EA200801617A1 20081230 Номер и дата охранного документа [PDF] EAPO2008\TIT_PDF/200801617 Титульный лист описания [PDF] EAPO2008/PDF/200801617 Полный текст описания EA200801617 20070130 Регистрационный номер и дата заявки FI20065063 20060130 Регистрационные номера и даты приоритетных заявок FI2007/050049 Номер международной заявки (PCT) WO2007/085704 20070802 Номер публикации международной заявки (PCT) EAA1 Код вида документа [eaa] EAA20806 Номер бюллетеня [RU] СПОСОБ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ПЕРЕМЕЩЕНИЯ ПОВЕРХНОСТИ Название документа G01B 11/00, G01P 13/00, G01P 3/68, G01S 11/00 Индексы МПК [FI] Йокинен Ханну Сведения об авторах [FI] ВИЗИКАМЕТ ОУ Сведения о заявителях
 

Патентная документация ЕАПВ

 
Запрос:  ea200801617a*\id

больше ...

Термины запроса в документе

Реферат

Поверхность (1040) многократно детектируется рядом детекторов (102) по крайней мере одного детектора (100), при этом расположение ряда детекторов (102) совпадает с первоначальным направлением движения поверхности (104) и одновременно определяется расстояние между поверхностью (104) и детектором (100) с целью выработки данных увеличения и отображающих рядов. Последовательные отображающие ряды расположены в виде матрицы и определяют направление по крайней мере одной кривой в матрице. Поступательное перемещение поверхности (104) определяют в отображающей матрице посредством направления или направлений по крайней мере одной кривой или части кривой на основе данных увеличения.

 


Полный текст патента

(57) Реферат / Формула:
(1040) многократно детектируется рядом детекторов (102) по крайней мере одного детектора (100), при этом расположение ряда детекторов (102) совпадает с первоначальным направлением движения поверхности (104) и одновременно определяется расстояние между поверхностью (104) и детектором (100) с целью выработки данных увеличения и отображающих рядов. Последовательные отображающие ряды расположены в виде матрицы и определяют направление по крайней мере одной кривой в матрице. Поступательное перемещение поверхности (104) определяют в отображающей матрице посредством направления или направлений по крайней мере одной кривой или части кривой на основе данных увеличения.

 


I43EA 13
Заявка на патент PCT/FI2007/050049 от 30.01.2007 с приоритетом от 30.01.2006 Заявитель: ВизиКаМет 0\. Финляндия
Способ и устройство для измерения перемещения поверхности ОБЛАСТЬ ИЗОБРЕТЕНИЯ
(0001] Изобретение относится к способу и измерительном)' устройству для измерения поступательное движения поверхности. УРОВЕНЬ ТЕХНИКИ
[0002] Значение корреляции двух изображений могут быть использованы для определения движения, подъема, падения, наклона, изменения формы и неподвижности поверхности. Если изображения похожи, то поверхность остается неизменной и значение корреляции высоко. Если, с другой стороны, имеются различия в этих изображениях, то поверхность некоторым образом изменилась, что снижает значение корреляции. Поиск максимального значения корреляции посредством движения сравниваемых изображений друг относительно друга во времени или в отношении их расположения может дать информацию о движении измеряемой поверхности.
[0003] Скорость движения поверхности может также быть измерена посредством создания движущейся поверхности в направлении движения и последующего переноса ряда изображений в матрицу изображений. Угловой коэффициент линий в матрице может быть использован для определения скорости перемещения поверхности. Такое решение описано в финском патенте 80527. [0004] Однако решения, известные из уровня техники, обладают недостатками. Корреляция требует, чтобы существовав сопоставимые изображения измеряемой поверхности. Наряду с использованием корреляции и различных измерений скорости трудно или невозможно измерить (приблизительно) неподвижную поверхность, поверхность, которая движется взад и вперед, или движется неравномерно, гак как движение поверхности не всегда имеет скорость, которую можно определить однозначно.
WO 2007/085704
PC"T7FI20(P/05()049
КРАТКОЕ ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
[0005] Целью настоящего изобретения является создание усовершенствованного способа и измерительного устройства для осуществления этого способа. Эта цель достигается посредством способа измерения поступательного движения поверхности, при котором движение измеряемого объекта имеет, по крайней мере, одно направление движения. Также этот способ включает неоднократное детектирование поверхности посредс твом ряда детекторов из. по крайней мере, одного детектора, а направление детектора совпадает с основным направлением движения поверхности, и одновременно определяется расстояние между поверхностью и детектором с целью выработки данных увеличения и отображающих рядов; расположение последовательных отображающих рядов в виде матрицы: определение направления, по крайней мере, одной кривой в матрице: определение поступательного движения поверхности в отображающей матрице посредством направления или направлений, по крайней мере, одной кривой или части кривой на основе данных увеличения.
[0006) Настоящее изобретение также относится к измерительном} устройству для измерения поступательного движения поверхности. Измерительное устройство содержит, по крайней мере, один детектор, включая ряд детекторов; детектор для измерения расстояния между поверхностью и детектором для определения данных увеличения; блок обработки сигнала: причем для формирования ряда детекторов каждый ряд детекторов расположен так. чтобы измерять поверхность объекта непрерывно и эта поверхность имеет, по крайней мере, одно основное направление движения, а направление каждого набора детекторов располагают также как и основное направление движения поверхности: блок обработки сигнала получает информацию о расстоянии и отображенные ряды, образованные каждым рядом детекторов формируют отображающую матрицу; блок обработки сигнала определяет поступательное движение поверхности в отображающих матрицах посредством направления или направлении, по крайней мере, одной кривой или части кривой на основе данных увеличения.
(0007) Предпочтительные варианты воплощения раскрыты в зависимых пунктах формулы изобретения.
[0008] Способ и устройство, сот.таено настоящем) изобретению, обладает несколькими преимуществами. Качество измеряемой поверхности совсем не
WO 2007/085704 PCT/F1200-7/050049
- j> -
или непрерывном движении поверхности, а также поверхность может быть по \ молчанию н е п о д в и ж н о й.
КРАТКОЕ ОПИСАНИЕ ЧЕРТЕЖЕЙ
[0009] Изобретение будет подробно описано далее на примерах предпочтительных вариантов воплощения со ссылками на прилагаемые чертежи, где:
Фиг. 1А - схематический вид измерительного устройства,
Фиг. 1В - блок-схема измерительного устройства,
Фиг. 1С - использование двух измерительных устройств.
