно передавать изготовителю фотомаски для анализа на правдоподобность, осуществимость и/или желательность предложенной конструкции. После получения информации изготовитель фотомаски может затем предложить альтернативные конструкции, которые могут быть более целесообразными или желательными с точки зрения изготовителя или по другим причинам. Результаты анализа изготовителя фотомаски могут быть затем переданы заказчику для дальнейшего обдумывания с целью определения, запускать ли заказ или модифицировать предложенный заказ. Например, на компьютере заказчика может появиться экран ввода пользовательского заказа с модифицированными вводами, которые затем могут быть приняты или отвергнуты заказчиком.
На фиг. 8 показана графическая схема, иллюстрирующая создание заказа на фотомаску, согласно одному примеру выполнения данного изобретения. На стадии S102 заказчик фотомаски или другой пользователь вводит общую информацию 217, относящуюся к заказчику фотомаски, в страницу ввода или в любой другой тип интерфейса ввода. Например, можно получить доступ к странице ввода посредством введения адреса URL в Интернет броузер. Для этого пользователь получает доступ к странице ввода на интерфейсе 100 пользователя, который может быть, например, персональным компьютером, устройством BlackBerry(r) или любым другим типом устройства связи. Заказчик может просто ввести имя пользователя и пароль, после чего дополнительная общая информация 217 автоматически заполняется на экране ввода общей информации. Например, на фиг. 9-11 показаны различные связанные друг с другом страницы графического интерфейса пользователя, используемого в примерах выполнения данного изобретения. Первая страница 300 графического интерфейса пользователя требует ввода идентификатора пользователя и пароля. После ввода правильного идентификатора пользователя и пароля может появляться вторая страница 310, которая требует ввода названия фирмы заказчика, как показано на фиг. 10. При этом название фирмы может быть внесено автоматически на основе идентификатора пользователя и пароля, и эта информация может быть модифицирована посредством выбора правильной информации из прокручиваемого меню. На фиг. 11 показана третья страница 320 графического интерфейса пользователя, которая требует ввода информации о сроках поставки и типе изделия. Экран ввода общей информации может включать любое число различных страниц, которые требуют ввода общей информации и/или отображают модифицируемую информацию, относящуюся к заказчику фотомаски.
На стадии S104 синтаксический анализатор 215 извлекает и форматирует общую информацию 217, так что эту информацию может читать система 225 профилирования данных. На стадии S106 синтаксический анализатор 215 направляет анализированные данные в систему 225 профилирования данных. На стадии S107 система 225 профилирования данных определяет, необходима ли дополнительная информация для создания заказа на фотомаску. Для этого система 225 профилирования данных проверяет, введена ли вся необходимая информация и/или является ли введенная информация правильной. Если требуется дополнительная информация и/или введенная информация является неправильной, то процесс переходит на стадию S108, где генератор интерфейса данных создает экран ввода или любой другой тип интерфейса для ввода на интерфейсе 100 пользователя, который выдает заказчику подсказки на ввод специальной информации 222, относящейся к заказу на фотомаску. В предпочтительном варианте выполнения генератор интерфейса данных может включать как указанный выше генератор 210 интерфейса ввода общей информации, так и генератор 220 интерфейса ввода специальной информации, хотя в других вариантах выполнения, как следует отметить, генератор интерфейса данных может быть единственным генератором интерфейса или комбинацией любого числа генераторов интерфейса. Часть или вся специальная информация 222, относящаяся к заказу на фотомаску, может быть внесена автоматически на основе общей информации, в этом случае заказчик имеет возможность модификации и/или стирания информации. На фиг. 12 и 13 показаны дополнительные связанные друг с другом страницы графического интерфейса пользователя, которые можно использовать в примерах выполнения данного изобретения. Страница 330 экрана ввода пользовательского заказа, показанная на фиг. 12, требует выбора признаков, которые подлежат созданию с использованием готовой фотомаски. После выбора признаков может появляться страница, показанная на фиг. 13, которая требует дополнительной информации, относящейся к признакам, такой как, например, пятно цифровых данных (информация, относящаяся к цифровым данным), число компакт-дисков (информация, относящаяся к критическим размерам), число штриховых кодов (информация, подлежащая штриховому кодированию) и место изготовления (информация, относящаяся к месту изготовления). Часть или вся информация может быть введена посредством заполнения вручную пустых окон ввода или посредством выбора из прокручиваемого меню. Экран ввода пользовательского заказа может включать любое число вариантов страниц, которые требуют ввода специальной информации и/или отображают модифицируемую специальную информацию, относящуюся к заказу на фотомаску.
- 10 -
010259
Следует отметить, что процесс повторяет стадии S104-S108 необходимое число раз для приема всей необходимой или желаемой информации, требуемой заданным деревом решений. Например, на стадии S108 после ввода специальной информации может повторно отображаться, повторно создаваться страница ввода пользовательского заказа и/или могут быть добавлены дополнительные команды-подсказки в существующие страницы для запроса недостающей информации и/или исправления неправильной информации. Для этого, как указывалось выше, система 225 профилирования данных определяет, какая информация необходима, с использованием структуры основанного на правилах дерева решений. Таким образом, процесс повторяет эти стадии для направления пользователя по подходящим ветвям дерева решений по мере ввода пользователем требуемой информации.
