|
|
больше ...
Термины запроса в документе
Реферат
[RU] 1. Оконное стекло с покрытием, отражающим тепловое излучение, содержащее подложку (1) и по меньшей мере одно отражающее тепловое излучение покрытие (2) по меньшей мере на одной из сторон подложки (1), причем покрытие (2) содержит в направлении от подложки (1), по меньшей мере, нижний диэлектрический слой (3), функциональный слой (4), содержащий по меньшей мере один прозрачный электропроводящий оксид, и верхний диэлектрический слой (5), причем по меньшей мере один затемняющий слой (10) находится под нижним диэлектрическим слоем (3), между нижним диэлектрическим слоем (3) и функциональным слоем (4), между функциональным слоем (4) и верхним диэлектрическим слоем (5) и/или над верхним диэлектрическим слоем (5), и причем затемняющий слой (10) содержит по меньшей мере один металл, нитрид металла и/или карбид металла с температурой плавления выше 1900°C и удельным электрическим сопротивлением менее 500 мкОм ∙см, и причем толщина затемняющего слоя (10) составляет от 2 до 50 нм. 2. Оконное стекло по п.1, предназначенное для отделения внутреннего помещения от внешней среды, причем покрытие (2) нанесено на обращенную внутрь помещения сторону подложки (1). 3. Оконное стекло по п.1 или 2, которое имеет пропускание в видимом диапазоне спектра менее 25%, предпочтительно менее 15%, особенно предпочтительно менее 10%, в высшей степени предпочтительно менее 8%, в частности менее 6%. 4. Оконное стекло по одному из пп.1-3, причем подложка (1) имеет пропускание в видимом диапазоне спектра менее 15%, а оконное стекло с отражающим тепловое излучение покрытием (2) имеет пропускание менее 10%, и причем подложка (1) предпочтительно имеет пропускание в видимом диапазоне спектра менее 10%, и оконное стекло с отражающим тепловое излучение покрытием (2) имеет светопропускание менее 7%, в частности менее 6%. 5. Оконное стекло по одному из пп.1-4, причем толщина затемняющего слоя (10) составляет от 5 до 40 нм. 6. Оконное стекло по одному из пп.1-5, причем металл, нитрид металла или карбид металла затемняющего слоя (10) выбран из групп IVB, VB и VIB Периодической системы элементов. 7. Оконное стекло по одному из пп.1-6, причем температура плавления металла, нитрида металла и/или карбида металла выше 2200°C, предпочтительно выше 2500°C, и причем удельное электрическое сопротивление металла, нитрида металла и/или карбида металла составляет менее 200 мкОм ∙см. 8. Оконное стекло по одному из пп.1-7, причем функциональный слой (4) содержит, по меньшей мере, легированный фтором оксид олова, легированный сурьмой оксид олова и/или оксид индия-олова и имеет толщину от 40 до 200 нм, предпочтительно от 90 до 150 нм. 9. Оконное стекло по одному из пп.1-8, причем верхний диэлектрический слой (5) содержит материал с показателем преломления от 1,7 до 2,3, предпочтительно по меньшей мере один оксид и/или нитрид, особенно предпочтительно нитрид кремния и в высшей степени предпочтительно легированный алюминием нитрид кремния, легированный цирконием нитрид кремния или легированный бором нитрид кремния, и имеет толщину от 5 до 50 нм. 10. Оконное стекло по одному из пп.1-9, причем нижний диэлектрический слой (3) содержит по меньшей мере один оксид или нитрид, предпочтительно оксид кремния или нитрид кремния, особенно предпочтительно легированный алюминием диоксид кремния, легированный цирконием диоксид кремния или легированный бором диоксид кремния, и имеет толщину от 10 до 150 нм, предпочтительно от 15 до 50 нм. 11. Оконное стекло по одному из пп.1-10, причем выше верхнего диэлектрического слоя (5) находится противоотражательный слой (6), который предпочтительно содержит по меньшей мере один оксид, особенно предпочтительно оксид с показателем преломления меньше или равным 1,8, в высшей степени предпочтительно диоксид кремния, в частности легированный алюминием диоксид кремния, легированный цирконием диоксид кремния или легированный бором диоксид кремния, и который имеет толщину от 20 до 150 нм, предпочтительно от 40 до 100 нм. 12. Оконное стекло по одному из пп.1-11, причем покрытие (2) в качестве наружного слоя содержит покровный слой (7), который содержит по меньшей мере один оксид, предпочтительно, по меньшей мере, TiO 2 , ZrO 2 , HfO 2 , Nb 2 O 5 , Ta 2 O 5 , Cr 2 O 3 , WO 3 и/или CeO 2 и который предпочтительно имеет толщину от 2 до 50 нм. 13. Оконное стекло по одному из пп.1-12, причем подложка (1) по меньшей мере через один термопластичный промежуточный слой (9) соединена с защитным стеклом (8) с образованием многослойного оконного стекла и причем покрытие (2) нанесено на обращенную от защитного стекла (8) сторону подложки (1). 14. Способ получения оконного стекла с покрытием, отражающим тепловое излучение (2), причем на подложку (1) последовательно наносят, по меньшей мере: (a) нижний диэлектрический слой (3), (b) функциональный слой (4), который содержит по меньшей мере один прозрачный электропроводящий оксид, и (c) верхний диэлектрический слой (5), причем дополнительно перед технологическим этапом (а), между технологическими этапами (а) и (b), между технологическими этапами (b) и (с) и/или после технологического этапа (с) наносят по меньшей мере один затемняющий слой (10), который содержит по меньшей мере один металл, нитрид металла и/или карбид металла с температурой плавления выше 1900°C и удельным электрическим сопротивлением менее 500 мкОм ∙см и толщина которого составляет от 2 до 50 нм. 15. Способ по п.14, причем подложку (1) с покрытием (2) нагревают до температуры по меньшей мере 200°C.
Полный текст патента
(57) Реферат / Формула:
1. Оконное стекло с покрытием, отражающим тепловое излучение, содержащее подложку (1) и по меньшей мере одно отражающее тепловое излучение покрытие (2) по меньшей мере на одной из сторон подложки (1), причем покрытие (2) содержит в направлении от подложки (1), по меньшей мере, нижний диэлектрический слой (3), функциональный слой (4), содержащий по меньшей мере один прозрачный электропроводящий оксид, и верхний диэлектрический слой (5), причем по меньшей мере один затемняющий слой (10) находится под нижним диэлектрическим слоем (3), между нижним диэлектрическим слоем (3) и функциональным слоем (4), между функциональным слоем (4) и верхним диэлектрическим слоем (5) и/или над верхним диэлектрическим слоем (5), и причем затемняющий слой (10) содержит по меньшей мере один металл, нитрид металла и/или карбид металла с температурой плавления выше 1900°C и удельным электрическим сопротивлением менее 500 мкОм ∙см, и причем толщина затемняющего слоя (10) составляет от 2 до 50 нм. 2. Оконное стекло по п.1, предназначенное для отделения внутреннего помещения от внешней среды, причем покрытие (2) нанесено на обращенную внутрь помещения сторону подложки (1). 3. Оконное стекло по п.1 или 2, которое имеет пропускание в видимом диапазоне спектра менее 25%, предпочтительно менее 15%, особенно предпочтительно менее 10%, в высшей степени предпочтительно менее 8%, в частности менее 6%. 4. Оконное стекло по одному из пп.1-3, причем подложка (1) имеет пропускание в видимом диапазоне спектра менее 15%, а оконное стекло с отражающим тепловое излучение покрытием (2) имеет пропускание менее 10%, и причем подложка (1) предпочтительно имеет пропускание в видимом диапазоне спектра менее 10%, и оконное стекло с отражающим тепловое излучение покрытием (2) имеет светопропускание менее 7%, в частности менее 6%. 5. Оконное стекло по одному из пп.1-4, причем толщина затемняющего слоя (10) составляет от 5 до 40 нм. 6. Оконное стекло по одному из пп.1-5, причем металл, нитрид металла или карбид металла затемняющего слоя (10) выбран из групп IVB, VB и VIB Периодической системы элементов. 7. Оконное стекло по одному из пп.1-6, причем температура плавления металла, нитрида металла и/или карбида металла выше 2200°C, предпочтительно выше 2500°C, и причем удельное электрическое сопротивление металла, нитрида металла и/или карбида металла составляет менее 200 мкОм ∙см. 8. Оконное стекло по одному из пп.1-7, причем функциональный слой (4) содержит, по меньшей мере, легированный фтором оксид олова, легированный сурьмой оксид олова и/или оксид индия-олова и имеет толщину от 40 до 200 нм, предпочтительно от 90 до 150 нм. 9. Оконное стекло по одному из пп.1-8, причем верхний диэлектрический слой (5) содержит материал с показателем преломления от 1,7 до 2,3, предпочтительно по меньшей мере один оксид и/или нитрид, особенно предпочтительно нитрид кремния и в высшей степени предпочтительно легированный алюминием нитрид кремния, легированный цирконием нитрид кремния или легированный бором нитрид кремния, и имеет толщину от 5 до 50 нм. 10. Оконное стекло по одному из пп.1-9, причем нижний диэлектрический слой (3) содержит по меньшей мере один оксид или нитрид, предпочтительно оксид кремния или нитрид кремния, особенно предпочтительно легированный алюминием диоксид кремния, легированный цирконием диоксид кремния или легированный бором диоксид кремния, и имеет толщину от 10 до 150 нм, предпочтительно от 15 до 50 нм. 11. Оконное стекло по одному из пп.1-10, причем выше верхнего диэлектрического слоя (5) находится противоотражательный слой (6), который предпочтительно содержит по меньшей мере один оксид, особенно предпочтительно оксид с показателем преломления меньше или равным 1,8, в высшей степени предпочтительно диоксид кремния, в частности легированный алюминием диоксид кремния, легированный цирконием диоксид кремния или легированный бором диоксид кремния, и который имеет толщину от 20 до 150 нм, предпочтительно от 40 до 100 нм. 12. Оконное стекло по одному из пп.1-11, причем покрытие (2) в качестве наружного слоя содержит покровный слой (7), который содержит по меньшей мере один оксид, предпочтительно, по меньшей мере, TiO 2 , ZrO 2 , HfO 2 , Nb 2 O 5 , Ta 2 O 5 , Cr 2 O 3 , WO 3 и/или CeO 2 и который предпочтительно имеет толщину от 2 до 50 нм. 13. Оконное стекло по одному из пп.1-12, причем подложка (1) по меньшей мере через один термопластичный промежуточный слой (9) соединена с защитным стеклом (8) с образованием многослойного оконного стекла и причем покрытие (2) нанесено на обращенную от защитного стекла (8) сторону подложки (1). 14. Способ получения оконного стекла с покрытием, отражающим тепловое излучение (2), причем на подложку (1) последовательно наносят, по меньшей мере: (a) нижний диэлектрический слой (3), (b) функциональный слой (4), который содержит по меньшей мере один прозрачный электропроводящий оксид, и (c) верхний диэлектрический слой (5), причем дополнительно перед технологическим этапом (а), между технологическими этапами (а) и (b), между технологическими этапами (b) и (с) и/или после технологического этапа (с) наносят по меньшей мере один затемняющий слой (10), который содержит по меньшей мере один металл, нитрид металла и/или карбид металла с температурой плавления выше 1900°C и удельным электрическим сопротивлением менее 500 мкОм ∙см и толщина которого составляет от 2 до 50 нм. 15. Способ по п.14, причем подложку (1) с покрытием (2) нагревают до температуры по меньшей мере 200°C.
