EA201892161A1 20190430 Номер и дата охранного документа [PDF] EAPO2019\PDF/201892161 Полный текст описания [**] EA201892161 20170313 Регистрационный номер и дата заявки EP16164906.6 20160412 Регистрационные номера и даты приоритетных заявок EP2017/055853 Номер международной заявки (PCT) WO2017/178170 20171019 Номер публикации международной заявки (PCT) EAA1 Код вида документа [PDF] eaa21904 Номер бюллетеня [**] ПРОТИВООТРАЖАЮЩАЯ СТЕКЛЯННАЯ ПОДЛОЖКА НЕЙТРАЛЬНОГО ЦВЕТА И СПОСОБ ЕЕ ИЗГОТОВЛЕНИЯ Название документа [8] C03C 23/00 Индексы МПК [BE] Наве Бенжамин, [BE] Буланже Пьер, [FR] Бусардо Денис Сведения об авторах [BE] АГК ГЛАСС ЮРОП СА, [US] АГК ГЛАСС КОМПАНИ НОРС АМЕРИКА, [JP] АГК ИНК., [FR] КВЕРТЕК ИНЖЕНЬЕРИ Сведения о заявителях
 

Патентная документация ЕАПВ

 
Запрос:  ea201892161a*\id

больше ...

Термины запроса в документе

Реферат

[RU]

Настоящее изобретение касается способа изготовления противоотражающих стеклянных подложек нейтрального цвета с помощью ионной имплантации, предусматривающего ионизацию исходного газа, представляющего собой N 2 , с образованием таким образом смеси однозарядных и многозарядных ионов N, образование пучка однозарядных и многозарядных ионов N путем ускорения с помощью ускоряющего напряжения A, составляющего от 20 до 25 кВ, и установку ионной дозы до значения, составляющего от 6 ×10 16 ионов/см 2 до -5,00 ×10 15 ×А/кВ + 2,00 ×10 17 ионов/см 2 . Настоящее изобретение дополнительно касается противоотражающих стеклянных подложек нейтрального цвета, содержащих участок, обработанный посредством ионной имплантации с помощью смеси однозарядных и многозарядных ионов согласно данному способу.


Полный текст патента

(57) Реферат / Формула:

Настоящее изобретение касается способа изготовления противоотражающих стеклянных подложек нейтрального цвета с помощью ионной имплантации, предусматривающего ионизацию исходного газа, представляющего собой N 2 , с образованием таким образом смеси однозарядных и многозарядных ионов N, образование пучка однозарядных и многозарядных ионов N путем ускорения с помощью ускоряющего напряжения A, составляющего от 20 до 25 кВ, и установку ионной дозы до значения, составляющего от 6 ×10 16 ионов/см 2 до -5,00 ×10 15 ×А/кВ + 2,00 ×10 17 ионов/см 2 . Настоящее изобретение дополнительно касается противоотражающих стеклянных подложек нейтрального цвета, содержащих участок, обработанный посредством ионной имплантации с помощью смеси однозарядных и многозарядных ионов согласно данному способу.