На стадии S114 специальная информация 222, введенная в экран ввода пользовательского заказа, сохраняется в файле 227 характеристик, который может быть выполнен в виде базы данных. Для этого информацию в файле 227 характеристик можно обновлять и/или стирать на основе специальной информации, введенной в экран ввода пользовательского заказа. В альтернативном варианте выполнения изобретения файл 227 характеристик может содержать также строки команд сценариев, которые предварительно запрограммированы на автоматическое создание, когда заказчик вводит некоторые специальные данные.
После правильного ввода всей необходимой специальной информации, относящейся к заказу на фотомаску, процесс переходит на стадию S110, где генератор 230 сценариев определяет одну или более подходящих строк команд сценариев, которые необходимы для создания заказа на фотомаску, на основе информации заказа на фотомаску, введенной заказчиком. Для этого генератор 230 сценариев входит на стадии S112 в систему 240 профилирования сценариев, которая является, по существу, базой данных строк команд сценариев. На стадии S114 система 240 профилирования сценариев может обратиться в файл 227 характеристик для получения необходимых атрибутов и/или дополнительных сценариев, которые были созданы во время ввода информации заказа на фотомаску. В предпочтительном варианте выполнения генератор 230 сценариев определяет, какие из одной или более строк команд сценариев, хранящихся в системе 240 профилирования сценариев и/или файле 227 характеристик, должны быть запущены для получения одного или более файлов сценариев в желаемом формате. Например, на стадии S116 генератор 230 сценариев может выбрать строки команд сценариев, которые образуют сценарии MaskPilot(r). Однако можно использовать различные примеры выполнения данного изобретения для создания строк команд сценариев любого типа.
На стадии S118 подсистема 250 составления сценариев собирает и запускает строки команд сценариев, содержащихся в одном или более файлах 237 сценариев, идентифицированных генератором 230 сценариев. Для этого, в зависимости от информации, предоставленной генератором 230 сценариев, подсистема 250 составления сценариев может извлекать строки команд сценариев из системы 240 профилирования сценариев, а также любые сценарии в файле 227 сценариев. Запуск строк команд сценариев приводит к созданию компонентов 245 заказа на фотомаску. Например, в показанном варианте выполнения подсистема 250 составления сценариев создает объектную модель MaskPilot(r), которая может включать компоненты и субкомпоненты шаблона заказа на фотомаску. Затем компоненты заказа на фотомаску можно использовать для создания полного или неполного заказа на фотомаску в различных собственных и/или стандартных форматах заказа на фотомаску, таких как стандартный формат SEMI P-10. Например, на стадии S122 используется объектная модель MaskPilot(r) для создания полного файла Р-10, а на стадии S124 объектная модель MaskPilot(r) используется для создания неполного файла Р-10.
На стадии S125 определяется, следует ли обрабатывать заказ на фотомаску. Если да, то на стадии S126 заказ на фотомаску можно передавать изготовителю фотомаски для обработки и использовать для изготовления фотомаски. На интерфейс 100 пользователя могут направляться сообщения для заказчика, указывающие, например, что создан заказ на фотомаску, что имеются ошибки в заказе на фотомаску или что заказ на фотомаску отправлен изготовителю фотомаски для обработки. Сообщения могут быть в виде электронной почты, дежурных сообщений, файлов регистрации или вводов в базу данных. В одном варианте выполнения признаки составления сообщений автоматически создают сообщение, направляемое в распределительный список имен лиц, связанных с заказом фотомаски. Этот распределительный список может быть составлен с помощью любых заданных критериев. После создания сообщения каждое лицо в распределительном списке автоматически получает сообщение, что заказ на фотомаску создан. Такие сообщения могут включать электронную почту, звуковую сигнализацию, мобильный телефон, чтобы назвать некоторые из них. Этот процесс автоматической рассылки сообщений может быть установлен в любом месте сети заказчика или даже сети изготовителя и инициироваться любой стадией по желанию заказчика. Этот пример не следует рассматривать в качестве ограничивающего данное изобретение, а лишь как иллюстрирующий тип системы сообщений, которая может быть включена в данное изобретение.
Заказ на фотомаску может автоматически направляться к изготовителю фотомаски, если нет ошибок, или же может направляться лишь после разрешения пользователя системы заказчика. Если обнаружены ошибки, то заказчик может получить запрос на ввод дополнительной информации для исправления
- 11 -
010259
ошибок в созданном заказе на фотомаску.