Фиг. 1D - показывает схему измерений при использовании двух измерительных устройств,
Фиг. 2А - матрица изображения при движении поверхности к детектору.
Фиг. 2В - движение поверхности к детектор).
Фиг. ЗА - матрица изображения при движении поверхности от детектора. Фиг. ЗВ - движение поверхности от детектора.
Фиг. 4А - матрица изображения при взаимном наклоне поверхности и детектора.
Фиг. 4В - наклон плоскости на угол и.
Фиг. 5А - показывает матрицу изображения при наличии движущейся выемки в поверхности.
Фиг. 5В - движение выемки.
Фиг. 6 - матрица изображения поверхности при ее медленном боковом движении.
Фиг. 7А - движение передней кромки объекта, измеряемого проходящим рядом детекторов.
Фиг. 7В - движение передней кромки объекта, измеряемого проходящим рядом детекторов.
Фиг. 8А - движение задней кромки объекта, измеряемого проходящим рядом детекторов.
Фиг. 8В - движение задней кромки объекта, измеряемого проходящим рядом детекторов.
Фш. С)А - эталонный образ.
WO 2007/085704 PCT7FI2007/050049
- 4 -
Фиг. 9B - составленное изображение после поворота детектора относительно эталонного образа.
Фиг. 9С - эталонный образ после параллельного смешения детектора относительно эталонного образа.
Фиг. 9D - желательное составленное изображение эталонного образа.
Фиг. 10А - отображающая матрица, имеющая линию под большим углом.
Фиг. 10В - отображающая матрица, на которой было произведено перемещение ряда.
Фиг. 1 1 - функциональная схема данного способа.
ПОДРОБНОЕ ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
[0010] Предлагаемое решение применимо для измерения структурированной (узорчатой) поверхности, которая может быть деревянной поверхностью, бумажной поверхностью, металлической поверхностью, дорожной поверхностью, волокнистой поверхностью или другой подобной поверхностью, чей детектированный ответный сигнал изменяется при использовании подходящего увеличения. Узорчатая поверхность может относиться к поверхности, чей ответный сигнал изменяется в соответствии с измеряемым параметром. Таким параметром может быть интенсивность, длина волны, комбинация этих или других свойств, которые детектируются на рабочей длине волны на поверхност и, и чьи значения ответного сигнала могут быть представлены отображенными рядами, которые в свою очередь могут быть представлены отображенными матрицами. В отображенных матрицах, сформированных таким образом, вариации ответного сигнала в структурах могут быт ь детект ированы в качест ве кривых, которые могут быт ь и прямыми линиями. Ширина кривых и их взаимные расстояния могут изменяться в соответствии с измеряемой поверхностью. Направления этих кривых характерно для измерения. Прикладное использование может включать контроль качест ва полупроводниковых дисков, бумажных и/или дощатых, металлических полос и или листов или подобных материалов без ограничения использования настоящего изобретения только ими. 100111 На фиг. 1А показан пример схематического вида измерительного устройства. Измерительное устройство может содержать детектор 100. который включает ряд или матрицу 102. содержащую чувствительные элементы, блок обработки сигнала 108 и возможно источник излучения 1 14. Детектором 100 может являться, например.
WO 2007/085704 PCT/FI2007/050049
- 5 -
камера, которая может быть, например, частью мобильного телефона. Если имеется в наличии и используется источник излучения 114. он может удалить измеряемую поверхность 104 объекта 1 16 так. что детектируемая область 106 ленточного вида полностью удаляется. Как можно понять из фиг. 1А объект 1 16 может находиться между детектором 100 и источником излучения 1 14. в л ом случае радиация, излучаемая источником излучения 1 14. проникает в измеряемый объект. Источник-излучения 114 может излучать электромагнитное излучение, такое как гамма-излучение, рентгеновское излучение, излучение в оптическом или радио диапазоне, звуковое излучение, такое как ультразвук, или корпускулярное излучение. Ряд детекторов 102 измеряет детектируемую область 106 и подает электрический сигнал, соответствующий этому измерению, в блок обработки сигнала 108 для выработки данных измерения. Блок обработки сигнала 108 может управлять работой детектора 100 и источника излучения 1 14. Кроме того, измерительное устройство может осуществлять связь с внешними устройствами через, например, сет ь передачи данных. В измерительном устройстве можно использовать общегражданские электросети или батареи в качестве источника питания.
[0012 j Вышеизложенное решение будет далее описано со ссылкой на фиг. 1 В. В указанном решении, например, детектор 100 в ряде детекторов 102 вырабатывает изображение поверхности 104. Вместо оптики может быть применена оптика не оптического диапазона. Последовательность области изображений детекторов ряда детекторов 102 выдает на поверхнос ти 104 полосовую детектируемую область 106. Область изображения может также названа детектируемой областью, но в этом примере мы будем придерживаться термина область изображения. Ряд детекторов 102 содержит, по крайней мере, два чувствительных элемента, например. 1020 пикселей. Имеющийся на рынке ряд детекторов может включать от нескольких чувствительных элементов до нескольких миллионов элементов. В ряде детекторов 102 поверхность 104 может быть снята или в общем случае последовательно детектирована на желаемой частоте, что может быть согласовано с начальным движением поверхности или ее поступательное перемещением. Для выявления некоего явления достаточно получать изображение ежедневно или ежемесячно. Наивысшие частоты получения изображения ограничиваются возможностью детекторов, но может использоваться частота приблизительно в 100 кГц для ряда детекторов в 1000 пикселей. Вместо простого ряда детекторов также целесообразно
WO 2007/085704 PCT7F12007/050049
- 6 -
использовать матричный детектор, при котором один или более рядов пикселей в матричном детекторе, могут использоваться в качест ве рядного детектора. Матричный детектор может быть использован для определения наклона между детектором и измеряемой поверхностью в поперечном направлении к измеряемом) ряд) путем использования перекрестных измеряемых рядов (см. фиг.4А и 4В). (0013) Начальное направление движения поверхности 104 показано стрелкой. Начальное направление движения поверхности относится к однозначно идентифицируемому постоянному движению поверхности. Пост)нательное движение объекта, который переметается начального направления движения и поступательное движение, измеренное параллельно начального движения, но вдоль поверхности равны, если часть рассматриваемой поверхности параллельна начальному движению. Поступательное движение поверхности относится к
движению или к малому перемещению s . отличающемуся от начального движения объекта. Такие движения включают движения поверхности по направлению или от ряда детекторов, наклон поверхност и от носительно ряда дет екторов (и наоборот), локальные фазовые переходы и/или малое перемещение поверхности неподвижного объекта.