Евразийское 028403 (13) B1
патентное
ведомство
(12) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К ЕВРАЗИЙСКОМУ ПАТЕНТУ
(45) Дата публикации и выдачи патента 2017.11.30
(21) Номер заявки 201591539
(22) Дата подачи заявки
2013.12.19
(51) Int. Cl.
C03C17/34 (2006.01) B32B17/06 (2006.01) C03C17/36 (2006.01) C08J 7/00 (2006.01)
(54) ОКОННОЕ СТЕКЛО С ПОКРЫТИЕМ, ОТРАЖАЮЩИМ ТЕПЛОВОЕ ИЗЛУЧЕНИЕ
(31) 13155969.2
(32) 2013.02.20
(33) EP
(43) 2016.01.29
(86) PCT/EP2013/077351
(87) WO 2014/127867 2014.08.28
(71) (73) Заявитель и патентовладелец:
СЭН-ГОБЭН ГЛАСС ФРАНС (FR)
(72) Изобретатель:
Мельхер Мартин, Хаген Ян, Винсент Джулия (DE)
(74) Представитель:
Медведев В.Н. (RU)
(56) US-A1-2008070045 US-A1-2005123772 WO-A2-2012022876 WO-A1-2011105991 US-B1-6572990
Изобретение относится к оконному стеклу с покрытием, отражающим тепловое излучение, к способу его получения и к применению затемняющего слоя в стекле с таким покрытием.
Летом при высокой температуре окружающей среды и интенсивном прямом солнечном облучении салон автомобиля может сильно нагреваться. Если наружная температура ниже температуры внутри автомобиля, что имеет место, в частности, зимой, то холодное окно действует как поглотитель тепла, что плохо воспринимается пассажирами. Кроме того, необходимо обеспечить высокую теплопроизводитель-ность кондиционера, чтобы предотвратить охлаждение салона через окна автомобиля.
Покрытия, отражающие тепловое излучение (так называемые низкоэмиссионные, low-E-покрытия), известны. Такое покрытие отражает существенную часть солнечного излучения, в частности в инфракрасном диапазоне, что летом ведет к снижению нагрева салона автомобиля. Кроме того, если покрытие нанесено на обращенную внутрь автомобиля поверхность стекла, но оно снижает испускание длинноволнового теплового излучения нагретым стеклом внутрь автомобиля. При низких температурах наружного воздуха зимой такое покрытие снижает также излучение тепла из салона во внешнюю среду.
Из эстетических соображений или с точки зрения температурного комфорта может быть желательным, чтобы окно автомобиля имело уменьшенное пропускание света. Это часто справедливо, например, в случае боковых стекол, задних стекол или стекол в крыше. Такое оконное стекло можно получить, применяя снижающее светопропускание покрытие, отражающее тепловое излучение. Снижающие све-топропускания и отражающие тепловое излучение покрытия, которые содержат функциональные слои из ниобия, тантала, никеля, хрома, циркония или их сплавов, известны специалисту, например, из документов US 7592068 B2, US 7923131 B2 и WO 2004/076174 А1. Вследствие низкого светопропускания покрытия дефекты покрытия, которые могут появиться вследствие, в частности, производственных условий, имеют нежелательно высокую контрастность. Уже очень мелкие дефекты размером, например, около 100 мкм, могут создавать помехи наблюдателю, в частности, когда он смотрит сквозь стекло. Такие дефекты оконного стекла могут возникать, например, из-за того, что перед и/или во время процесса нанесения покрытия покрываемая поверхность стекла загрязняется частицами, которые после покрытия отделяются от поверхности. Частицы могут отделяться от поверхности также и во время последующей термообработки.
Чтобы устранить недостатки снижающих пропускание покрытий, можно нанести прозрачное покрытие, отражающее тепловое излучение, на тонированное стекло. Такие покрытия могут содержать функциональные слои на основе прозрачных проводящих оксидов, таких как оксид индия-олова, они известны, например, из заявок EP 2141135 A1, WO 2010/115558 А1 и WO 2011/105991 А1. Правда, оконные стекла с очень низким светопропусканием, например меньше 8%, таким способом получить нелегко, так как стекла со светопропусканием менее 10% промышленно обычно не выпускается.
Часто оконные стекла после нанесения покрытия подвергают термообработке и механическим трансформациям. При этом стекла в области автомобилестроения, например боковые стекла и задние стекла в виде однослойного безопасного стекла, и стекла в крыше, боковые стекла и задние стекла в виде многослойного безопасного стекла типично гнут и часто подвергают закалке или частичной закалке. Гибка и закалка оконного стекла также предъявляют к покрытию особые требования.
Из заявки US 2008/0070045 A1 известно другое оконное стекло с low-E покрытием, в котором функциональный слой содержит прозрачный проводящий оксид. Это покрытие содержит слой для поглощения теплового излучения, например из нитрида титана. Толщина поглощающего слоя не уточняется.
Из заявки US 2005/0123772 A1 известно low-E покрытие с функциональным слоем из серебра. Покрытие содержит светопоглощающий слой из нитрида титана. Low-E покрытия на основе серебра очень подвержены коррозии и поэтому не могут применяться на поверхности стекла в контакте с внешней средой. Их применение типично ограничено поверхностями, обращенными к промежуточным слоям многослойного стекла. Поэтому их использование на обращенной внутрь помещения поверхности стекла невозможно.
Задача настоящего изобретения состоит в том, чтобы создать улучшенное оконное стекло с покрытием, отражающим тепловое излучение, причем отражающее тепловое излучение покрытие должно снижать светопропускание через стекло в видимом диапазоне спектра. Кроме того, покрытие должно быть стойким к коррозии и не повреждаться при гибке и закалке. Кроме того, следует разработать способ получения оконного стекла.
Согласно изобретению эта задача решена оконным стеклом с отражающим тепловое излучение покрытием в соответствии с п.1 формулы изобретения. Предпочтительные варианты осуществления выявляются из зависимых пунктов.
Предлагаемое изобретением оконное стекло с покрытием, отражающим тепловое излучение, содержит подложку и по меньшей мере одно отражающее тепловое излучение покрытие по меньшей мере на одной поверхности подложки, причем покрытие содержит в направлении от подложки, по меньшей мере:
нижний диэлектрический слой,
функциональный слой, который содержит по меньшей мере один прозрачный электропроводящий
оксид, и
верхний диэлектрический слой,
причем по меньшей мере один затемняющий слой находится ниже нижнего диэлектрического слоя, между нижним диэлектрическим слоем и функциональным слоем, между функциональным слоем и верхним диэлектрическим слоем и/или выше верхнего диэлектрического слоя,
и причем затемняющий слой содержит по меньшей мере один металл, нитрид металла и/или карбид металла с температурой плавления выше 1900°C и удельным электрическим сопротивлением ниже 500 мкОм-см.
Отражающее тепловое излучение покрытие согласно изобретению является системой слоев, которая содержит, по меньшей мере, следующие отдельные слои в указанном порядке в направлении от подложки:
нижний диэлектрический слой,
выше нижнего диэлектрического слоя, функциональный слой, который содержит по меньшей мере один прозрачный электропроводящий оксид (ТСО), и
выше функционального слоя, верхний диэлектрический слой. Покрытие включает также по меньшей мере один затемняющий слой согласно изобретению.
Когда говорится, что первый слой расположен выше второго слоя, это означает в контексте изобретения, что этот первый слой находится дальше от подложки, чем второй слой. Когда говорится, что первый слой расположен ниже второго слоя, это означает в контексте изобретения, что второй слой находится дальше от подложки, чем первый слой.