Указанная выше система 200 создания заказа на фотомаску может быть приспособлена для обеспечения возможности изготовителю фотомаски извлекать информацию, относящуюся к потенциальному или новому заказчику и автоматически создавать файлы установки Cybermask(r) для потенциальных или новых заказчиков фотомасок. На фиг. 14 показана графическая схема, иллюстрирующая способ создания файлов установки Cybermask(r), согласно одному примеру выполнения изобретения. Стадии S102-S108 являются, по существу, теми же, что и в предшествующем варианте выполнения, за исключением того, что система 225 профилирования данных установлена для обеспечения дерева решений, которое требует информацию, относящуюся к потенциальному или новому заказчику, и/или которое позволяет изготовителю принимать решение об утверждении заказчика для обработки следующего заказа на фотомаску. Как показано на фиг. 15, после идентификации изготовителем потенциального заказчика на стадии S300 процесс продолжается для обеспечения изготовителю фотомаски возможности ввода информации, относящейся к потенциальному или новому заказчику. Например, на стадии S302 изготовитель фотомаски может получать команды-подсказки на ввод общей информации, относящейся к потенциальному заказчику фотомаски на экране ввода общей информации или интерфейсе ввода любого другого типа. На этой стадии пользователь может получать команды-подсказки на ввод имени потенциального заказчика фотомаски, например, посредством выбора из прокручиваемого списка известных заказчиков фотомасок и информации о производственных мощностях ("fab") потенциального заказчика. Изготовитель фотомасок может получать также команды-подсказки на ввод дополнительной специальной информации, такой как, например, информации о финансовом положении заказчика (на стадии S304), полном доступном рынке (ТАМ), текущей прибыли и возможном увеличении прибыли, информации, относящейся к объему производства потенциального заказчика (на стадии S306) и другие полезные предложения (на стадии S308). Часть или вся специальная информация, относящаяся к потенциальному заказчику, может автоматически заполняться на основе общей информации, в этом случае пользователь может иметь возможность модифицировать и/или стирать информацию. В любой момент во время ввода специальной информации, относящейся к потенциальному заказчику, может создаваться подпрограмма утверждения, в которой управление изготовителя фотомасок имеет возможность пересмотра информации, относящейся к потенциальному заказчику, и подтверждения или отклонения дальнейшей обработки заказа потенциального заказчика. Например, на стадии S310 определяется, является ли заказчик хорошим кандидатом для осуществления MaskPilot(r) или любой другой автоматической системы создания заказов на фотомаски. Если да, то процесс переходит на стадию S316, где в главное управление может быть отправлена распечатка, электронная почта или другой тип сообщения, которое требует подтверждения заказчика на осуществление MaskPilot(r). Если заказчик не является хорошим кандидатом на осуществление MaskPilot(r), то процесс может продолжаться на стадии S312, где определяется, является ли заказчик "Заказчиком 1 очереди", что означает, что заказчик является ценным заказчиком на основе ранее собранной информации. Если заказчик не является "заказчиком 1 очереди", то процесс переходит на стадию S314, где запрашивается региональное рабочее подтверждение для обработки заказа на фотомаску заказчика.
Другая специальная информация, необходимая для ввода, в частности, после подтверждения управления и/или определения, что заказчик является "заказчиком 1 очереди", может быть выбором подходящего средства для ввода заказа на фотомаску, принятого от заказчика (на стадии S318). Например, предложенные подходы к вводу заказа на фотомаску могут включать использование MaskPilot(r) или же посредством простого приема файла SEMI P-10. Экран ввода пользовательского заказа может также требовать информацию, относящуюся к схемам осуществления заказа (на стадии S320) и может требовать от пользователя задать предлагаемые задачи, подлежащие автоматизации (на стадии S322).
На стадии S126A автоматически создаются файлы установки Cybermask(r) с использованием информации, хранящейся в файле 227 характеристик, и подсистемой 250 составления сценариев запускаются сценарии. Таким образом, для изготовителя фотомасок нет необходимости вручную выводить такие файлы установки, что увеличивает скорость и уменьшает расходы всего процесса изготовления фотомаски. В частности, после правильного ввода всей необходимой специальной информации, относящейся к заказу на фотомаску, процесс продолжается на стадиях S110-S125 для определения и запуска подходящих строк команд сценариев, что приводит к автоматическому созданию файлов установки Cybermask(r). Затем система Cybermask(r) может автоматически обрабатывать заказ заказчика и посылать обратно к пользователю сообщения, относящиеся к статусу заказа.
Систему 200 можно также модифицировать для работы в качестве узла, встроенного в систему отслеживания заказа на фотомаску, такую как система MaskTrac(r) фирмы Phototronics. Система отслеживания заказа на фотомаску предпочтительно обеспечивает портал для заказчиков для мониторинга заказа на фотомаску от первоначальной обработки до конечной поставки. На фиг. 16-18 показаны фотографии с различных экранов Web-страниц, созданных системой отслеживания заказа на фотомаску, которую можно использовать в различных примерах выполнения данного изобретения. Следует отметить, что система отслеживания заказа на фотомаску не ограничивается осуществлением с помощью Web-страниц, доступных через Интернет, и что доступ к таким системам возможен через любой другой подходящий ин
- 12 -
010259
терфейс пользователя. На фиг. 16 показана фотография с экрана портала 400 заказчика, доступ к которому обеспечивается посредством ввода имени пользователя и идентификатора пользователя. Портал 400 заказчика сообщает статус заказов на фотомаски, полученных от заказчика, и в предпочтительном варианте выполнения организует статусы на основе фотомасок, которые обрабатываются в настоящее время ("активные пластины") и которые уже выполнены ("готовые пластины"). Для активных пластин портал 400 заказчика может обеспечивать информацию, такую как, например, текущее рабочее место, статус пластины, тип задержки (при необходимости) и текущий статус пластины, чтобы назвать некоторые из них. Для готовых пластин портал заказчика может обеспечивать информацию, такую как, например, дата отправки и номер накладной, чтобы назвать некоторые из них. На фиг. 17 показана фотография с экрана страницы 410 отслеживания упаковки, которая показывает статус отправки заказа на фотомаску. Доступ к странице 410 отслеживания упаковки для конкретной фотомаски можно получить посредством выбора номера накладной для заказа на фотомаску в портале 400 заказчика. Страница 410 отслеживания упаковки обеспечивает информацию об отправке, такую как, например, номер отслеживания отправки, место поставки, дата отгрузки и дата/время поставки, чтобы назвать некоторые из них.