[0014] Такое измерительное устройство может быт ь использовано для определения скорости поверхности в направлении плоскости поверхности в некотором смысле как в известном уровне техники, которое работает следующим образом. Направляют сигнал, по крайней мере, от двух последовательных рядов изображений набора детекторов 102 в память блока обработки сигнала 108 или в отображенные ряды, причем отображенные ряды могут быть выполнены в виде отображенной матрицы. В отображенной матрице точки, в которых интенсивность или другое свойство (сигнала) отклоняются от значений окружающей среды образуют кривые линии, направление которых зависит от движения поверхности. Оси положения и времени могут быть выбраны в зависимости от геометрии измерений, в лом случае иловой коэффициент, описывающий направление каждой кривой может быть измерен путем свертки отображенной матрицы для получения градиентов параллельно, например, осям положения и времени. В этом случае угловой коэффициент может быть получен как соотношение эт их градиентов, а скорость или пропорциональная ей величина могут быть определены для каждой точки отображенной матрицы. Точность измерения может быть повышена посредством осреднения значений
WO 2007/085704 PCT/FI2007/050049
- 7 -
скорости каждого отображенного ряда. Выбор значении, которые включаются в среднее значение, может управляться путем выбора только тех значений, чья сумма квадратов превышает заданное (эталонное) значение. Таким путем только точки в отображенной матрице, которые включены в одну из линий отображенной матрицы включаются в усредняемые значения. Такое решение более подробно описано в патенте Финляндии 80527.
[0015| Другое решение известного уровня техники включает измерение движущейся поверхности в двух точках, и определение времени, необходимое поверхности для перемещения между измеряемыми точками на основе корреляции. Вместо времени можно определять скорость. Измерение может быть проведено посредством самих сигналов элемента корреляционного детектора или путем корреляции частотной характеристики элемент ов детектора, что зависит от структуры поверхнос ти 104 и/или от того, узорчатая она или нет. Измерительное устройс тво в этом случае выполнено в соответствии с фиг. 1 А. в котором корреляция может образоваться между отображенными сигналами двух элементов детектора или групп двух желательных элементов детекторов. Данные увеличения, используемые одновременно в измерении перемещения поверхности могут быть определены посредством измерения расстояния между детектором и измеряемой поверхностью как можно более точно и исчерпывающе в измеряемой области. (0016] На фиг. 1С данные увеличения определяются двумя детекторами. Фиг. 1С иллюстрирует решение, использующее два детектора (например, камеры) 1 20. 122. которые детектируют измеряемую поверхность 104 при двух разных увеличениях и которые могут быть, по существу, аналогичны детектор} 100. Ряд детекторов и их оптику можно разместить так. чтобы у них была общая оптическая плоскость в первоначальном направлении движения. Тонкая линия 150 обозначает область в виде линии, которую оба детектора измеряют совместно. 10017] Увеличение М может быть определено соотношением L/F. где L - это расстояние измеряемого объекта от детектора и F - это фокусное расстояние оптики. Разное увеличение может быть обеспечено, например, разными конструктивными решениями. Расстояния L1 и L2. а также фокусные расстояния F1 и F2 различаются. Один из оптических узлов может быть телевизионным. Различная степень увеличения может быть осуществлено путем разделения входного оптического сигнала через один оптический узел посредством, например, .лучевого разделителя
WO 2007/085704 PCT/FI2007/050049
- 8 -
(не показан на фиг. 1С) на два набора детекторов, расположенных на разных расстояниях. Использование двух значений увеличения также фокусирует измерение перемещения передней и задней кромок, когда кромка движется от одного пикселя к другом)" (смотри фиг 7Л - 8В). Фокусировка основана на расстоянии и использовании ответного сигнала одного или более детекторов. Данные увеличения могут быть также определены посредством отдельных измерений расстояний, при которых, например, детектор 122 может определять расстояние. [00181 Фиг. 1D иллюстрирует различные варианты измерения описанного решения. Фокусное расстояние детектора 120 обозначено как F1. а фокусное расстояние детектора 122 как F2. Расстояние детектора 120 от измеряемой поверхност и 104 обозначено как F1. а расстояние детектора 122 от измеряемой поверхности 104 обозначено как F2. Размер изображения в пикселях объекта S0. сформированное на детекторе 120. обозначено как Р1. и размер изображения в пикселях объекта S0. сформированное на детекторе 122 обозначено как Р2. С целью упрощения размер изображения в пикселях на детекторах 120 и 122 можно считать равными, т.е. PL. Размер определенного измеряемого объекта обозначен как S0. а расстояние между детекторами как AL. Увеличение Ml детектора 120 составит Ml = L1/F1, а увеличение М2 детектора 122 составит М2 = L2/F2. Следующее справедливо для расстояния L2: L2 = LI -г AL. Так как SO = P1*M1*PL = Р2*М2*Р1... то можно вывести следующую формулу: L1 - [Р2*Д1.*Р1 ]'[Р1 *F2-P2*F1] (1)
[0019j В виду того, что другие факторы кроме размеров Р1 и Р2 изображения объектов являются константами в формуле (1). то размеры Р1 и Р2 изображения объектов в указанном изображении можно определить посредством определения расстояния измеряемой поверхности 104 и'или изменения расстмпия но время измерений изменения расстояния часто означает изменение высоты или формы поверхности 104 измеряемого объекта. Использование двух одинаковых детекторов, измеряющих, по крайней мере, частично один и тот же участок, обеспечивает измерение объекта и перемещение поверхности и скорость с хорошей степенью точности и избыточности. Это измерение отличается от известных измерений тем. что измерение проводится не только одной точки, но посредством целого набора матриц. Кроме того, два разных детектора можно использовать для самодиагностики при измерениях перемещения и скорости так. чтобы перемещение и скорость могли измеряться раздельно обоими детекторами, а резутьттиы можно сравнить др\т с
WO 2007/085704 PCT/FI2007/050049
- 9 -
другом. Если результаты слишком сильно различаются, то часть измерительного устройства одного из детекторов является дефектной.