Когда говорится, что первый слой расположен выше или ниже второго слоя, в контексте изобретения это не обязательно означает, что первый и второй слой находятся в прямом контакте друг с другом. Между первым и вторым слоями может находиться один или несколько других слоев, если только это явно не исключено.
Самый верхний слой покрытия в контексте изобретения является слоем, имеющим наибольшее расстояние от подложки. Самым нижним слоем покрытия в контексте изобретения является слой, наименее удаленный от подложки.
Указанные значения удельного электрического сопротивления измерены при температуре 20°C. Значения, указанные для показателя преломления, измерены на длине волны 550 нм.
Указанные значения температуры плавления и удельного электрического сопротивления специалист может взять, например, из таблиц или технического паспорта. Там типично указываются значения для твердого тела. В случае тонких слоев температура плавления и удельное электрическое сопротивление могут отличаться от этих значений. Однако значения, табулированные для твердого тела, являются для специалиста достаточным критерием для выбора подходящих материалов для затемняющего слоя согласно изобретению. Указанные значения температуры плавления и удельного электрического сопротивления следует понимать именно в этом смысле.
Когда говорится, что слой или другой элемент включает по меньшей мере какой-то один материал, то в контексте изобретения это охватывает также случай, когда слой состоит из этого материала.
Согласно изобретению металл, нитрид металла и/или карбид металла затемняющего слоя имеет низкое удельное электрическое сопротивление и, тем самым, заметную электропроводность. Благодаря такому проводящему затемняющему слою снижается пропускание в видимом диапазоне спектра у отражающего тепловое излучение покрытия, в частности, в результате поглощения и/или отражения. Естественно, затемняющий слой может также снижать пропускание в других диапазонах спектра, например в инфракрасном диапазоне. При этом степень пропускания можно регулировать выбором числа, толщины, а также материала затемняющих слоев. Таким образом, в результате можно получать очень темные оконные стекла, в частности, когда покрытие по изобретению используется на тонированном стекле. Это является большим преимуществом изобретения.
Согласно изобретению металл, нитрид металла и/или карбид металла затемняющего слоя имеет, кроме того, высокую температуру плавления. Такие затемняющие слои являются стойкими к коррозии и окислению, что выгодно. Поэтому оконное стекло с покрытием можно также подвергнуть термообработке, процессу гибки и/или закалки без повреждения покрытия (например, без трещин в затемняющем слое) или без повторного повышения светопропускания вследствие окисления затемняющего слоя. Это является следующим большим преимуществом настоящего изобретения.
Оконное стекло согласно изобретению предпочтительно предназначено для вставки в отверстие, например, автомобиля или здания, чтобы отделить внутреннее пространство от внешней среды. Покрытие согласно изобретению предпочтительно нанесено на поверхность подложки, которая в установленном положении оконного стекла будет обращена внутрь помещения. Это особенно выгодно с точки зрения теплового комфорта во внутреннем помещении. Поверхность, которая в установленном положении оконного стекла будет обращена внутрь помещения, в рамках изобретение называется внутренней поверхностью. При этом покрытие согласно изобретению может при высоких наружных температурах и солнечном облучении особенно эффективно отражать, по меньшей мере частично, тепловое излучение, испущенное от всего стекла в направлении салона. При низких наружных температурах покрытие со
гласно изобретению эффективно отражает тепловое излучение, испускаемое из салона, и тем самым снижает действие холодного стекла как поглотителя тепла.
Излучательная способность стекла по изобретению со стороны салона предпочтительно меньше или равна 35%, особенно предпочтительно меньше или равна 25%, в высшей степени предпочтительно меньше или равна 20%. При этом излучательная способность со стороны салона является параметром, который указывает, сколько теплового излучения стекла в установленном положении отдается во внутренний объем, например, здания или автомобиля, по сравнению с идеальным теплоизлучателем (черное тело). Под излучательной способностью в контексте изобретения понимается обычный коэффициент излучения при 283К согласно норме EN 12898.
Оконное стекло согласно изобретению в одном предпочтительном варианте осуществления имеет пропускание в видимом диапазоне спектра менее 25%, предпочтительно менее 15%, особенно предпочтительно менее 10%, в высшей степени предпочтительно менее 8% и, в частности, менее 6%. Изобретение особенно выгодно для оконных стекол с пропусканием менее 10%. Дело в том, что получить такие стекла только путем тонировки подложки затруднительно, так как такие сильно тонированные подложки обычно промышленно не выпускаются. Оконные стекла с таким низким пропусканием могут быть желательны, в частности, в качестве бокового стекла, заднего стекла или стекла в крыше автомобиля или же в качестве окон в зданиях.
Параметр полного внесения энергии солнечным излучением для оконного стекла согласно изобретению предпочтительно составляет менее 50%, особенно предпочтительно менее 40%, в высшей степени предпочтительно менее 30%. Этот параметр известен также специалисту как параметр TTS ("total transmitted sun").
Удельное поверхностное сопротивление покрытия согласно изобретению предпочтительно составляет от 10 до 50 Ом/квадрат, особенно предпочтительно от 15 до 30 Ом/квадрат.
Согласно изобретению отражающее тепловое излучение покрытие содержит по меньшей мере один затемняющий слой. Покрытие может также содержать несколько затемняющих слоев, например два, три или четыре затемняющих слоя, что может быть желательным по оптическим или механическим соображениям.
В одном предпочтительном варианте осуществления покрытие содержит один или два затемняющих слоя согласно изобретению. Это особенно выгодно с точки зрения простоты получения покрытия.
Затемняющий слой или несколько затемняющих слоев могут находиться, например, ниже нижнего диэлектрического слоя, между нижним диэлектрическим слоем и функциональным слоем, между функциональным слоем и верхним диэлектрическим слоем и/или выше верхнего диэлектрического слоя.
В особенно предпочтительных вариантах осуществления затемняющий слой, соответственно затемняющие слои находятся между нижним диэлектрическим слоем и функциональным слоем и/или между функциональным слоем и верхним диэлектрическим слоем. При этом затемняющие слои предпочтительно находятся в прямом контакте с функциональным слоем. Неожиданно оказалось, что такое отражающее тепловое излучение покрытие особенно хорошо подходит для того, чтобы без повреждений перенести термообработку, процесс гибки и закалку.
Затемняющий слой предпочтительно имеет толщину от 2 до 50 нм, особенно предпочтительно от 5 до 40 нм, в высшей степени предпочтительно от 10 до 30 нм. Это особенно выгодно с точки зрения эффекта снижения пропускания, а также коррозионной стойкости и гибкости затемняющего слоя.
Согласно изобретению затемняющий слой содержит по меньшей мере один металл, нитрид металла и/или карбид металла. При этом понятие "металл" в контексте изобретения охватывает также сплавы двух или более металлов. Равным образом, включены смешанные нитриды и смешанные карбиды двух или более металлов, а также сплавы, смешанные нитриды и смешанные карбиды одного металла с кремнием и/или алюминием.
Металлы и карбиды металлов могут содержать небольшие количества кислорода, что обусловлено производством. При этом содержание кислорода предпочтительно ниже 30 вес.%, особенно предпочтительно ниже 20 вес.%.
Металл, содержащийся в затемняющем слое, или его оксид или нитрид, содержащийся в затемняющем слое, предпочтительно выбран из переходных металлов, особенно предпочтительно из группы IVB, VB и VIB Периодической системы элементов. Затемняющий слой предпочтительно содержит по меньшей мере один металл, нитрид металла или карбид металла из группы, состоящей из гафния, ниобия, тантала, молибдена, вольфрама, нитрида титана, нитрида циркония, нитрида гафния, нитрида ванадия, нитрида ниобия, нитрида тантала, нитрида титана, карбида циркония, карбида гафния, карбида ванадия, карбида ниобия, карбида тантала, карбида молибдена и карбида вольфрама, или их смесей или сплавов. Температура плавления Ts и удельное электрическое сопротивление р указанных материалов приведены в табл. 1 (см. также Н.О. Pierson: Handbook of Refractory Carbides and Nitrides. Westwood: Noyes Publications, 1996).
Температура плавления металла, нитрида металла и/или карбида металла предпочтительно выше 2200°C, особенно предпочтительно выше 2500°C. Это особенно выгодно с точки зрения стойкости к коррозии и окислению затемняющего слоя.
Удельное электрическое сопротивление металла, нитрида металла и/или карбида металла предпочтительно меньше 200 мкОм-см. Это особенно выгодно с точки зрения эффекта снижения пропускания затемняющим слоем.
Затемняющий слой предпочтительно содержит по меньшей мере один металл, нитрид металла или карбид металла из группы, состоящей из гафния, ниобия, тантала, молибдена, вольфрама, нитрида титана, нитрида циркония, нитрида гафния, нитрида ниобия, нитрида тантала, карбида титана, карбида циркония, карбида гафния, карбида ванадия, карбида ниобия, карбида тантала, карбида молибдена и карбида вольфрама, или их смесей или сплавов, или их сплавов, смешанных нитридов или смешанных карбидов с кремнием или алюминием. Вследствие высокой температуры плавления, выше 2500°C, это в высшей степени выгодно для коррозионной стойкости затемняющего слоя.
В высшей степени предпочтительно, затемняющий слой содержит по меньшей мере один металл, нитрид металла или карбид металла из группы, состоящей из тантала, молибдена, вольфрама, нитрида титана, нитрида циркония, нитрида гафния, нитрида тантала, карбида титана, карбида циркония, карбида гафния, карбида ванадия, карбида ниобия, карбида тантала, карбида молибдена и карбида вольфрама, или их смесей или сплавов, или их сплавов, смешанных нитридов или смешанных карбидов с кремнием или алюминием. Вследствие высокой температуры плавления, выше 2500°C, это в высшей степени выгодно для коррозионной стойкости затемняющего слоя.