Более детальную информацию относительно заказа на фотомаску можно просматривать посредством выбора окна "просмотр" в категории "результаты" в портале 400 заказчика, что приводит к отображению страницы 20 результатов заказа на фотомаску, фотография с экрана которой показана на фиг. 18. Страница 420 результатов заказа на фотомаску обеспечивает подробную информацию, относящуюся к готовой или частично готовой фотомаске, такую как, например, допуски рисунка, фазовый сдвиг, способы, использованные для обнаружения дефектов и частиц, и чувствительности машин, чтобы назвать некоторые из них.
Во время обработки фотомаски часто необходимо отслеживать переменные параметры изготовления, такие как, например, окружающие условия, которые могут влиять на готовую фотомаску. Можно создавать системы отслеживания масок, такие как система MaskTrac(r), которые позволяют изготовителям фотомаски наблюдать за этими переменными параметрами посредством размещения узла внутри системы отслеживания маски, которая требует у изготовителя ввода определенной информации. Такой узел может запрашивать информацию, относящуюся к одному или нескольким переменным параметрам изготовления, и затем использовать информацию для определения и запуска подходящих сценариев, которые создают сообщения электронной почты или другой тип сообщений и/или могут остановить процесс изготовления фотомаски. Например, как показано на фиг. 20, узел 500 может быть расположен в системе MaskTrac(r), который позволяет пользователю вводить информацию об управлении климатом. Как показано на фиг. 19, узел 500 может позволять пользователю вводить информацию об управлении климатом в интерфейс данных посредством направления пользователя в дереве решений, как было описано выше применительно к стадиям S102-S108. Таким образом, узел 500 может сначала запрашивать, является ли правило конструкции изделия больше 0,13 (стадия S502). Если да, то пользователю может быть представлен инженерный обзор управления климатом (стадия S504), что может потребовать у пользователя выбрать число отклонений от заданного режима (стадия S506), диапазон влажности (стадия S508), диапазон температур (стадия S516). Система 225 профилирования данных в узле 500 может быть выполнена с возможностью создания файла сценариев, если любой из диапазонов климата выходит за допустимые пределы. Например, если диапазон влажности превышает 77% (стадия S510), то процесс может переходить на стадию S126B, где создается сигнал предупреждения, относящийся к информации управления климатом. Предупреждение может быть, например, в виде фразы "Пожалуйста, прочтите инженерное сообщение", созданной и отображенной на экране ввода данных (стадия S512), или в виде электронной почты, отправленной в центр управления производством (стадия S514). В данном варианте выполнения стадия S510 соответствует стадии S107 в предшествующих вариантах выполнения, тем что эта стадия может запускать генератор 230 сценариев с целью определения подходящих файлов сценариев, подлежащих запуску для выполнения необходимой функции. В этом варианте выполнения генератор 230 сценариев относится к файлам сценариев, созданных в результате выхода диапазона влажности за допустимые пределы, и подсистема 250 составления сценариев запускает эти сценарии для создания предупреждающего сообщения и/или для выдачи команды на остановку заказа на фотомаску.
После раскрытия и подробного описания предпочтительных вариантов выполнения данного изобретения для специалистов в данной области техники очевидны различные модификации и улучшения. В соответствии с этим идею и объем данного изобретения следует понимать в широком смысле, и они ограничиваются лишь прилагаемой формулой изобретения, а не предшествующим описанием.
ФОРМУЛА ИЗОБРЕТЕНИЯ 1. Способ создания заказа на фотомаску, содержащий стадии
создания интерфейса пользователя для общей информации, подсказывающего пользователю ввести общие данные о заказчике, размещающем заказ на фотомаску,
создания интерфейса пользователя для пользовательского заказа, подсказывающего пользователю ввести специальные данные, необходимые для завершения заказа на фотомаску, на основе общих данных
- 13 -
010259
и/или специальных данных, ранее введенных пользователем,
создания файла характеристик на основе специальных данных,
обеспечения доступа в файл команд сценариев, используемый для создания заказа на фотомаску, на основе файла характеристик, и
создания заказа на фотомаску с использованием файла команд сценариев.
2. Способ по п.1, в котором общие данные включают информацию, идентифицирующую заказчика.
3. Способ по п.2, в котором общие данные включают имя регистрации и пароль.
4. Способ по п.1, в котором специальные данные содержат по меньшей мере один из следующих элементов: информацию о выставлении счетов, информацию о поставках, информацию о типе изделия, информацию об оборудовании шагового мультипликатора, информацию о конечном изделии, наименование устройства, названия масок, необходимые данные, число компакт-дисков, цифровые данные звуковой информации, техническое задание на инструментальную обработку.
5. Способ по п.1, в котором специальные данные включают данные, которые занесены предварительно.
6. Способ по п.5, в котором предварительно занесенные данные включают данные, которые может редактировать пользователь.
7. Способ по п.1, в котором специальные данные, которые запрашиваются интерфейсом пользователя для пользовательского заказа, содержат данные, которые отличаются от данных стандартного заказа на фотомаску.
8. Способ по п.1, в котором файл характеристик является совместимым для использования по меньшей мере в одной из различных систем создания заказов на фотомаски.
9. Способ по п.1, в котором заказ на фотомаску создан по меньшей мере в одном из различных собственных и стандартных форматов заказов на фотомаски.
10. Способ по п.1, в котором заказ на фотомаску является полным заказом в стандартном формате заказов на фотомаски или в собственном формате заказов на фотомаски.
11. Способ по п.1, в котором заказ на фотомаску является неполным заказом в стандартном формате заказов на фотомаски или в собственном формате заказов на фотомаски.