(0020j В случае в соответствии с фиг. 2А поверхность 104 приближается к ряду детекторов 102. Отображающая матрица 10 формируется посредством набора параллельных отображающих рядов с 1 по 6. Последовательные моменты времени с ti по t". представляющие принцип измерения и некоторые измеряющие ¦элементы, включенные в указанный ряд. показаны в отображающей матрице 10. Гак как поверхность 104 приближается к ряду детекторов, кривые 200 и 204 отображающей матрицы 10 видимо отличаются друг от друга. Даже хотя на практ ике кривые различимы с точностью измеряющих элементов, в этом примере кривые нарисованы для того, чтобы лучше проиллюстрировать принцип измерения. Направление кривой может быть выявлено посредством измерения угла ф или углового коэффициента kk кривой, которые взаимозависимы tan(cp) = kk. где tan( WO 2007/085704 PCT7FI20(T/050049
- 10-
на расстоянии, обозначенной сплошной линией от ряда детекторов 102 детектора 100. а в момент времени и поверхность 104 находится на расстоянии, обозначенной прерывистой линией от ряда детекторов 102 детектора 100. Стрелка показывает направление перемещения.
[0022] В случае, показанном на фиг. ЗА. поверхность 104 движется от ряда детекторов 102. но в остальном изображение соответствует случаю, показанному на фш. 2А. хотя элементы отображающей матрицы не показаны на этой фигуре. В этом случае кривые с 200 по 204 отображающей матрицы 10 видимо приближаются друг к другу. Как и в случае, показанном на фиг. 2А. перемещение между рядом детекторов 102 и поверхностью 104 может быть измерено посредством измерения изменения направления, по крайней мере, одной кривой Дф = ф2 - ф|- Перемещение может быть определено как скорость, с которой ряд детекторов 102 и поверхность 104 удаляются друг от друга. Альтернативно или дополнительно направления фт и Фз. по крайней мере, двух кривых можно определить и сравнить друг с другом с тем. чтобы определить направление изменения Дф = ф2 - фя и перемещения между рядом детекторов 102 и поверхностью 104. В случаях, показанных на фиг. 2А и ЗА. может быть измерена скорость в направлении нормали к поверхност и 104. Например, среднее значение угла кривой может быть использовано для определения начальной скорости поверхности 104 в направлении плоскости поверхности. В этих примерах поверхность 104 неподвижна и первоначально не перемещалась в плоскости поверхности 104.
(0023] На фиг.ЗВ показано изменение в геометрии измерения по сравнению со случаем на фиг. ЗА. В момент времени t| измеряемая поверхность 104 находится на расстоянии, обозначенной сплошной линией от ряда детекторов 102 детектора 100. а в момент времени U поверхность 104 находится на расстоянии, обозначенной прерывистой линией от ряда детекторов 102 детектора 100. Стрелка показывает н а п ра в л е н 11 е п ерем е ще и и я.
[0024J Фиг. 4А иллюстрирует отображающую матриц) 10 поверхности, на которой конец 1 10 области изображения 106 располагается ближе к ряду детекторов 102. чем начало 112 области изображения, т.е. направление ряда детекторов Ю2 и нормаль к измеряемой поверхности 104 расположены не под перпендикулярным углом друг к другу. Изображение на фиг. 4А соответствует случаю на фиг. 2А. хотя на фигуре не показаны элементы отображающей матрицы. В случае фиг. 4А кривые удаляются
WO 2007/085704 PCT/F-I200~/U50049
- I I -
друг от друга. Как и на показанном на фиг. 2А и ЗА перемещение между рядом детекторов 102 и поверхностью 104 может быть измерено посредством измерения изменения направления, по крайней мере, одной кривой Дф = фт - ф|. Перемещение может быть определено как угол наклона а. на котором ряд детекторов 102 и поверхность 104 находятся друг относительно друга. Альтернативно или дополнительно направления фт и ф;,. по крайней мере, двух кривых можно определить и сравнить с тем. чтобы определить направление изменения Дф = ф2 - (р.; и перемещения между рядом детекторов 102 и поверхностью 104. В случае, показанном на фиг. 4А. угол наклона а растет.
|0025] На фиг. 4В показано перемещение согласно фиг. 4А. В момент времени t| измеряемая поверхность 104 находится в положении, отмеченном сплошной линией относительно ряда детекторов 102 детектора 100. а в момент времени tn поверхность 104 находится на расстоянии, обозначенной прерывистой линией от ряда детекторов 102 детектора 100.
[0026| Фигуры 2А - 4В показывают измерение движения или измерение расстояния между поверхностью 104 и рядом детекторов 102.
(0027] Фигуры 5А - 5В иллюстрируют измерение профиля поверхности. В этом примере измеряется перемещение 510 аналогичное выемке в поверхности 104. Вместо выемки это может быть выступ. Иллюстрация на фит. ЗА соответствует случаю, показанном) на фиг. 2Л. хотя на фигуре не показаны элементы отображающей матрицы. В последовательных кадрах изображения отображающей матрицы 10 от момента ti до момента t" нарушение 508 кривых с 500 по 506 вызваны перемещением выемки на изображениях относительно первоначального движения поверхности 104. Первоначальная скорость поверхности 104 может также быть определена из направления кривых, что иллюстрирует угол у. Амплитуда 510 перемещения может быть определена посредством направления искривления 508. вызванного выемкой, что иллюстрируется углом ф). Направление, указываемое углом ф.). может быть сравнено с направлением угла у. указывающим, например, скорость перемещения поверхности. Из этого определяют изменение Дф у - ф^. например, для установления насколько дальше дно выемки находится от ряда детекторов 102. чем остальная поверхность 104. т.е. гак можно определить глубину выемки. Измерение профиля поверхности может быть использовано для измерения гладкости измеряемой поверхности или плоскостность листового объекта.
WO 2007/085704 PCT/FI2007/050049
- 12 -
[0028] Фигуры 5A и 5В относятся к случаю изменения расстояния между рядом детекторов 102 и поверхностью 104.
[0029] На фиг. 5В начальное значение скорости поверхности и её направление, т.е.
вектор скорости, обозначено как \ Для этого измерения часто необходимо задать
направление г ряда детекторов 102 параллельно начальной скорости v поверхности. [0030) Изменение, описывающее перемещение может быт ь также измерено посредством использования двух или более различных увеличения изображений (см. фигуры 1С и 1D). Благодаря различным степеням увеличения, направления каждой измеренной кривой или участка кривой различаются в собранных изображениях, выполненных в одинаковых условиях, т.е. в отображающих матрицах направления каждой измеренной кривой или участка кривой также различны. Количество измеренных кривых может изменяться от одной до нескольких. Таким образом, собранное изображение, выполненное с использованием увеличения может быть использовано в качестве опорного изображения для собранного изображения, полученного с использованием другого увеличения.