В принципе нитриды и карбиды предпочтительнее для затемняющего слоя, чем металлы или сплавы. Оказалось, что такие затемняющие слои особенно стойки к коррозии и окислению и устойчивы к повреждениям.
Нитрид металла и карбид металла могут быть стехиометрическими, подстехиометрическими или сверхстехиометрическими в отношении азота, соответственно углерода.
Функциональный слой обладает способностью отражать тепловое излучение, в частности инфракрасное излучение, однако для видимого диапазона спектра он является, по существу, прозрачным. Согласно изобретению функциональный слой содержит по меньшей мере один прозрачный электропроводящий оксид (transparent conductive oxide, TCO). Показатель преломления материала функционального слоя предпочтительно составляет от 1,7 до 2,3. Функциональный слой предпочтительно содержит, по меньшей мере, оксид индия-олова (ITO). Этим достигаются особенно хорошие результаты в отношении излучательной способности и гибкости покрытия согласно изобретению.
Функциональный слой на подложке ТСО, в частности ITO, не подвержен коррозии и поэтому особенно хорошо подходит для применения на внутренней поверхности оконного стекла.
Оксид индия-олова предпочтительно осаждают магнетронным катодным распылением мишени из оксида индия-олова. Мишень предпочтительно содержит от 75 до 95 вес.% оксида индия и от 5 до 25 вес.% оксида олова, а также обусловленные производственными причинами примеси. Осаждение оксида индия-олова предпочтительно проводится в атмосфере защитного газа, например аргона. К защитному газу может добавляться также незначительная доля кислорода, например, чтобы улучшить гомогенность функционального слоя.
Альтернативно мишень может предпочтительно содержать по меньшей мере от 75 до 95 вес.% индия и от 5 до 25 вес.% олова. В таком случае осаждение оксида индия-олова проводится предпочтительно при подаче кислорода в качестве реакционного газа во время катодного распыления.
На коэффициент излучения оконного стекла по изобретению можно влиять толщиной функционального слоя. Толщина функционального слоя предпочтительно составляет от 40 до 200 нм, особенно предпочтительно от 90 до 150 нм и в высшей степени предпочтительно от 100 до 140 нм, например примерно 120 нм. В этом диапазоне толщин функционального слоя достигаются особенно предпочтительные значения коэффициента излучения и особенно предпочтительная способность функционального слоя без повреждений выдерживать механические трансформации, такие как гибка или закалка.
Однако функциональный слой может также содержать и другие прозрачные электропроводящие оксиды, например легированный фтором оксид олова (SnO2:F), легированный сурьмой оксид олова (SnO2: Sb), смешанный оксид индия и цинка (IZO), легированный галлием или алюминием оксид цинка, легированный ниобием оксид титана, станнат кадмия и/или станнат цинка.
Отражающее тепловое излучение покрытие представляет собой систему слоев, которая, согласно изобретению, содержит по меньшей мере два диэлектрических слоя, а именно нижний диэлектрический слой и верхний диэлектрический слой. Нижний диэлектрический слой находится ниже функционального слоя, верхний диэлектрический слой находится выше функционального слоя. Однако покрытие согласно изобретению может также содержать один или несколько дополнительных диэлектрических слоев, которые могут располагаться ниже и/или выше функционального слоя.
Диэлектрические слои могут содержать, например, оксид кремния (SiO2), нитрид кремния (Si3N4), оксид цинка (ZnO), оксид олова (SnO2), смешанный оксид олова и цинка (SnZnOx), оксид циркония (ZrO2), оксид гафния (HfO2), оксид тантала (Та2О5), оксид вольфрама (WO3), оксид ниобия (Nb2O5) или оксид титана (TiO2) и иметь, например, толщину от 5 до 200 нм.
Затемняющий слой или затемняющие слои в принципе могут находиться в любом месте системы слоев. Например, затемняющий слой может находиться между функциональным слоем и соседним диэлектрическим слоем выше и/или ниже функционального слоя. Затемняющий слой может находиться, например, ниже самого нижнего диэлектрического слоя. Затемняющий слой может находиться, например, под самым верхним диэлектрическим слоем. Затемняющий слой может также находиться между двумя соседними диэлектрическими слоями.
В одном предпочтительном варианте осуществления изобретения нижний диэлектрический слой является адгезионным слоем. Адгезионный слой ведет к длительно стабильной адгезии слоев, осажденных на подложку выше адгезионного слоя. Далее, адгезионный слой предотвращает обогащение зоны, граничащей с функциональным слоем, диффундирующими из подложки ионами, в частности ионами натрия, если подложка состоит из стекла. Такие ионы могут привести к коррозии и низкой адгезии функционального слоя. Поэтому адгезионный слой особенно выгоден с точки зрения стабильности функционального слоя.
Адгезионный слой предпочтительно содержит по меньшей мере один оксид или нитрид. Особенно предпочтительно адгезионный слой содержит оксид кремния (SiO2) или нитрид кремния (Si3N4). Это особенно выгодно с точки зрения адгезии слоев, осаждаемых на подложку выше адгезионного слоя. Оксид кремния может содержать легирующие присадки, например фтор, углерод, азот, бор, фосфор и/или алюминий. В высшей степени предпочтительно оксид кремния или нитрид кремния легированы алюминием (SiO2:Al, Si3N4:Al), бором (SiO2:B, SyN^) или цирконием (SiO2:Zr, Si3N4:Zr). Это особенно выгодно с точки зрения оптических свойств покрытия, а также в отношении скорости нанесения адгезионного слоя, например, катодным распылением.
Оксид кремния или нитрид кремния предпочтительно осаждают магнетронным катодным распылением мишени, которая содержит по меньшей мере кремний. Мишень для осаждения адгезионного слоя, содержащего легированный алюминием оксид кремния или нитрид кремния, предпочтительно содержит от 80 до 95 вес.% кремния и от 5 до 20 вес.% алюминия, а также обусловленные производственными причинами примеси. Мишень для осаждения адгезионного слоя, содержащего легированный бором оксид кремния, соответственно нитрид кремния, предпочтительно содержит от 99,9990 до 99,9999 вес.% кремния и от 0,0001 до 0,001 вес.% бора, а также обусловленные производственными причинами примеси. Мишень для осаждения адгезионного слоя, содержащего легированный цирконием оксид кремния, соответственно нитрид кремния, предпочтительно содержит от 60 до 90 вес.% кремния и от 10 до 40 вес.% циркония, а также обусловленные производственными причинами примеси. В случае оксида кремния осаждение проводится предпочтительно при добавке кислорода в качестве реакционного газа, а в случае нитрида кремния при добавке азота в качестве реакционного газа во время катодного распыления.
Легирование адгезионного слоя может также улучшить гладкость слоев, наносимых выше адгезионного слоя. Высокая гладкость слоев особенно благоприятна при применении оконного стекла согласно изобретению в области автомобилей, так как благодаря этому можно избежать неприятных ощущений шероховатости стекла. Если оконное стекло согласно изобретению является боковым стеклом, то оно может с меньшим трением перемещаться к рабочей кромке уплотнения.
Однако адгезионный слой может также содержать и другие материалы, например другие оксиды, такие как TiO2, Al2O3, Та2О5, Y2O3, ZrO2, HfO2, WO3, Nb2O5 ZnO, SnO2 и/или ZnSnOx, или нитриды, как AlN.
Адгезионный слой предпочтительно имеет толщину от 10 до 150 нм, особенно предпочтительно от 15 до 50 нм, например примерно 30 нм. Это особенно выгодно с точки зрения адгезии покрытия согласно изобретению и с точки зрения снижения диффузии ионов из подложки в функциональный слой.
В одном предпочтительном варианте осуществления изобретения верхний диэлектрический слой является барьерным слоем для регулирования диффузии кислорода во время термообработки оконного стекла. Благодаря барьерному слою можно влиять на и регулировать содержание в функциональном слое
кислорода, который оказывает заметное влияние на свойства функционального слоя. Слишком низкое, а также слишком высокое содержание кислорода ведет к слишком высокому удельному поверхностному сопротивлению и, тем самым, к слишком высокому коэффициенту излучения. Слишком низкое содержание кислорода ведет, кроме того, к заметной, часто нежелательной глубине цвета. Слишком высокое содержание кислорода в функциональном слое приводит к тому, что функциональный слой повреждается при гибке, что проявляется, в частности, как трещины внутри функционального слоя.
Толщина барьерного слоя предпочтительно составляет от 5 до 50 нм, особенно предпочтительно от 7 до 40 нм, в высшей степени предпочтительно от 10 до 30 нм. Этим достигаются особенно хорошие результаты в точки зрения удельного поверхностного сопротивления и гибкости. Кроме того, выгодно, что покрытие благодаря барьерному слою с указанной толщиной защищает от коррозии влажной атмосферой.
Показатель преломления материала барьерного слоя предпочтительно больше или равен показателя преломления материала функционального слоя. Показатель преломления материала барьерного слоя особенно предпочтительно составляет от 1,7 до 2,3. Этим достигаются предпочтительные оптические свойства покрытия, в частности эстетическая глубина цвета при отражении света.