12. Способ по п.1, дополнительно содержащий стадию проверки специальных данных, введенных пользователем, на достоверность.
13. Способ по п.12, дополнительно содержащий стадию подсказки пользователю ввести правильные данные, когда в процессе проверки обнаруживаются ошибки во введенных специальных данных.
14. Способ по п.1, дополнительно содержащий стадию передачи заказа на фотомаску в компьютерную систему изготовителя фотомаски для дальнейшей обработки.
15. Способ по п.14, дополнительно содержащий стадию приема сообщения из компьютерной системы изготовителя фотомаски, подтверждающего статус заказа на фотомаску.
16. Способ по п.14, дополнительно содержащий стадию приема сообщения из компьютерной системы изготовителя фотомаски, идентифицирующего по меньшей мере одну ошибку в заказе на фотомаску.
17. Способ по п.14, дополнительно содержащий стадию приема сообщения из компьютерной системы изготовителя фотомаски, подтверждающего, что заказ на фотомаску передан правильно и полностью.
18. Способ по п.14, в котором заказ на фотомаску передают с использованием одного из следующих протоколов: FTP, HTTP, SMTP и любой прикладной программы, поддерживаемой протоколом передачи.
19. Способ по п.14, дополнительно содержащий стадию верификации, по меньшей мере, достоверности, выполнимости или желательности заказа на фотомаску.
20. Способ по п.19, дополнительно содержащий стадию модификации специальных данных на основе результатов стадии верификации.
21. Способ по п.20, в котором специальные данные подвергаются модификации автоматически.
22. Способ по п.20, в котором специальные данные подвергаются модификации пользователем вручную.
23. Способ по п.1, в котором интерфейс пользователя для общей информации является экраном ввода общей информации, созданным компьютером.
24. Способ по п.23, в котором интерфейс пользователя для пользовательского заказа является экраном ввода пользовательского заказа, созданным компьютером.
25. Способ по п.24, в котором экран ввода общей информации и экран ввода пользовательского заказа создаются в локальном компьютере.
26. Способ по п.1, в котором экран ввода общей информации и экран ввода пользовательского заказа создаются в компьютере, расположенном вдали от компьютера, используемого пользователем.
27. Способ по п.24, в котором экран ввода общей информации и экран ввода пользовательского заказа создаются в компьютере, расположенном в интрасети вместе с компьютером, используемым пользователем.
28. Способ по п.24, в котором экран ввода общей информации и экран ввода пользовательского за
- 14 -
010259
каза создаются в компьютере, расположенном в экстрасети вместе с компьютером, используемым пользователем.
29. Система создания заказа на фотомаску, содержащая
генератор интерфейса пользователя для общей информации, предназначенный для создания и форматирования интерфейса пользователя для общей информации, подсказывающего пользователю ввести общие данные, относящиеся к заказчику, размещающему заказ на фотомаску,
генератор интерфейса пользователя для пользовательского заказа, предназначенный для создания и форматирования интерфейса пользователя для пользовательского заказа, подсказывающего пользователю ввести специальные данные, относящиеся к заказу на фотомаску, на основе общих данных и/или специальных данных, введенных ранее,
генератор сценариев, предназначенный для доступа в соответствующий набор сценариев для запуска на основе специальных данных, введенных на экран ввода пользовательского заказа,
подсистему сценариев, предназначенную для запуска набора сценариев, определяемых подсистемой сценариев, с целью преобразования специальных данных в компоненты заказа на фотомаску, и
генератор заказа на фотомаску, предназначенный для создания полного или неполного заказа на фотомаску на основе компонентов заказа на фотомаску.
30. Система по п.29, в которой общие данные содержат информацию, идентифицирующую заказчика.
31. Система по п.31, в которой общие данные включают имя регистрации и пароль.
32. Система по п.29, в которой специальные данные содержат по меньшей мере один из следующих элементов: информацию о выставлении счетов, информацию о поставках, информацию о типе изделия, информацию об оборудовании шагового мультипликатора, информацию о конечном изделии, наименование устройства, названия масок, необходимые данные, число компакт-дисков, цифровые данные звуковой информации, техническое задание на инструментальную обработку.
33. Система по п.29, в которой по меньшей мере часть данных, подлежащих вводу в качестве специальных данных, занесены предварительно.
34. Система по п.29, в которой по меньшей мере часть данных может редактировать пользователь.
35. Система по п.29, в которой страница ввода пользовательского заказа подсказывает пользователю ввести лишь данные, которые отличаются от данных стандартного заказа на фотомаску.
36. Система по п.29, дополнительно содержащая файл характеристик, который хранит специальные данные в формате, совместимом с генератором заказа на фотомаску.
37. Система по п.35, в которой файл характеристик выполнен в виде базы данных.
38. Система по п.36, в которой файл характеристик является совместимым для использования по меньшей мере с одним из различных генераторов заказов на фотомаски.
39. Система по п.29, в которой интерфейс пользователя для общих данных является Web-страницей.
40. Система по п.29, в которой интерфейс пользователя для общих данных включает последовательность соединенных друг с другом Web-страниц.
41. Система по п.29, в которой интерфейс пользователя для пользовательского заказа является Web-страницей.
42. Система по п.29, в которой интерфейс пользователя для пользовательского заказа содержит последовательность соединенных друг с другом Web-страниц.
43. Система по п.36, в которой подсистема составления сценариев преобразует файл характеристик в объектную модель заказа на фотомаску.