[0031] Одна из использу емых оптических систем может быть теле оптикой, при которой изменения расстояния не вызывают изменения в направлениях линий, а кривые, показанные на фигурах 2А. ЗА. 4А и 5А видны как прямые линии при использовании теле - оптики. Причиной для этого является то. что не существует свойства перспективы при использовании теле - оптики для полу чения изображений. Поэтому, кривые на фиг. 2А параллельны прямой 202. кривые на фиг. ЗА параллельны прямой 302. кривые на фиг. 4А параллельны прямой 400. а кривые на фиг. ЗА расположены под углом у во все моменты времени с t| по t" во время использования теле - оптики для получения изображений. Прямые, формируемые теле - оптикой, могут использоваться в качестве опорного изображения так. чтобы направление кривой, полученной без геле - оптики сравнивалось с направлением кривой, полученной при использовании теле - оптики. В этом слу чае разница в направлении кривых пропорциональна перемещению поверхности. [0032] Фиг. 6 иллюстрирует' измерение "нулевой скорости". Отличаясь от других примеров в этом варианте воплощения, направление первоначального движения поверхности соответствует направлению перемещения. В соответствии с этим примером простая матрица отображения 600 содержит 7x7 элементов детектора. Кривую, имеющую форму прямой, можно разглядеть в рядах с ti по t4 в элементе С.
WO 2007/085704 PCT/FI2007/050049
- 13 -
Это означает, что не происходило перемещения измеряемой поверхности в то время, когда эти ряды измерялись. В рядах с U по t? кривую в виде прямой можно видеть в элементе В. Это означает, что объект поверхности, вызывающий появление кривой в виде прямой передвинулся влево или вправо в зависимости от отображающей оптики на расстояние, соответствующее ширине одного пикселя, что можно увидеть как изменение в направлении и расположении между пикселями в моменты U \ и U. В общем случае перемещение поверхности 104. превышающее заранее заданное пороговое значение, в направлении уровня поверхности может быть задан в качест ве условия для дополнительных мер. Если заданное значение составляет 0 пикселей, то кривая 602 должна оставаться совершенно прямой. В слу чае фиг. 6 перемещение равно одному пикселю, и таким образом, предпринимаются дополнительные меры. Дополнительные меры могут служить предупреждением факта снижения качества продукта из-за перемещения или. например, для задания корректирующего движения для устранения этого перемещения.
[0033] Иногда допустимы малые перемещения, а большие - недопустимы. В этом случае заданное пороговое значение для этого перемещения может быть, например. 2 пикселя между 5 или 50 последовательными движениями. В случае фиг. 6 перемещение было меньше, чем заданное пороговое значение, и никаких дополнительных мер не предпринималось.
[0034j Гак как перемещения с амплитудой в один или несколько пикселей обычно весьма малы, то измерительное устройство можно рассматривать как точный измеритель перемещения. Таким образом, оно может быть использовано для контроля положения измеряемой поверхности, т.е. является ли она неподвижной или она медленно движется. Если перемещение непрерывно, то его можно использовать для определения скорости поверхности.
[0035] Когда рассматривается медленное или очень медленное движение относительно рабочей скорости детекторов, ряды отображающей матрицы могут быть удалены. Так отображающая матрица может быт ь сжата, и в этом случае линии, вызванные медленным движением начинают все более и более отклоняться от линии (вертикальное направление), образованной неподвижным объектом. [0036] Измерение кромки объекта будет описано со ссылкой на фигуры 7 А 8В. На фигурах изображена матрица 7x9 пикселей, где линия отмечает детектированный измеряемый объект. Пиксели, на которые сфокусирован фон. не показаны. Фиг. 7А
WO 2007/085704 PCT,'FI20(P/050049
- 14 -
иллюстрирует ситуацию, когда ведущая кромка 700 измеряемого объекта 1 16 входит в детектируемую область 1 16 и ведущая кромка 700 продвигается дальше в детектируемую область 1 16 в каждый момент полу чения изображения. [0037] На фиг. 7В показана матрица, соответствующая матрице на фиг. 7А. которая получена из рядов изображений. Хотя в действительное i и число пикселей матрицы может равняться тысячам или даже миллионам, число пикселей матрицы на фигуре мало в целях упрощения иллюстрации. В момент t( измеряемый объект отображается на двух пикселях. В момент t: измеряемый объект отображается на трех пикселях. В момент t;, измеряемый объект отображается по-прежнему на трех пикселях. В момент t4 измеряемый объект отображается на четырех пикселях, и в этом случае передняя кромка измеряемого объекта находится в середине измеряющего ряда. В момент и измеряемый объект отображается на пяти пикселях. В момент и, измеряемый объект отображается на шести пикселях. В момент Ь измеряемый объект отображается на семи пикселях. В момент is измеряемый объект отображается на всех семи пикселях. В момент и, измеряемый объект отображается на семи пикселях.
[0038] Вертикальные линии могут быть видны на пикселях матрицы, на которых измеряемый объект 116 не отображается в заданный момент времени. Эти линии можно определить как полностью неподвижные посредством блока обработки сигнала 108. Хотя диагональные линии, которые обозначают движение, существовали на пикселях изображающих поверхность 104 измеряемого объекта 116. область матрицы производит как среднее значение, указывающее на скорость значительно меньшую, чем реальная скорость измеряемого объекта. Поэтому кромка 700 измеряемого объекта 1 16 может наблюдаться и детектироваться, когда обнаруживается неожиданное изменение в движении измеряемого объекта 1 16. Кроме того, движение измеряемого объекта 116 может быть измерено после того, как объект 1 16 детектируется во всей детектируемой области 106 и именно во всем ряду пикселей, т.е. начиная от момента ь в соответствии с примером на фиг. 7В. [0039] На фиг. 8А показана ситуация, когда задняя кромка 800 измеряемого объекта 116 входит в детектируемую область 106 и задняя кромка 800 продвигается дальше в детектируемую область 106 в каждый момент получения изображения. [0040] Фиг. 8В иллюстрирует матрицу, соответствующую фиг. 8А. которая образована рядами полученных изображений. В момент t| измеряемый объект
WO 2007/085704 I'C IГ1200" 050049
- 15 -
отображается на двух пикселях. В момент t2 измеряемый объект отображается на всех пикселях. В момент ь, измеряемый объект отображается на шести пикселях. В момент t4 измеряемый объект отображается на пяти пикселях. В момент U измеряемый объект отображается по-прежнему на пяти пикселях. В момент L, измеряемый объект отображается на четырех пикселях и передняя кромка измеряемого объекта находится в середине измеряющего ряда. В момент t-измеряемый объект отображается на трех пикселях. В момент tx измеряемый объект отображается на трех пикселях. В момент 1> измеряемый объект отображается на двух пикселях.