Барьерный слой предпочтительно содержит по меньшей мере один оксид и/или нитрид. Оксид и/или нитрид может иметь стехиометрический иди нестехиометрический состав. Особенно предпочтительно барьерный слой содержит, по меньшей мере, нитрид кремния (Si3N4). Это особенно выгодно с точки зрения влияния барьерного слоя на окисление функционального слоя и на оптические свойства оконного стекла. Нитрид кремния может содержать легирующие присадки, например титан, цирконий, бор, гафний и/или алюминий. В высшей степени предпочтительно нитрид кремния легирован алюминием (Si3N4:Al), или цирконием (Si3N4:Zr), или бором (Si3N4:B). Это особенно выгодно с точки зрения оптических свойств, гибкости, гладкости и коэффициента излучения покрытия, а также с точки зрения скорости нанесения барьерного слоя, например, катодным распылением.
Нитрид кремния предпочтительно осаждают магнетронным катодным распылением мишени, которая содержит по меньшей мере кремний. Мишень для осаждения барьерного слоя, содержащего легированный алюминием нитрид кремния, предпочтительно содержит от 80 до 95 вес.% кремния и от 5 до 20 вес.% алюминия, а также обусловленные производственными причинами примеси. Мишень для осаждения барьерного слоя, содержащего легированный бором нитрид кремния, предпочтительно содержит от 99,9990 до 99,9999 вес.% кремния и от 0,0001 до 0,001 вес.% бора, а также обусловленные производственными причинами примеси. Мишень для осаждения барьерного слоя, содержащего легированный цирконием нитрид кремния, предпочтительно содержит от 60 до 90 вес.% кремния и от 10 до 40 вес.% циркония, а также обусловленные производственными причинами примеси. Осаждение нитрида кремния проводится предпочтительно при добавке азота в качестве реакционного газа во время катодного распыления.
При термообработке после нанесения покрытия согласно изобретению нитрид кремния может частично окислиться. В таком случае осажденный в виде Si3N4 барьерный слой содержит после термообработки SixNyOz, при этом содержание кислорода типично составляет от 0 до 35 ат.%.
Однако альтернативно барьерный слой может также содержать, например, по меньшей мере WO3, Nb2O5, Bi2O3, TiO2 и/или AlN.
В одном предпочтительном варианте осуществления изобретения выше верхнего диэлектрического слоя расположен диэлектрический противоотражательный слой. Противоотражательный слой снижает отражение в видимом диапазоне спектра оконным стеклом согласно изобретению и приводит к нейтральному цветовому восприятию в отраженном и пропущенном свете. Кроме того, противоотражательный слой улучшает коррозионную стойкость функционального слоя. Материал противоотражательного слоя предпочтительно имеет показатель преломления меньше, чем показатель преломления материала функционального слоя. Показатель преломления материала противоотражательного слоя предпочтительно меньше или равен 1,8.
Противоотражательный слой предпочтительно содержит по меньшей мере один оксид. Особенно предпочтительно противоотражательный слой содержит диоксид кремния (SiO2). Это особенно выгодно с точки зрения оптических свойств стекла и коррозионной стойкости функционального слоя. Диоксид кремния может содержать легирующие присадки, например фтор, углерод, азот, бор, фосфор и/или алюминий. В высшей степени предпочтительно оксид кремния легирован алюминием (SiO2:Al), бором (SiO2:B) или цирконием (SiO2:Zr).
Однако противоотражательный слой может также содержать и другие материалы, например другие оксиды, такие как Al2O3.
Противоотражательный слой предпочтительно имеет толщину от 20 до 150 нм, особенно предпочтительно от 40 до 100 нм. Это особенно выгодно в отношении низкого отражения и высокого пропускания видимого света, а также с точки зрения установления желаемой глубины цвета стекла и коррозионной стойкости функционального слоя.
В одном особенно предпочтительном варианте осуществления отражающее тепловое излучение покрытие подложки содержит, по меньшей мере:
адгезионный слой в качестве нижнего диэлектрического слоя, выше адгезионного слоя: функциональный слой,
выше функционального слоя: барьерный слой для регулирования диффузии кислорода, в качестве верхнего диэлектрического слоя и
выше барьерного слоя: противоотражательный слой.
Затемняющий слой или несколько затемняющих слоев предпочтительно расположены ниже адгезионного слоя (т.е. между подложкой и адгезионным слоем), между адгезионным слоем и функциональным слоем, между функциональным слоем и барьерным слоем и/или между барьерным слоем и противоотра-жательным слоем.
Выше верхнего диэлектрического слоя (и при необходимости выше противоотражательного слоя) может располагаться покровный слой. Покровный слой предпочтительно является самым верхним слоем покрытия согласно изобретению. Покровный слой защищает покрытие по изобретению от повреждений, в частности, от царапин. Покровный слой предпочтительно содержит по меньшей мере один оксид, особенно предпочтительно по меньшей мере оксид титана (TiO2), оксид циркония (ZrO2), оксид гафния (HfO2), оксид ниобия (Nb2O5), оксид тантала (Ta2O5), оксид хрома (Cr2O3), оксид вольфрама (WO3) и/или оксид церия (СеО2). Толщина покровного слоя предпочтительно составляет от 2 до 50 нм, особенно предпочтительно от 5 до 20 нм. Этим достигаются особенно хорошие результаты в отношении стойкости к царапанью. При этом затемняющий слой может находиться также между верхним диэлектрическим слоем и покровным слоем или между противоотражательным слоем и покровным слоем.
Ниже нижнего диэлектрического слоя может находиться дополнительный диэлектрический слой, улучшающий адгезию, предпочтительно толщиной от 2 до 15 нм. Например, адгезионный слой может содержать SiO2, а дополнительный улучшающий адгезию слой может содержать по меньшей мере один оксид, какой как TiO2, Al2O3, Ta2O5, Y2O3, ZnO и/или ZnSnOx, или нитрид как Si3N4 или AlN. Благодаря улучшающему адгезию слою адгезия покрытия согласно изобретению еще больше улучшается, что выгодно. Кроме того, улучшающий адгезию слой позволяет улучшенную подгонку цветовых коэффициентов и пропускания или отражения.
Подложка предпочтительно содержит стекло, особенно предпочтительно листовое стекло, флоат-стекло, кварцевое стекло, боросиликатное стекло, кальциево-натриевое стекло или пластмассы, предпочтительно жесткие пластмассы, в частности полиэтилен, полипропилен, поликарбонат, полиметилметак-рилат, полистирол, полиамид, полиэфир, поливинилхлорид и/или их смеси.
В одном предпочтительном варианте осуществления изобретения подложка является тонированной и/или окрашенной. Благодаря комбинации тонированной или окрашенной подложки с покрытием согласно изобретению можно, в частности, получить оконные стекла с улучшенным отражением теплового излучения при сниженном пропускании в видимом диапазоне спектра. Такие стекла могут применяться, например, в области автомобилей в качестве боковых стекол, задних стекол или стекол в крыше и могут быть желательны из эстетических соображений или из соображений температурного комфорта. По сравнению с бесцветными подложками со снижающими пропускание и отражающими тепловое излучение покрытиями (например, на подложке хрома) дефекты слоя, возможно имеющиеся, в случае стекол согласно изобретению не так сильно бросаются в глаза. Кроме того, благодаря покрытию по изобретению пропускание через тонированную подложку еще больше снижается, так что можно получить оконные стекла с очень низким светопропусканием. Подложка предпочтительно имеет пропускание в видимом диапазоне спектра менее 40%, особенно предпочтительно менее 20% и в высшей степени предпочтительно менее 15%, например приблизительно 10%. Однако в принципе подложка может иметь и более высокое пропускание, например, больше или равное 70%. В этом случае благодаря покрытию согласно изобретению можно достичь легкой тонировки.
В особенно предпочтительном варианте осуществления подложка имеет пропускание в видимом диапазоне спектра менее 15%, и оконное стекло с отражающим тепловое излучение покрытием имеет пропускание менее 10%. В высшей степени предпочтительном варианте осуществления подложка имеет пропускание в видимом диапазоне спектра менее 10%, а оконное стекло с отражающим тепловое излучение покрытием имеет пропускание менее 7%, в частности менее 6%. Как результат, можно получать особенно темные оконные стекла.
Толщина подложки может варьироваться в широких пределах и, таким образом, отлично подбираться к требованиям в конкретных случаях. Предпочтительно применяются стекла со стандартной толщиной от 1,0 до 25 мм, предпочтительно от 1,4 до 4,9 мм. Размер подложки может меняться в широких пределах и согласовываться с применением согласно изобретению. Например, в автомобилестроении и в области архитектуры подложка имеет обычно площадь от 200 см2 до 20 м2.
Подложка может быть плоской или же слабо или сильно изогнутой в одном или нескольких пространственных направлениях. Плоские стекла встречаются, например, в остеклениях в области архитектуры или в остеклениях большой площади в автобусах, поездах или тракторах. Гнутые стекла встречаются, например, при остеклении в области автомобилей, причем типичные радиусы кривизны лежат в
диапазоне от примерно 10 см до примерно 40 м. Радиус кривизны не обязан быть постоянным на всем стекле, и в одном и том же стекле могут иметься более и менее сильно изогнутые зоны. Особенным преимуществом изобретения является то, что снабдить покрытием согласно изобретению можно плоскую подложку и что покрытие не повреждается при позднейшем процессе гибки, который проводится обычно при повышенных температурах, например при 500-700°C. Конечно, покрытие в принципе можно нанести также на гнутую подложку. При этом трехмерная форма подложки предпочтительно не имеет мертвых зон, так что подложку можно покрывать, например, катодным распылением.
Покрытие согласно изобретению может наноситься на всю площадь поверхности подложки. Однако поверхность подложки может также содержать области без покрытия. Например, поверхность подложки может иметь не содержащую покрытия периферическую краевую зону и/или область без покрытия, которая служит в качестве окна передачи данных или коммуникационного окна.