44. Система по п.29, в которой заказ на фотомаску создан по меньшей мере в одном из различных собственных и стандартных форматов заказов на фотомаски.
45. Система по п.29, в которой заказ на фотомаску является полным заказом в стандартном формате заказов на фотомаски или в собственном формате заказов на фотомаски.
46. Система по п.29, в которой заказ на фотомаску является неполным заказом в стандартном формате заказов на фотомаски или в собственном формате заказов на фотомаски.
47. Система по п.29, дополнительно содержащая систему верификации, предназначенную для проверки достоверности специальных данных, введенных пользователем.
48. Система по п.29, в которой система верификации подсказывает пользователю ввести правильные данные, когда процесс проверки выявляет ошибки во введенных специальных данных.
49. Система по п.47, в которой система верификации содержит передатчик заказа на фотомаску, предназначенный для передачи заказа на фотомаску в компьютерную систему изготовителя фотомаски для дальнейшей обработки.
50. Система по п.49, в которой система верификации дополнительно содержит систему передачи сообщений, предназначенную для передачи сообщения из компьютерной системы изготовителя фотомаски к пользователю, подтверждающего статус заказа на фотомаску.
51. Система по п.50, в которой сообщение передается по меньшей мере в одном из следующих форматов: электронной почты, звуковой сигнализации или мобильного телефона.
52. Система по п.50, в которой система передачи сообщений передает сообщение из компьютерной
- 15 -
010259
системы изготовителя фотомаски к пользователю, идентифицирующее по меньшей мере одну ошибку в заказе на фотомаску.
53. Система по п.50, в которой система передачи сообщений передает сообщение из компьютерной системы изготовителя фотомаски к пользователю, указывающее, что заказ на фотомаску полностью и правильно передан.
54. Система по п.49, в которой передатчик заказа на фотомаску передает заказ на фотомаску с использованием одного из следующих протоколов: FTP, HTTP, SMTP и любой прикладной программы, поддерживаемой протоколом передачи.
55. Система для создания заказов на фотомаски, содержащая читаемый компьютером носитель информации, содержащий читаемые компьютером команды, выполняемые процессором для выполнения способа, содержащего стадии
создания интерфейса пользователя для общей информации, подсказывающего пользователю ввести общие данные о заказчике, размещающем заказ на фотомаску,
создания интерфейса пользователя для пользовательского заказа, подсказывающего пользователю ввести специальные данные, необходимые для завершения заказа на фотомаску, на основе общих данных и/или специальных данных, введенных ранее,
создания файла характеристик на основе специальных данных;
доступа в файл команд сценариев, используемого для создания заказа на фотомаску, на основе файла характеристик, и
создания заказа на фотомаску с использованием файла команд сценариев.
56. Система по п.55, в которой общие данные содержат информацию, идентифицирующую заказчика.
57. Система по п.56, в которой общие данные включают имя регистрации и пароль.
58. Система по п.55, в которой специальные данные содержат по меньшей мере один из следующих элементов: информацию о выставлении счетов, информацию о поставках, информацию о типе изделия, информацию об оборудовании шагового мультипликатора, информацию о конечном изделии, наименование устройства, названия масок, необходимые данные, число компакт-дисков, цифровые данные звуковой информации, техническое задание на инструментальную обработку.
59. Система по п.55, в которой специальные данные содержат данные, которые занесены предварительно.
60. Система по п.59, в которой предварительно занесенные данные содержат данные, которые может редактировать пользователь.
61. Система по п.55, в которой специальные данные, которые вводятся по подсказкам страницы ввода пользовательского заказа, содержат данные, которые отличаются от данных стандартного заказа на фотомаску.
62. Система по п.55, в которой файл характеристик является совместимым для использования по меньшей мере с одной из различных систем создания заказов на фотомаски.
63. Система по п.55, в которой заказ на фотомаску создан по меньшей мере в одном из различных собственных и стандартных форматов заказов на фотомаски.
64. Система по п.55, в которой заказ на фотомаску является полным заказом в стандартном формате заказов на фотомаски или в собственном формате заказов на фотомаски.
65. Система по п.55, в которой заказ на фотомаску является неполным заказом в стандартном формате заказов на фотомаски или в собственном формате заказов на фотомаски.
66. Система по п.55, дополнительно содержащая стадию проверки на достоверность специальных данных, введенных пользователем.
67. Система по п.66, дополнительно содержащая стадию подсказки пользователю ввести правильные данные, когда в процессе проверки обнаруживаются ошибки во введенных специальных данных.
68. Система по п.55, дополнительно содержащая стадию передачи заказа на фотомаску в компьютерную систему изготовителя фотомаски для дальнейшей обработки.
69. Система по п.68, дополнительно содержащая стадию приема сообщения из компьютерной системы изготовителя фотомаски, подтверждающего статус заказа на фотомаску.
70. Система по п.68, дополнительно содержащая стадию приема сообщения из компьютерной системы изготовителя фотомаски, идентифицирующего по меньшей мере одну ошибку в заказе на фотомаску.
71. Система по п.68, дополнительно содержащая стадию приема сообщения из компьютерной системы изготовителя фотомаски, подтверждающего, что заказ на фотомаску передан правильно и полностью.
72. Система по п.68, в которой заказ на фотомаску передается с использованием одного из следующих протоколов: FTP, HTTP, SMTP и любой прикладной программы, поддерживаемой протоколом передачи.