[00411 Как и в случае передней кромки вертикальные линии могут быть видимы в пикселях матрицы, на которых измеряемый объект 1 16 не отображается в данный момент времени, и эти линии можно определить как полностью неподвижные в блоке обработки сигнала 108. Хотя диагональные линии, которые означают движение, существовали на пикселях изображающих поверхность 104 измеряемого объекта 1 16. область матрицы производит как среднее значение, указывающее на скорость значительно меньшую, чем реальная скорость измеряемого объекта. Таким образом, кромка 700 измеряемого объекта 1 16 может наблюдаться и детектироваться, когда обнаруживается неожиданное изменение в движении измеряемого объекта 1 16. Кроме того, движение измеряемого объекта 1 16 может быть измерено после того, как объект 1 16 детектируется во всей дет ек i иру смой области 106 и именно во всем ряду пикселей, т.е. начиная от момента ь, в соответствии с примером на фиг. 7В.
[0042j Так как передняя и задняя кромки могут детектироват ься одним и тем же измерительным устройством, что и движение измеряемого объекта 1 16. не нужны отдельные датчики для детектирования кромок измеряемого объекта, что упрощает конструкцию измерительного устройства.
[0043| На фиг. 9А показан пример калибровочного рисунка для фокусирования измерительного устройства перед измерением. Калибровочный рису нок 900 может быть нанесен на металле, пластике или бумаге. Калибровочный рисунок 900 может быть также нанесен непосредственно на поверхности 104 измеряемою объект 116.. Калибровочный рису нок может быть напечатан или выдавлен, например, па поверхности желаемого объекта, а размеры калибровочного рису нка 900 мог\т меняться в зависимости от назначения. Калибровочный рисунок размещаю! в
WO 2007/085704 PCT7FI2007/050049
- 16 -
желательном измеряемом направлении на поверхности 104 измеряемого объекта 116. Направление и место могут быть определены и измерены с желаемой точностью. Когда один или более калибровочные рисунки 900 размещены на измеряемом объекте 116. детектор 100 может быть сфокусирован на измеряемый объект 1 16 посредством калибровочного рисунка 900.
[0044] Калибровочный рисунок 900 может содержать рисунки с изменяемой толщиной в направлении, поперечном направлению движения. Вместо или в дополнение к толщине изменяемым параметром может быть, например, интенсивность или цвет. Рисунки могут представлять собой равносторонние, равнобедренные или прямоугольные треу гольники или другие фигуры. На концах калибровочного рисунка 900 может располагаться треугольник, чья вершина находится в середине калибровочного рисунка 900. треугольники могут быть разделены друг с другом во время оптического измерения посредством различного шкалы серого или цветом.
(0045) Фиг. 9В иллюстрирует пример компилированного изображения 952 калибровочного рисунка 900, детектируемого детектором 100. в случае, когда ряд детекторов 902 детектора 100 вращался относительно калибровочного рису нка 900. Компилированное изображение также называется отображающей матрицей. 1 ак как калибровочный рисунок 900 содержит изменяющиеся рисунки, их толщина в компилированном изображении зависит от того, где область детектирования пересекает каждый рисунок (узор). Таким образом, как легко увидеть на фиг. 9В. ряд детекторов 102 не параллелен калибровочному рисунку 900. Угол отклонения можно также уменьшить и таким образом легко повернуть детектор 100 в направление, где детектор 102 будет параллелен калибровочному рисунку 900. [0046] На фиг. 9С показан пример компилированного изображения 954 калибровочного рисунка 900. детектируемого детектором 1 00. в случае, когда детектор 100 передвинулся параллельно калибровочному рисунку 900. Концевые рисунки таковы, что компилированное изображение, созданное каждым концевым рисунком, имеет максимальную толщину на серединной оси калибровочного рисунка. Аналогично, концевые рисунки компилированного изображения 954 калибровочного рисунка 900 уже. чем другие рисунки. Эта ситуация может быть скорректирована путем параллельного перемещения детектора 100. После \ спешной коррекции детектор 100 может детектировать компилированное изображение 956.
WO 2007/085704 PCT/FI2007/050049
- 17 -
согласно фиг. 9D. где все рисунки имеют одинаковую толщину , а общая длина компилированного рисунка имеет максимальное значение и толщина компилированного рисунка, созданное его концами, максимальна. В калибровочном рисунке его концы таковы, что они видны как вершины рису нка. Таким образом, достаточно просто создать калибровочный рисунок в соответствии с начальным направлением движения измеряемой поверхности.
|0047| Калибровочный рисунок 900 может также включать три меньших круговых рисунка, например, с 960 по 964. посредством которых детектор'100 может быть сфокусирован на калибровочном рисунке 900 грубо, но быстро, потому что толщина круга с 960 по 964 изменяется в изображении, создаваемом в детекторе 102 в соответствии с различными отклонениями наведения.
[0048] Измерительное устройство может быть также сфокусировано для проведения измерения без калибровочного рисунка 900. Этот режим может быть описан для одного детектора следу лощим образом, хотя это справедливо и для двух детекторов. Посредством равномерно движущейся поверхност и может быть проведен поиск максимума для углового коэффициента одной или более кривых, дет ект ированных отображающей матрицей путем поворота детектора вокруг оптической оси. После этого детектор может быть наклонен в первоначальное направление движения измеряемой поверхности так. чтобы угловые коэффициенты кривой или кривых, детектированных началом ряда детекторов, одинаковы. И в случае нулевой скорости и в случае движущейся поверхности юстировка может быть произведена визуально, с поддержкой расчетами или полностью автоматически.
|0049] Фиг. 10А иллюстрирует ситуацию, при которой линия 1500. вызванная быстрым процессом в сравнении с рабочей скоростью детектора 100 наблюдается в отображающей матрице 600. Для этого линия 1500 находится под (очень) большим углом а. Если угол а больше, например, чем 70°. то довольно трудно измерить скорость объекта с высокой точностью. Угол а линии 1500 может быть уменьшен путем проведения переноса ряда. Ряд может быть, например, перенесен так. чтобы преобразование уменьшило этот угол на 45°. что показано линией 1502. Перенос ряда может быть проведен таким образом, чтобы пиксель каждого ряда, пересекаемый линией 1502. перемещался к левой кромке матрицы. В то же самое время остальные пиксели в ряду переносятся соответственно.