Евразийское (21) 201892161 (13) A1
патентное
ведомство
(12) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К ЕВРАЗИЙСКОЙ ЗАЯВКЕ
(43) Дата публикации заявки 2019.04.30
(22) Дата подачи заявки 2017.03.13
(51) Int. Cl. C03C23/00 (2006.01)
(54) ПРОТИВООТРАЖАЮЩАЯ СТЕКЛЯННАЯ ПОДЛОЖКА НЕЙТРАЛЬНОГО ЦВЕТА И СПОСОБ ЕЕ ИЗГОТОВЛЕНИЯ
(31) 16164906.6
(32) 2016.04.12
(33) EP
(86) PCT/EP2017/055853
(87) WO 2017/178170 2017.10.19
(71) Заявитель:
АГК ГЛАСС ЮРОП СА (BE); АГК ГЛАСС КОМПАНИ НОРС АМЕРИКА (US); АГК ИНК. (JP); КВЕРТЕК ИНЖЕНЬЕРИ (FR)
(72) Изобретатель:
Наве Бенжамин, Буланже Пьер (BE), Бусардо Денис (FR)
(74) Представитель:
Квашнин В.П. (RU)
(57) Настоящее изобретение касается способа изготовления противоотражающих стеклянных подложек нейтрального цвета с помощью ионной имплантации, предусматривающего ионизацию исходного газа, представляющего собой N2, с образованием таким образом смеси однозарядных и многозарядных ионов N, образование пучка однозарядных и многозарядных ионов N путем ускорения с помощью ускоряющего напряжения A, составляющего от 20 до 25 кВ, и установку ионной дозы до значения, составляющего от 6> <1016 ионов/см2 до -5,00х1015хА/кВ + 2,00> 1017 ионов/см2. Настоящее изобретение дополнительно касается противо-отражающих стеклянных подложек нейтрального цвета, содержащих участок, обработанный посредством ионной имплантации с помощью смеси однозарядных и многозарядных ионов согласно данному способу.
Противоотражающая стеклянная подложка нейтрального цвета и способ ее
изготовления
Настоящее изобретение относится к противоотражающей стеклянной подложке 5 нейтрального цвета и к способу ее изготовления. Оно также относится к применению противоотражающей стеклянной подложки нейтрального цвета, в частности в качестве элемента остекления.
Большинство противоотражающих стеклянных подложек получают путем нанесения покрытий на стеклянную поверхность. Уменьшение коэффициента
10 отражения света достигается за счет отдельных слоев, характеризующихся показателями преломления, которые ниже показателя преломления стеклянной подложки или которые характеризуются градиентом показателя преломления. Высокоэффективные противоотражающие стеклянные подложки получают с помощью наборов из нескольких слоев, в которых задействовано применение эффектов
15 интерференции для того, чтобы достичь существенного уменьшения коэффициента отражения света во всей видимой области спектра. Такие наборы из высокоэффективных противоотражающих слоев, наносимых на обе стороны подложки, способны уменьшать коэффициент отражения света стандартной стеклянной подложки от приблизительно 8% до 4% или еще меньше. Однако для них требуется множество
20 стадий нанесения слоев при высокой степени контроля состава и толщины слоя, что тем самым делает процесс сложным и дорогостоящим. Кроме того, отдельные противоотражающие слои нейтрального цвета и, в частности, наборы из нескольких слоев, в которых нанесение обычно осуществляют с помощью физического осаждения из паровой фазы, являются более чувствительными к механическому и/или
25 химическому воздействию, чем собственно стекло. В противоотражающих слоях отдельные слои зачастую проявляют цвета в отраженном свете, которые не являются нейтральными, и при этом многослойные противоотражающие покрытия нейтрального цвета требуют даже большего количества слоев, что делает получаемый в результате набор слоев еще более чувствительным.
30 Другая противоотражающая стеклянная подложка была раскрыта в FR1300336.
В этом документе противоотражающий эффект был получен путем имплантации
тяжелых ионов инертных газов при концентрации 10 атомных % на глубину не более 100 нм или 200 нм в поверхность стеклянной подложки. Однако инертные газы являются относительно дорогостоящими, а необходимость достижения таких высоких концентраций имплантируемых ионов инертного газа в стеклянной подложке повышает 5 риск нанесения серьезного повреждения структуре стекла. Кроме того, данные стеклянные субстраты не имеют нейтральный цвет в отраженном свете.
Таким образом, в данной области существует необходимость в обеспечении простого недорогого способа получения противоотражающей стеклянной подложки нейтрального цвета.