73. Система по п.68, дополнительно содержащая стадию верификации, по меньшей мере, достоверности, выполнимости или желательности заказа на фотомаску.
- 16 -
010259
74. Система по п.73, дополнительно содержащая стадию модификации специальных данных на основе результатов стадии верификации.
75. Система по п.74, в которой специальные данные подвергаются модификации автоматически.
76. Система по п.74, в которой специальные данные подвергаются модификации пользователем вручную.
77. Система по п.55, в которой интерфейс пользователя для общей информации и интерфейс пользователя для пользовательского заказа являются экранами, созданными в локальном компьютере.
78. Система по п.55, в которой экран ввода общей информации и экран ввода пользовательского заказа созданы в компьютере, расположенном вдали от компьютера, используемого пользователем.
79. Система по п.55, в которой экран ввода общей информации и экран ввода пользовательского заказа создаются в компьютере, расположенном в интрасети вместе с компьютером, используемым пользователем.
80. Система по п.55, в которой экран ввода общей информации и экран ввода пользовательского заказа создаются в компьютере, расположенном в экстрасети вместе с компьютером, используемым пользователем.
81. Способ обработки заказа на фотомаску, содержащий стадии
создания интерфейса пользователя для общей информации, подсказывающего пользователю ввести общие данные о заказчике, размещающем заказ на фото маску;
создания интерфейса пользователя для пользовательского заказа, подсказывающего пользователю ввести специальные данные, необходимые для обработки заказа на фотомаску, на основе общих данных и/или введенных ранее специальных данных;
создания файла характеристик на основе специальных данных;
создания установочного файла для системы обработки заказа на фотомаску посредством доступа в файл команд сценариев на основе файла характеристик;
установки системы обработки заказа на фотомаску с использованием файла установки и обработки заказа на фотомаску с использованием системы обработки заказа на фотомаску.
82. Способ отслеживания заказа на фотомаску, содержащему стадии
создания интерфейса пользователя для общей информации, подсказывающего пользователю ввести общие данные об условиях изготовления заказа на фотомаску;
создания интерфейса пользователя для пользовательского заказа, подсказывающего пользователю ввести специальные данные, относящиеся к условиям изготовления заказа на фотомаску, на основе общих данных и/или введенных ранее специальных данных;
создания файла характеристик на основе специальных данных и
создания сообщения посредством доступа в файл команд сценариев на основе файла характеристик.
14 13
Фиг. 1
14' 14'
Фиг. 2
- 17 -
010259
13'
13'
12f
Фиг. 3
Кремниевая подложка
Осаждение
Изображение
ШШ1 уаФ.от(tm)ас"* ttttttt
Получение изображения с помощью фотолитографии
Травление
Фиг. 4
Источник освещения
Фотомаска (фотооригинал)
Кремниевая подложка
Конденсор
Уменьшающие линзы
Фиг. 5
- 18 -
010259
Генератор интерфейса ввода общей информации
Общая информация
Генератор интер фейса ввода специальной информации
Специальная информация
Синтаксический анализатор
Синтаксически анализированные данные_
Файл характеристик
Данные и/или сценарии
Система профили рования сценариев
Сценарии 237^
Система профил* рования данных
Генератор сценариев
Ссылки на
подходящие
сценарии
Подсистема составления сценариев
Компоненты заказа
Генератор заказа на фотомаску
Заказ на фотомаску
255
Система верификации
Система составления сообщений_
Передатчик заказа на фотомаску
Фиг. 6
- 19 -
010259
Регистрация:
Регистрация
внешняя
внутренняя
ПольэавэтепьЯНИК
Предприятие
Пароль НЯНЯ
Внешняя регистрация создает идентификатор предприятия, место обработки и адрес предприятия для протомлю передачи файлов. Идектифтатор предприятия передастся а систему программным путем через ограничу внутренней регистрации
Предприятие
Шаговый RflHV мультипликатор
г. \
Изделие MLR
Устройство:\
Изделие STD
V: Поликремний ¦ Via.: ; ш Металл V Затвор ;
Предприятие В Изделие MLR Конструкция ???? Название ААААА Устройство ВВВВВ
<- ч
Слой поликремнкевый. затвор
5. Оц.(фрснм Число CD:-. ...-
, Место:
Предприятие В Изделие STD Конструкция ???? Слой поликремниевый, VIA Оцифровка полная Число CD 5 Штрих-код ААААА Место; Брукфилд
Фиг. 7
- 20 -
010259
Фиг. 9
- 21 -
010259
Фотомаски: с Поликремний
? VIA
? Металл