WO 2007/085704 PCT/FI2007/050049
- 18 -
[0050] Фиг. 10В иллюстрирует отображающую матриц)', на которой проведен перенос ряда. Восходящий угол линии 1500 уменьшился, что способствует фокусированию при проведении измерения объекта. Соответствующий перенос от нулевой оси может быть выполнен для улучшения и настройки обработки сигнала в случае, когда линия, вызванная медленным процессом, в сравнении с рабочей скоростью детектора наблюдается в отображающей мат рице.
|0051| При проведении нескольких последовательных переносов ряда и определения движения измеряемого объекта в отношении каждого переноса, например, трех переносов можно получить три разных результата движения измеряемого объекта. Эти результаты можно усреднить и так как каждый включает независимые друг от друга случайные погрешности, то получают более точный результат измерения движения измеряемого объекта, чем любой из отдельных измерений. На самом деле, резу льтат улучшается пропорционально квадратному корню результатов измерений. Например, посредством трех переносов ряда неточность измерения может быть улучшена с коэффициентом 1/\ 3 .
[0052] На фиг. 1 1 показана логическая схема в соответствии с данным способом. В этом способе перемещение поверхности 104 имеет, по крайней мере, одно начальное направление движения. На шаге 1100 поверхность определяется неоднократно посредством ряда детекторов, по крайней мере, одного детектора, причем направление движения ряда детекторов то же самое, что и начальное направление движения, а расстояние между поверхностью и детектором измеряется одновременно для получения данных увеличения и отображающих рядов. На шаге 1 102 последовательные отображающие ряды выполнены в виде отображающей матрицы. На шаге 1 104 направление, по крайней мере, одной кривой определяется в отображающей матрице. На шаге 1 106 перемещение поверхности определяется в отображающих матрицах, образованных посредст вом направления или направлений, по крайней мере, одной кривой или части кривой на основе данных увеличения. [0053] Способ, показанный на фиг. 1 1. может быт ь осуществлен как техническое решение, основанное на логических схемах и компьютерных программах. Компьютерная программа может быть обеспечена через распространяемый носитель компьютерных программ. С распространяемого носителя компьютерная программа считывается устройством обработки данных и кодирует команды программы для измерения перемещения поверхности.
WO 2007/085704 PCT/F'12007/050049
- 19 -
[0054] Распространяемый носитель может представлять собой известный уровень техники для записи компьютерных программ, такой как носитель, читаемый устройством обработки данных, носитель для записи программ, память, считываемая устройством обработки данных, распространяемый пакет программ, читаемый устройством обработки данных, сигнал, читаемый устройством обработки данных, телекоммуникационный сигнал, читаемый устройством обработки данных или сжатый пакет компьютерных программ, читаемый устройством обработки данных. [0055] В дополнение к вышеописанном)' настоящее изобретение можно также применить для распознавания состояния и положения транспорт ного средства. В этом случае оно может работать как часть системы стабилизации т ранспорт HOI о средства. Транспортное средство может быть, например, промышленным средством, которое может двигаться автоматически без водителя или управляться водителем. [0056] Хотя настоящее изобретение описано выше со ссылкой на приведенные примеры и приложенные чертежи, совершенно ясно, что данное изобретение не ограничивается только ими и может изменяться различным образом в объеме заявленной формулы изобретения.
WO 2007/085704
- 20 -
PCT/FI2007/050049
ФОРМУЛА ИЗОБРЕТЕНИЯ
1. Способ измерения перемещения поверхности, включающий:
движение поверхности (104) измеряемого объекта (116). имеющего, по крайней мере, одно начальное направление движения отличающийся тем, что
проводят неоднократное детектирование (1100) поверхности (104) посредством ряда детекторов (102). по крайней мере, одного детектора (100. 120. 122). и при этом направление ряда детекторов (102) совпадает с начальным направлением движения, и одновременно детектируют расстояние между поверхностью (104) и детектором (100. 120. 122) для получения данных увеличения и отображающих рядов (1 - 6):
размещают (1102) последовательные отображающие ряды (1 - 6) в отображающей матрице (10. 600);
определяют (1104) направление, по крайней мере, одной кривой (200 - 204. 300 -304. 400 - 404. 500 - 506. 602) в каждой отображающей матрице (10. 600); и
определяют (1106) перемещение поверхности (104) в отображающей матрице (10. 600). образованной посредством направления или направлений, по крайней мере, одной кривой (200 - 204. 300 - 304, 400 - 404. 500 - 506. 602) или части кривой на основе данных увеличения.
2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что определение перемещения поверхности (104) путем сравнения направления, по крайней мере, одной кривой (200 - 204. 300 - 304. 400 - 404, 500 - 506. 602). по крайней мере, для двух моментов времени.
3. Способ по п.1, отличающийся тем, что определяют перемещение поверхности путем сравнения направлений различных кривых (200 - 204. 300 - 304. 400 - 404, 500 - 506, 602).
4. Способ по п.1, отличающийся тем, что определяют перемещение поверхности (104) путем сравнения направлений различных кривых (200 -204. 300 - 304. 400 - 404. 500 - 506. 602) в отображающей матрице (10. 600). сформированных теле - оптикой.
5. Способ по п. 1. отличающийся тем, что измеряют изменение расстояния между поверхностью (104) и рядом детекторов (102) или изменение движения посредством увеличения.
WO 2007/085^04 PC I F-12007/050049
- 21 -
6. Способ по п. 1. отличающийся тем, что, измеряют наклон межд\ поверхностью (104) и рядом детекторов (102) из-за перемещения поверхности (104).
7. Способ по п. 1, отличающийся тем, что измеряют профиль поверхности (104) из-за перемещения поверхности (104).
8. Способ по п. 1. отличающийся тем, что определяют перемещение поверхности (104) как нулевой скорости путем измерения в плоское(tm) поверхности (104) путем замера отклонения, превышающего заданное пороговое значение кривой (200 - 204. 300 304. 400 - 404. 500 506. 602) в отображающей матрице (10, 600).