Подложка может быть снабжена отражающим тепловое излучение покрытием по изобретению также на обеих поверхностях.
В одном предпочтительном варианте осуществления изобретения подложка через по меньшей мере один термопластичный промежуточный слой соединена с защитным стеклом с образованием композиционного оконного стекла. Предпочтительно предусматривается, чтобы защитное стекло в установленном положении композиционного оконного стекла было обращено во внешнюю среду, тогда как подложка обращена внутрь салона. Покрытие согласно изобретению предпочтительно находится на противоположной от защитного стекла поверхности подложки.
Защитное стекло предпочтительно содержит стекло, особенно предпочтительно листовое стекло, флоат-стекло, кварцевое стекло, боросиликатное стекло, кальциево-натриевое стекло или пластмассы, предпочтительно жесткие пластмассы, в частности полиэтилен, полипропилен, поликарбонат, полиме-тилметакрилат, полистирол, полиамид, полиэфир, поливинилхлорид и/или их смеси. Защитное стекло предпочтительно имеет толщину от 1,0 до 25 мм, особенно предпочтительно от 1,4 до 4,9 мм.
Термопластичный промежуточный слой предпочтительно содержит термопластичные синтетические материалы, например поливинилбутираль (PVB), этиленвинилацетат (EVA), полиуретан (PU), поли-этилентерефталат (PET) или несколько их слоев, предпочтительно толщинами от 0,3 до 0,9 мм.
Композиционное оконное стекло в одном предпочтительном варианте осуществления имеет пропускание в видимом диапазоне спектра менее 25%, предпочтительно менее 15%, особенно предпочтительно менее 10%, в высшей степени предпочтительно менее 8% и, в частности, менее 6%. При этом подложка, защитное стекло и/или термопластичный промежуточный слой предпочтительно являются тонированными и/или окрашенными. Защитное стекло предпочтительно имеет пропускание в видимом диапазоне спектра менее 40%, термопластичный промежуточный слой предпочтительно имеет пропускание от 20 до 70%.
В одном особенно предпочтительном варианте осуществления покрытие согласно изобретению наносят на обращенную внутрь салона поверхность подложки, при этом подложка образует стекло композиционного оконного стекла, обращенное внутрь салона. Далее на обращенную к защитному стеклу поверхность подложки, на обращенную к подложке поверхность защитного стекла или на пленку-подложку в термопластичном промежуточном слое наносят солнцезащитное покрытие. При этом солнцезащитное покрытие с успехом защищает от коррозии и механических повреждений. Солнцезащитное покрытие предпочтительно содержит по меньшей мере один металлический слой на основе серебра или содержащего серебро сплава толщиной от 5 до 25 нм. Особенно хорошие результаты достигаются с двумя или тремя функциональными слоями, которые отделены друг от друга диэлектрическим слоем толщиной от 10 до 100 нм. Солнцезащитное покрытие отражает часть падающего солнечного излучения вне видимого диапазона спектра, в частности в инфракрасной области спектра. Благодаря солнцезащитному покрытию снижается нагревание салона прямыми солнечными лучами. Кроме того, солнцезащитное покрытие снижает нагрев элементов стеклопакета, расположенных в направлении падения солнечного излучения за солнцезащитным покрытием и, тем самым, испускаемого стеклопакетом теплового излучения. Благодаря комбинации солнцезащитного покрытия с покрытием по изобретению для отражения теплового излучения еще больше улучшается тепловой комфорт в салоне, что выгодно.
Подложка может быть также соединена, например, с другим стеклом через разделительный элемент с получением теплоизоляционного стеклопакета. Подложка может также соединена более чем с одним дополнительным стеклом через термопластичные промежуточные слои и/или разделительные элементы.
Изобретение относится к способу получения оконного стекла с покрытием, отражающим тепловое излучение, причем на подложку последовательно наносят по меньшей мере:
(a) нижний диэлектрический слой,
(b) функциональный слой, который содержит по меньшей мере один прозрачный электропроводящий оксид (ТСО), и
(c) верхний диэлектрический слой,
причем, кроме того, перед технологическим этапом (а), между технологическим этапом (а) и (b), между технологическим этапом (b) и (с) и/или после технологического этапа (с) наносят по меньшей мере один затемняющий слой, который содержит по меньшей мере один металл, нитрид металла и/или кар
бид металла с температурой плавления выше 1900°C и удельным электрическим сопротивлением менее 500 мкОм-см.
Предпочтительно, после верхнего диэлектрического слоя наносят противоотражательный слой. После верхнего диэлектрического слоя и при необходимости противоотражательного слоя можно нанести покровный слой.
В принципе перед и/или после каждого слоя может наноситься затемняющий слой. Можно наносить один или же несколько затемняющих слоев.
Отдельные слои осаждают известным способом, предпочтительно катодным распылением с поддержкой магнитного поля. Это особенно выгодно с точки зрения простого, быстрого, недорогого и равномерного покрытия подложки. Катодное распыление осуществляют в атмосфере защитного газа, например аргона, или в химически активной атмосфере, например путем добавления кислорода, углеводорода (например, метана) или азота.
Однако отдельные слои могут быть также нанесены другими известными специалисту способами, например термонапылением или химическим осаждением из газовой фазы (chemical vapour deposition, CVD), осаждением монослоя (atomic layer deposition, ALD), плазмохимическим осаждением из газовой фазы (PECVD) или влажнохимическим способом.
Стекло после нанесения отражающего тепловое излучение покрытия предпочтительно подвергают термообработке. При этом подложку с покрытием согласно изобретению нагревают до температуры по меньшей мере 200°C, особенно предпочтительно по меньшей мере 300°C. В результате термообработки улучшается, в частности, кристалличность функционального слоя. Тем самым заметно улучшаются, в частности, способность отражать тепловое излучение, а также оптические свойства стекла. Затемняющий слой согласно изобретению во время термообработки не повреждается. В частности, затемняющий слой при термообработке не окисляется в той степени, что приводит к повышению светопропускания.
В предпочтительном варианте осуществления способа по изобретению термообработку осуществляют в рамках процесса гибки. При этом подложку с покрытием согласно изобретению гнут в нагретом состоянии в одном или нескольких пространственных направлениях. Температура, до которой нагревают подложку, предпочтительно составляет от 500 до 700°C. Особенным преимуществом покрытия согласно изобретению для отражения теплового излучения является то, что его можно подвергнуть такому процессу гибки, не повреждая его при этом. Затемняющий слой согласно изобретению не повреждается в процессе гибки, например не трескается.
Конечно, перед или после процесса гибки могут проводиться и другие этапы термообработки. Альтернативно термообработку можно провести также с помощью лазерного излучения.
В одном предпочтительном варианте осуществления подложка после термообработки и при необходимости после гибки может быть подвергнута закалке или частичной закалке. Для этого подложку известным способом охлаждают в надлежащей степени. Закаленная подложка типично имеет поверхностные сжимающие напряжения по меньшей мере 69 МПа. Частично закаленная подложка типично имеет поверхностные сжимающие напряжения от 24 до 52 МПа. Закаленная подложка подходит в качестве однослойного безопасного стекла, например, в качестве бокового стекла или заднего стекла автомобиля.
В одном предпочтительном варианте осуществления изобретения подложку после термообработки и при необходимости после процесса гибки и/или закалки с помощью по меньшей мере одного термопластичного промежуточного слоя соединяют с защитным стеклом с получением композиционного оконного стекла. При этом подложка предпочтительно расположена в композиционном оконном стекле так, чтобы ее снабженная покрытием по изобретению поверхность была обращена в противоположную сторону от термопластичного промежуточного слоя и защитного стекла.
Далее изобретение относится к применению предлагаемого изобретением оконного стекла с покрытием, отражающим тепловое излучение, в качестве окна или компонента окна, в частности в качестве компонента теплоизолирующего стеклопакета или композиционного оконного стекла, в зданиях, в частности в подъездах или в области окон, в качестве противопожарной двери, в качестве встроенной детали в мебели и приборах, в частности электронных приборах с функцией охлаждения или нагревания, например в качестве дверцы печи или холодильника, или в транспортных средствах, предназначенных для перемещения по земле, в воздухе или на воде, в частности в поездах, кораблях и автомобилях, например в качестве заднего стекла, бокового стекла и/или стекла в крыше.
Кроме того, изобретение относится также к применению затемняющего слоя согласно изобретению в отражающем тепловое излучение покрытии, соответственно в оконном стекле согласно изобретению с отражающим тепловое излучение покрытием, для снижения пропускания в видимом диапазоне спектра.
Далее изобретение подробнее поясняется на чертежах и примерах осуществления. Чертежи являются схематическими изображения и не соответствуют масштабу. Чертежи никоим образом не ограничивают изобретение. На чертежах показано:
фиг. 1 - сечение одного варианта осуществления, предлагаемого: изобретением оконного стекла с покрытием, отражающим тепловое излучение,
фиг. 2 - сечение другого варианта осуществления, предлагаемого изобретением оконного стекла с покрытием, отражающим тепловое излучение,
фиг. 3 - сечение следующего варианта осуществления предлагаемого изобретением оконного стекла с покрытием, отражающим тепловое излучение,
фиг. 4 - сечение следующего варианта осуществления предлагаемого изобретением оконного стекла с покрытием, отражающим тепловое излучение,
фиг. 5 - сечение композиционного оконного стекла, содержащего оконное стекло согласно изобретению,
фиг. 6 показывает подробную блок-схему одного варианта осуществления способа согласно изобретению.