? Металл 1 П Затвор О Контакт
О Матрица затвора
| Отмена | |Ввод|
Фиг. 12
- 22 -
010259
ПоЛИКреМНИЙ Цифровые данные ? Темное пятно:
Число CD: [ Номер опорного щтрих-кода#: ? Место изготовления:
Контакт
Цифровые данные ? Темное пятно:
Число СО: Q Номер опорного штрих-кода*: Г
Матрица затвора
Место изготовления:
Цифровые данные П Темное пятно:
Число СО: j___
Номер опорного штрих-кода#:|~ яМесто изготовлениям
Фиг. 13
Интерфейс пользователя
Создание и обновление
Результаты сообщений
Фиг. 14
- 23 -
010259
Потенциальный заказчик для авмитичевгЛ регистрации иаетмрацмроааи
Слабый клиент
Элементы включают: полный доступный рынок, текущая прибыль, возможное увеличение прибыли
S3O0
Выбор 3"BW иврооедставной юииости
Ввод финансовой информации
юпичестввн-лоиитетий
I других"
Ввод ценных пред" ложекий
$302
S304
S306
S308
Соответствуют стадиям ! S102-S108
S31ff^^^rter,c3a1^4^'k Нет
S314
системы Mas WW
S316
¦ очереди-'
Разрешение главного ^управления
Релпнагьню разрешат м выполнекж работ
Возможности выбора включают: MaskPilot, получаемый стандарт SEMI Р10, MaskPilot или создание SEMI
Ввод информации, относящейся к заказу рисунюв
Задание предложенных задач, подлежащих автоматизации
Вводпредпожинчых задач автоматизации
S3 20
S322
На основе предоставленной информации, задач, направлений и информации заказчика автоматически устанавливается CyberMask
Автошткчесш установи CyberMask
Соответствуют стадиям S110 - S120A
Фиг. 15
- 24 -
010259
Портал заказчика
(Статус заказа (обрабатываемые пластины)
Имя заказчика: DEMO seMiCONDUCTOR Msttifrfaaniitiari Адрес; 400 ЪЛж± Strt*l
Город/страна/почтовый индекс: snt"ii"ii",usA002io
Номер заказчика: 123Л
Обозначение заказчика; Р313бэет
Номер предприятия: (c)009
Наименование предприятия: Motorola
Номер заказа: 3012247
Место заказа: АмиГп
3057074 L43x ЬОв-00 4/5/2004 final 4/27/2004 AIKUA ACT SKEpping V|g""
|з05707* L43x C-OG-00 "29/2004 flnil 4/2TQ004 Anirtlft ACT Skipping Vnm
30*707* L43x ЕЧР-00 4/24/2004 finil "27/20О4 Autfln ACT f foal &t"f Vi"w
Статус заказа (готовые пластины) Мок Infcnrtabgn
! Имя заказчика: DEMO SEMICONDUCTOR I Адрес: too мл* sic"*t
ГорОД^СТранаМоЧТОВЫЙ Индекс: SmjIMII*. USA 00210
I Номер заказчика: 1236 j Обозначение заказчика: г9136387
Номер предприятия: вазе | Наименование предприятия: Mofor"u | Номер заказа: 3012247
Место заказа: Awtln
ЗОЖЫв L43x СОв-ОО 4/5I20O4 Flnjl 4070004 4000004 VI.w
Э050947 РОДОС 428Я004 FiMl 407Я004 4GO/2004 2^222 Wmw
30Я949 L43x 040-00 430/2004 fiml 4127/2004 S2J2004 33333 VUw
Фиг. 16
Отслеживание поставок
Подробные результаты
Номер отслеживания!
79^17142387
j Доставить Recepl/Fmt desk :
Подписано:
john Jones \ Место доставки ; Dresden Germany;
Дата отправки\
Apr 14.2004______________.....___________..........________________;|DE...... ....._............ :
Дата/время поставки
Apr 16,2004 11:32 am; Тип обслуживания ^Priority Рак
Apr 16, 2004:10:30 ami Delivered i
Dresden i
j [9:09 am sjAmved at-FedEx-destination !
[Apr 15, 2004(8.30 am .(Arrived at FedEx ramp
S |12:09 pmjjStatus \
Somewhere, DE (Comments Franfurt DE f Frankfurt, DE :[
Apr 14,2004 11 30 pm.|Left FedEx Sort Facility jjNewark NJ j j
\9 09 am ijArnved at FedEx Sort Facility! Newark NJ || ;
Фиг. 17
- 25 -
010259
ahttp:.f/corpore[
^i:8249Jma5kffnkyiflrmatRepQrtLritml ¦ Wlicfqsof I internet Екр|
331
'ни' 1ГГЧ1 ¦
em*
"3B
нэп
ОЛЯ
Фазовый сдвиг
Ti 1 - iT" 430K n"aerurt даме
1и*Ттш
UfoK^dptbaJ 1 dibit bp bbttOttd
Проверка наличия частиц
Ejiji%^""tM"' 7 ~[
Чувствительность машин проверки рисунка
tfAtival нш**гк wtMgt си JiJ-fbif JrfJJ
MfIR (D*I?" Ьгр*л RAIHMI
CiMuMc
Фиг. 18
Создание и обновление
Результаты сообщений
сценариев
-Нет-
dtiwswwmmwM-
Фиг. 19
- 26 -
010259
500
Рабочий центр процессаMaskTrac
Рабочий центр
регистрации
MaskTrac
Рабочий центр
ИНОККЦИ!
MatkTrx
Рабочий
центр
отправки
[Слабый клиенту
Соответствует стадиям S102-S108
S502
\S504
нэдпияболыие
-Нет}-
Огабрагашиенер-юга обзср управления шмгш
".' ' S508 \ Выбор-у г; ¦¦ хдиапазона/
влажности
:д-,-/•
О^^яо Предает ""-^диапазон
/ *Г Нет
, Ч \ Выбор ; -.. ¦ Лдиагяэона S51'' теиператур
-(Окончание")
| Соответствует j i стадиям ' j S110-S126B ;
i S512_ j
|: /бтображениеХ \ сообщения: "Пожалуйста, просмотрите инженерный обюр" J i
ЗАЙгроннаа почта: управление проювадспсяи "сто остами!"
проиэвэдетва
S5I4
Фиг. 20
Евразийская патентная организация, ЕАПВ Россия, 109012, Москва, Малый Черкасский пер., 2/6
- 27 -