9. Способ по п. 1. отличающийся тем, что определяют скорость поверхности (104) путем измерения корреляции между отображающими сиг налами, по крайней мере, двух элементов (1020) детектора.
10. Способ по п. 1. отличающийся тем, что измеряют размеры изображения (126. 128) объекта (124) измеряемой поверхности (104) посредством, по крайней мере, двух детекторов (120. 122) и определяют расстояние и или изменение расстояние измеряемой поверхности (104) от размеров изображений.
1 1. Способ по п. 1. отличающийся тем, что определяют скорость измеряемого объекта (116) посредством направления, по крайней мере, одной кривой и детектируют кромку (700. 800) измеряемого объекта (116) путем измерения изменения скорости.
12. Устройство для измерения перемещения поверхности, отличающееся тем, что измеряющее устройство включает:
по крайней мере, один детектор (100. 120. 122) включая ряд детекторов (102): детектор (100. 120. 122) для измерения расстояния между поверхностью (104) и детектор (100. 120. 122) для получения данных увеличения; и
блок обработки сигнала (108): а
для формирования отображающих рядов (1 6) каждый ряд детекторов (102) выполнен с возможностью многократного детектирования поверхности (104) измеряемого объекта (116). причем поверхность имеет, по крайней мере, одно начальное направление движения, а направление каждого ряда детекторов (102) задается одинаковым с начальным направлением движения поверхности (104);
WO 2007/085704 PCT/FI2007/050049
- 22 -
блок обработки сигнала (108) выполнен с возможностью приема данных о расстоянии, а отображающие ряды (1 - 6). сформированные каждым рядом детекторов (102). образуют отображающую матрицу, относящуюся к каждому ряду детекторов( 102) от последовательных отображающих рядов (1 - 6). а также для определения направления, по крайней мере, одной кривой (200 - 204. 300 - 304. 400 - 404. 500 - 506. 602) в каждой отображающей матрице (10. 600): и
блок обработки сигнала (108) выполнен с возможностью определения перемещения поверхности (104) в отображающих матрицах (10. 600). сформированных направлением или направлениями, по крайней мере, одной кривой (200 - 204. 300 - 304. 400 - 404. 500 - 506. 602) или частью кривой на основе данных увеличения.
13. Устройство по п. 12. отличающееся тем, что. блок обработки сигнала (108) . выполнен с возможностью определения перемещения поверхности (104) путем сравнения направления одной кривой (200 - 204. 300 - 304. 400 - 404. 500 - 506, 602). по крайней мере, для двух различных моментов времени.
14. Устройство по п. 12. отличающееся тем, что блок обработки сигнала выполнен с возможностью определять перемещение путем сравнения направлений различных кривых (200 - 204. 300 - 304. 400 - 404. 500 506. 602).
15. Устройство по 12. отличающееся тем, что детекторы (100. 120. 122) выполнены в виде, по крайней мере, двух отображающих матриц (10; 600), по крайней мере, одна из которых выполнена как теле - оптика, а блок обработки сигнала (108) выполнен с возможностью определения перемещения путем сравнения направления, по крайней мере, одной кривой (200 - 204. 300 - 304. 400 - 404. 500 - 506. 602) в отображающей матрице (10. 600). полученной теле - оптикой, с направлением кривой (200 - 204. 300 -304. 400 - 404, 500 - 506. 602) в отображающей матрице (10. 600). полученной не теле - оптикой.
16. Устройство по 12. отличающееся тем, что блок обработки сигнала (108) выполнен с возможностью определения изменение расстояния между поверхностью (104) и рядом детекторов (102) или движения посредством увеличения.
WO 2007/085704 PCT F12007/050049
- 23 -
17. Устройство no 12. отличающееся тем, что блок обработки сигнала (108) выполнен с возможностью определения наклона между поверхностью (104) и рядом детекторов (102) замером перемещения поверхности (104).
18. Устройство по 12. отличающееся тем, что блок обработки сигнала (108) выполнен с возможностью определения профиля поверхности (104) посредством замера перемещения поверхности (104).
19. Устройство по 12. отличающееся тем, что блок обработки сигнала (108) выполнен с возможностью определения перемещения поверхности (104) как нулевой скорости путем измерения в плоскости поверхности (104) посредством замера отклонения, превышающего заданное пороговое значение кривой (200 - 204. 300 - 304. 400 - 404. 500 - 506. 602) в отображающей матрице.
20. Устройство по 12. отличающееся тем, что блок обработки сиг нала (108) выполнен с возможностью определения скорости поверхности (104) путем измерения корреляции между отображающими сигналами, по крайней мере, двух элементов (1020) детектора.
21. Устройство по 12. отличающееся тем, что блок обработки сигнала (108) выполнен с возможностью определения размеров изображения (126. 128) объекта (124) измеряемой поверхности (104) посредством, по крайней мере, двух детекторов (120. 122) и определения расстояния и/или изменения расстояния измеряемой поверхности (104) от размеров изображений.
22. Устройство по 12. отличающееся тем, что блок обработки сигнала (108) выполнен с возможностью определения скорост и измеряемого объекта (116) посредством направления, по крайней мере, одной кривой и детектирования кромки (700. 800) измеряемого объекта (116) путем измерения изменения скорости.
2/10
Фиг. 1D
3/10
Фиг. 2А
104
104
Фиг. 2В
4/10
^ 104
Фиг. ЗВ
5/10
Фиг. 4В
Фиг. 5А
6/10
1к ч
104
510 -
Фиг. 5В
7/10
700
Фиг. 7 А
•9 ;8 ¦1 ¦6 ¦5 '¦4
¦2 :1
Фиг. 7В
:8 :7 ;6 ;5 :4
:2 I
Фиг. 8В
900
8/10
.960 962 964 "-*
* - *
952
Фиг. 9А
954
Фиг. 9В
Фиг. 9С
956
Фиг. 9D
9/10
600
1500
10/10
НАЧАЛО
100
ДЕТЕКТИРУЕМАЯ ПОВЕРХНОСТЬ
1102
ФОРМИРОВАНИЕ ОТОБРАЖАЮЩИХ РЯДОВ В ОТОБРАЖАЮЩУЮ МАТРИЦУ
1104
ОПРЕДЕЛЕНИЕ НАПРАВЛЕНИЯ КРИВОЙ
106
ОПРЕДЕЛЕНИЕ ПЕРЕМЕЩЕНИЯ ПОВЕРХНОСТИ
КОНЕЦ
Фиг. 11