Фиг. 1 показывает сечение одного примера осуществления оконного стекла согласно изобретению с подложкой 1 и отражающим тепловое излучение покрытием 2 (называемым также low-E покрытием). Подложка 1 содержит кальциево-натриевое стекло и имеет толщину 2,9 мм. Покрытие 2 содержит нижний диэлектрический слой 3, функциональный слой 4, затемняющий слой 10 и верхний функциональный слой 5. Слои расположены в указанном порядке в направлении от подложки 1.
Функциональный слой 4 состоит из оксида индия-олова (ITO) и имеет толщину примерно 100 нм. Нижний диэлектрический слой 3 и верхний диэлектрический слой 5 могут быть получены известным специалисту способом и могут состоять, например, из оксида кремния (SiO2) или нитрида кремния (Si3N4) и иметь толщину примерно 100 нм.
Затемняющий слой 10 состоит из нитрида титана (TiNx) и имеет толщину около 20 нм. Затемняющий слой 10 приводит к снижению пропускания покрытием 2 в видимом диапазоне спектра.
Альтернативно затемняющий слой 10 можно также разместить между нижним диэлектрическим слоем 3 и функциональным слоем 4 или между подложкой 1 и нижним диэлектрическим слоем 3. Альтернативно, покрытие 2 может иметь также несколько затемняющих слоев 10.
Благодаря затемняющему слою 10 светопропускание покрытия 2 снижается. Если подложка 1 является тонированной, то пропускание света еще больше снижается из-за покрытия 2. Поэтому можно получать очень темные стекла, например, с пропусканием в видимом диапазоне спектра менее 10%. Оконные стекла с таким низким пропусканием сложно получить только тонировкой подложки, так как стекла с такой сильной тонировкой промышленно обычно не выпускаются. В отличие от покрытия со снижающим пропускание функциональным слоем (например, на подложке никеля, хрома, циркония, тантала или ниобия) на прозрачной подложке, обусловленные производственными причинами дефекты покрытия 2 по изобретению на тонированной подложке 1 имеют меньшую контрастность. Поэтому дефекты слоя не так сильно раздражают наблюдателя. Это является большим преимуществом настоящего изобретения.
Фиг. 2 показывает сечение следующего варианта осуществления оконного стекла согласно изобретению с подложкой 1 и отражающим тепловое излучение покрытием 2. Подложка 1 выполнена, как и на фиг. 1. Покрытие 2 содержит нижний диэлектрический слой 3, затемняющий слой 10, функциональный слой 4, верхний функциональный слой 5 и противоотражательный слой 6. Слои находятся на подложке в указанном порядке в направлении от подложки 1.
Нижний диэлектрический слой 3 является адгезионным слоем из легированного алюминием диоксида кремния (SiO2:Al) и имеет толщину примерно 30 нм. Функциональный слой 4 состоит из оксида индия-олова (ITO) и имеет толщину примерно 120 нм. Верхний диэлектрический слой 5 является барьерным слоем для регулирования диффузии кислорода во время термообработки стекла. Барьерный слой 5 состоит из легированного алюминием нитрида кремния (Si3N4:Al) и имеет толщину примерно 10 нм. Противоотражательный слой 6 состоит из легированного алюминием диоксида кремния (SiO2:Al) и имеет толщину примерно 40 нм.
Затемняющий слой 10 между нижним диэлектрическим слоем 3 и функциональным слоем 4 состоит из нитрида титана (TiNx) и имеет толщину около 20 нм. Затемняющий слой 10 приводит к снижению пропускания покрытием 2 излучения в видимом диапазоне спектра.
Альтернативно, затемняющий слой 10 можно также нанести на другое место, например между функциональным слоем 4 и верхним диэлектрическим слоем 5, между верхним диэлектрическим слоем 5 и противоотражательным слоем 6 или между подложкой 1 и нижним диэлектрическим слоем 3. Альтернативно, покрытие 2 может содержать также несколько затемняющих слоев 10.
Фиг. 3 показывает сечение следующего варианта осуществления оконного стекла согласно изобретению с подложкой 1 и отражающим тепловое излучение покрытием 2. Покрытие 2 содержит, как и на фиг. 2, нижний диэлектрический слой 3 (адгезионный слой), функциональный слой 4, верхний диэлектрический слой 5 (барьерный слой) и противоотражательный слой 6. Слои 3, 4, 5 и 6 выполнены, как показано на фиг. 2. Кроме того, покрытие 2 выше противоотражательного слоя 6 содержит покровный слой 7. Покровный слой 7 содержит, например, Ta2O5 или TiO2 и имеет толщину 10 нм. Благодаря покровному слою покрытие 2 защищено от механических повреждений, в частности от царапин, что выгодно.
Кроме того, покрытие 2 содержит три затемняющих слоя 10. Первый затемняющий слой 10 находится между подложкой 1 и нижним диэлектрическим слоем 3. Второй затемняющий слой 10 находится между нижним диэлектрическим слоем 3 и функциональным слоем 4. Третий затемняющий слой 10 находится между функциональным слоем 4 и верхним диэлектрическим слоем 5. Затемняющие слои 10 состоят из TiNx и имеют толщину от 10 до 15 нм. С тремя затемняющими слоями 10 согласно изобрете
нию светопропускание снижается сильнее, чем при единственном затемняющем слое 10, без потери выгодных оптических свойств из-за слишком толстого единственного затемняющего слоя 10.
Фиг. 4 показывает сечение оконного стекла согласно изобретению с отражающим тепловое излучение покрытием 2. Стекло предназначается для применения в качестве бокового стекла автомобиля. Подложка 1 имеет толщину 3,15 мм. Подложка 1 состоит из тонированного кальциево-натриевого стекла и имеет пропускание примерно 14% в видимом диапазоне спектра. Оконное стекло подвергают термической закалке и гибке, как это принято в области автомобилестроения для боковых стекол.
Покрытие 2 наносят на внутреннюю поверхность подложки 1. Там выгодный эффект покрытия 2 на температурный комфорт в салоне автомобиля выражен особенно отчетливо. Покрытие 2 отражает часть попадающего через стекло солнечного излучения, в частности в ультракрасном диапазоне. Кроме того, благодаря низкому коэффициенту излучения покрытия 2 тепловое излучение, испущенное нагретым стеклом в направлении салона автомобиля, по меньшей мере, частично подавляется. В результате салон меньше нагревается летом. Зимой выходящее из салона тепловое излучение отражается. Поэтому холодное стекло не производит такого плохого впечатления как поглотитель тепла. Кроме того, можно снизить необходимую теплопроизводительность кондиционера, что ведет к существенной экономии энергии.
Покрытие 2 предпочтительно наносят на подложку 1 перед гибкой плоской подложки 1. Покрытие плоской подложки технически заметно проще, чем покрытие гнутой подложки. Затем подложку 1 типично нагревают до температуры 500-700°C, например до 640°C. С одной стороны, термообработка требуется, чтобы согнуть подложку 1. С другой стороны, в результате термообработки равномерно улучшается, частности, излучательная способность покрытия 2. Образованный в качестве барьерного слоя верхний диэлектрический слой 5 влияет на степень окисления функционального слоя 4 во время термообработки. Содержание кислорода в функциональном слое 4 после термообработки довольно низкое, поэтому покрытие 2 можно подвергать процессу гибки. Слишком высокое содержание кислорода привело бы к повреждению функционального слоя 4 при гибке. С другой стороны, содержание кислорода в функциональном слое 4 после термообработки достаточно высоко, чтобы иметь низкий коэффициент излучения.
Покрытие 2 выполнено, как показано на фиг. 2. Благодаря затемняющему слою 10 светопропускание через стекло еще больше снижается. В результате стекло с покрытием 2 имеет пропускание в видимом диапазоне спектра менее 10%. Такие темные (задние) боковые стекла могут быть желательны с точки зрения температурного комфорта и/или из эстетических соображений. Затемняющий слой 10 согласно изобретению благодаря его стойкости к коррозии и окислению способен без повреждений выдержать термообработку и процесс гибки.
Фиг. 5 показывает сечение предлагаемого изобретением оконного стекла с отражающим тепловое излучение покрытием 2 как части композиционного оконного стекла. Подложка 1 через термопластичный промежуточный слой 9 соединена с защитным стеклом 8. Композиционное оконное стекло предназначено для стекла в крыше автомобиля. Композиционные оконные стекла гнут, как это принято для оконных стекол в области автомобилей. В установленном состоянии композиционного оконного стекла защитное стекло 8 обращено наружу, а подложка 1 обращена к салону. Внутренняя подложки 1, которая обращена в противоположную сторону от защитного стекла 8 и термопластичного промежуточного слоя 9, снабжена покрытием 2 согласно изобретению. Подложка 1 и защитное стекло 8 состоят из кальциево-натриевого стекла и имеют толщину 2,1 мм каждый. Термопластичный промежуточный слой 9 содержит поливинилбутираль (PVB) и имеет толщину 0,76 мм.
Подложка 1, защитное стекло 8 и термопластичный промежуточный слой 9 являются тонированными. Благодаря покрытию 2 светопропускание дополнительно снижается. Тем самым можно получать очень темные композиционные оконные стекла.
Фиг. 6 показывает блок-схему одного примера осуществления предлагаемого изобретением способа получения оконного стекла с отражающим тепловое излучение покрытием 2.
Примеры
Были приготовлены оконные стекла с отражающим тепловое излучение покрытием 2. Точные последовательности используемых слоев и толщины слоев для примеров 1-8 представлены в табл. 2 и 3. Подложка 1 состояла из тонированного кальциево-натриевого стекла и имела пропускание в видимом диапазоне спектра 25%. Затемняющие слои 10 содержали нитрид титана. Нитрид титана имеет (в расчете на твердое вещество) температуру плавления 2950°C и удельное электрическое сопротивление 20 мкОм-см. Примеры отличаются числом, толщиной, а также положением затемняющих слоев 10.
Во всех примерах подложка 1 сначала была плоской, методом катодного распыления на нее осаждали покрытие 2 по изобретению. Затем подложку 1 с покрытием 2 подвергали термообработке в течение 10 мин при 640°C, затем гнули и придавали ей радиус кривизны примерно 30 см.
Результаты анализа тестируемых стекол приведены в табл. 6. При этом R квадрат означает удельное поверхностное сопротивление покрытия 2. Параметр TL означает пропускание стеклом видимого света. Параметр RL означает коэффициент отражения стеклом видимого света. Параметр AL означает коэффициент поглощения стеклом видимого света. На оптическое состояние покрытия влияют, в частности, мутность ("Haze"), a также трещины.
Благодаря покрытиям 2 согласно изобретению с затемняющим слоем 10 пропускание через стекло еще больше снижается. Термообработка при гибке стекол ведет к снижению удельного поверхностного сопротивления и, тем самым, к уменьшению излучательной способности. При этом затемняющий слой 10 не окисляется, что могло бы привести к заметному повышению пропускания TL. Процесс гибки также не повреждает покрытия, что во всех случаях хорошо для оптического состояния слоя.
Сравнительные примеры.
Сравнительные примеры отличаются от примеров согласно изобретению отражающим тепловое излучение покрытием 2. Как и в примерах по изобретению, покрытия содержат нижний диэлектрический слой 3, функциональный слой 4, верхний диэлектрический слой 5 и противоотражательный слой 6. Однако покрытия не содержат затемняющего слоя 10 согласно изобретению. Вместо этого каждое покрытие содержит два слоя из материала, который не отвечает требованиям согласно изобретению к затемняющему слою (см. табл. 5, в которой указаны соответствующие температуры плавления Ts и удельная электропроводность р).
Точные последовательности слоев с используемыми материалами и толщины слоев для сравнительных примеров 1-3 указаны в табл. 4. Результаты анализа тестируемых стекол приведены в табл. 6.
Кроме того, из табл. 6 видно, в частности, что на пропускание можно влиять через толщину затемняющего слоя 10. Отсюда получаются предпочтительные диапазоны толщин затемняющего слоя 10.
Благодаря затемняющему слою 10 согласно изобретению достигается снижение светопропускания отражающим теплового излучение покрытием. При этом затемняющие слои 10 являются достаточно стойкими к коррозии и окислению, чтобы без повреждений выдержать температурную обработку и процесс гибки. Этот результат был для специалиста неожиданным и удивительным.
Список позиций для ссылок:
(1) подложка;
(2) покрытие, отражающее тепловое излучение;
(3) нижний диэлектрический слой;
(4) функциональный слой;
(5) верхний диэлектрический слой;
(6) противоотражательный слой;
(7) покровный слой;
(8) защитное стекло;
(9) термопластичный промежуточный слой;
(10) затемняющий слой.
ФОРМУЛА ИЗОБРЕТЕНИЯ
1. Оконное стекло с покрытием, отражающим тепловое излучение, содержащее подложку (1) и по меньшей мере одно отражающее тепловое излучение покрытие (2) по меньшей мере на одной из сторон подложки (1), причем покрытие (2) содержит в направлении от подложки (1), по меньшей мере,
нижний диэлектрический слой (3),
функциональный слой (4), содержащий по меньшей мере один прозрачный электропроводящий оксид, и
верхний диэлектрический слой (5),
причем по меньшей мере один затемняющий слой (10) находится под нижним диэлектрическим слоем (3), между нижним диэлектрическим слоем (3) и функциональным слоем (4), между функциональным слоем (4) и верхним диэлектрическим слоем (5) и/или над верхним диэлектрическим слоем (5),
и причем затемняющий слой (10) содержит по меньшей мере один металл, нитрид металла и/или карбид металла с температурой плавления выше 1900°C и удельным электрическим сопротивлением менее 500 мкОм-см,
и причем толщина затемняющего слоя (10) составляет от 2 до 50 нм.
2. Оконное стекло по п.1, предназначенное для отделения внутреннего помещения от внешней среды, причем покрытие (2) нанесено на обращенную внутрь помещения сторону подложки (1).
3. Оконное стекло по п.1 или 2, которое имеет пропускание в видимом диапазоне спектра менее 25%, предпочтительно менее 15%, особенно предпочтительно менее 10%, в высшей степени предпочтительно менее 8%, в частности менее 6%.
4. Оконное стекло по одному из пп.1-3, причем подложка (1) имеет пропускание в видимом диапазоне спектра менее 15%, а оконное стекло с отражающим тепловое излучение покрытием (2) имеет пропускание менее 10%, и причем подложка (1) предпочтительно имеет пропускание в видимом диапазоне спектра менее 10%, и оконное стекло с отражающим тепловое излучение покрытием (2) имеет светопро-пускание менее 7%, в частности менее 6%.
5. Оконное стекло по одному из пп.1-4, причем толщина затемняющего слоя (10) составляет от 5 до 40 нм.
6. Оконное стекло по одному из пп.1-5, причем металл, нитрид металла или карбид металла затемняющего слоя (10) выбран из групп IVB, VB и VIB Периодической системы элементов.
7. Оконное стекло по одному из пп.1-6, причем температура плавления металла, нитрида металла и/или карбида металла выше 2200°C, предпочтительно выше 2500°C, и причем удельное электрическое сопротивление металла, нитрида металла и/или карбида металла составляет менее 200 мкОм-см.
8. Оконное стекло по одному из пп.1-7, причем функциональный слой (4) содержит, по меньшей мере, легированный фтором оксид олова, легированный сурьмой оксид олова и/или оксид индия-олова и имеет толщину от 40 до 200 нм, предпочтительно от 90 до 150 нм.
9. Оконное стекло по одному из пп.1-8, причем верхний диэлектрический слой (5) содержит материал с показателем преломления от 1,7 до 2,3, предпочтительно по меньшей мере один оксид и/или нитрид, особенно предпочтительно нитрид кремния и в высшей степени предпочтительно легированный алюминием нитрид кремния, легированный цирконием нитрид кремния или легированный бором нитрид кремния, и имеет толщину от 5 до 50 нм.
10. Оконное стекло по одному из пп.1-9, причем нижний диэлектрический слой (3) содержит по меньшей мере один оксид или нитрид, предпочтительно оксид кремния или нитрид кремния, особенно предпочтительно легированный алюминием диоксид кремния, легированный цирконием диоксид кремния или легированный бором диоксид кремния, и имеет толщину от 10 до 150 нм, предпочтительно от 15 до 50 нм.
11. Оконное стекло по одному из пп.1-10, причем выше верхнего диэлектрического слоя (5) находится противоотражательный слой (6), который предпочтительно содержит по меньшей мере один оксид, особенно предпочтительно оксид с показателем преломления меньше или равным 1,8, в высшей степени предпочтительно диоксид кремния, в частности легированный алюминием диоксид кремния, легированный цирконием диоксид кремния или легированный бором диоксид кремния, и который имеет толщину от 20 до 150 нм, предпочтительно от 40 до 100 нм.
12. Оконное стекло по одному из пп.1-11, причем покрытие (2) в качестве наружного слоя содержит покровный слой (7), который содержит по меньшей мере один оксид, предпочтительно, по меньшей мере, TiO2, ZrO2, HfO2, Nb2O5, Ta2O5, Cr2O3, WO3 и/или CeO2 и который предпочтительно имеет толщину от 2 до 50 нм.
13. Оконное стекло по одному из пп.1-12, причем подложка (1) по меньшей мере через один термопластичный промежуточный слой (9) соединена с защитным стеклом (8) с образованием многослойного оконного стекла и причем покрытие (2) нанесено на обращенную от защитного стекла (8) сторону подложки (1).
14. Способ получения оконного стекла с покрытием, отражающим тепловое излучение (2), причем
на подложку (1) последовательно наносят, по меньшей мере:
(a) нижний диэлектрический слой (3),
(b) функциональный слой (4), который содержит по меньшей мере один прозрачный электропроводящий оксид, и
(c) верхний диэлектрический слой (5),
причем дополнительно перед технологическим этапом (а), между технологическими этапами (а) и (b), между технологическими этапами (b) и (с) и/или после технологического этапа (с) наносят по меньшей мере один затемняющий слой (10), который содержит по меньшей мере один металл, нитрид металла и/или карбид металла с температурой плавления выше 1900°C и удельным электрическим сопротивлением менее 500 мкОм-см и толщина которого составляет от 2 до 50 нм.
15. Способ по п.14, причем подложку (1) с покрытием (2) нагревают до температуры по меньшей мере 200°C.
Нанесение нижнего диэлектрического слоя (3) на поверхность подложки (1) путем катодного распыления
Нанесение функционального слоя (4) выше нижнего диэлектрического слоя (3) путем катодного распыления
Нанесение затемняющего слоя (10) выше функционального слоя (4) путем катодного распыления
Нанесение верхнего диэлектрического слоя (5) выше затемняющего слоя (10) путем катодного распыления
Нагревание подложки (1) до температуры по меньшей мере 200°С
Фиг. 6
Евразийская патентная организация, ЕАПВ Россия, 109012, Москва, Малый Черкасский пер., 2
028403
- 1 -
(19)
028403
- 1 -
(19)
028403
- 1 -
(19)
028403
- 4 -
028403
- 16 -
|