10 Согласно одному из его аспектов целью настоящего изобретения является
обеспечение способа получения противоотражающей стеклянной подложки нейтрального цвета.
Согласно еще одному из его аспектов целью настоящего изобретения является
обеспечение противоотражающей стеклянной подложки нейтрального цвета.
15 Настоящее изобретение относится к способу получения противоотражающей
стеклянной подложки нейтрального цвета, предусматривающему следующие технологические операции:
• обеспечение исходного газа, представляющего собой N2,
• ионизацию исходного газа, представляющего собой N2, с образованием 20 таким образом смеси однозарядных ионов и многозарядных ионов N,
• ускорение смеси однозарядных ионов и многозарядных ионов N с помощью ускоряющего напряжения с образованием таким образом пучка однозарядных ионов и многозарядных ионов N, при этом ускоряющее напряжение А составляет от 20 кВ до 25 кВ, и доза D составляет от 6х1016 ионов/см2 до -
25 5,00 х 1015 х А/кВ + 2,00 х 1017 ионов/см2,
• обеспечение стеклянной подложки,
• размещение стеклянной подложки на траектории пучка однозарядных и многозарядных ионов N.
Авторы настоящего изобретения неожиданно выявили, что способ по 30 настоящему изобретению, обеспечивающий пучок ионов, содержащий смесь однозарядных и многозарядных ионов N, ускоренных с помощью одного и того же
конкретного ускоряющего напряжения и при указанной конкретной дозе, который применяют в отношении стеклянной подложки, приводит к уменьшенному коэффициенту отражения. Преимущественно коэффициент отражения полученной в результате стеклянной подложки снижается от приблизительно 8% до не более 6,5%, 5 предпочтительно до не более 6%, более предпочтительно до не более 5,5%. Самое удивительное то, что данный низкий уровень коэффициента отражения достигнут, тогда как концентрация имплантированного N составляет менее 2 атомных % на всю глубину имплантации, и, кроме того, цвет в отраженном свете, выражаемый с помощью цветовых координат а* и Ь* на отражение, является нейтральным, то есть -1 <а* < 1 и-
10 1 < b* < 1, или даже очень нейтральным, то есть -0,3 < а* < 0,3 и -0,3 < Ь* < 0,3.
Согласно настоящему изобретению исходный газ, представляющий собой N2, ионизируют с образованием таким образом смеси однозарядных ионов и многозарядных ионов N. Пучок ускоренных однозарядных ионов и многозарядных ионов может содержать разные количества различных ионов N. Предпочтительно пучок
15 ускоренных однозарядных и многозарядных ионов содержит N+, N2+ и N3+.
Примеры значений силы тока для соответствующих ионов показаны в таблице 1 ниже (измерены в миллиамперах).
20 Согласно настоящему изобретению главными параметрами ионной имплантации
являются ускоряющее ионы напряжение и ионная доза.
Размещение стеклянной подложки на траектории пучка однозарядных и многозарядных ионов выбрано с получением таким образом определенного количества ионов на площадь поверхности или ионную дозу. Ионная доза или просто доза
25 выражается в виде количества ионов на квадратный сантиметр. Для цели настоящего изобретения ионная доза представляет собой общую дозу однозарядных ионов и многозарядных ионов. Пучок ионов предпочтительно обеспечивает непрерывный поток
одно- и многозарядных ионов. Ионная доза контролируется посредством осуществления контроля времени продолжительности воздействия пучка ионов на подложку. Согласно настоящему изобретению многозарядные ионы представляют собой ионы, несущие более одного положительного заряда. Однозарядные ионы 5 представляют собой ионы, несущие один положительный заряд.
В одном варианте осуществления настоящего изобретения размещение предусматривает перемещение стеклянной подложки и пучка для ионной имплантации относительно друг друга с постепенной обработкой таким образом определенного участка поверхности стеклянной подложки. Предпочтительно их перемещают
10 относительно друг друга со скоростью, составляющей от 0,1 мм/с до 1000 мм/с. Скорость перемещения стекла относительно пучка для ионной имплантации выбрана соответствующим образом так, чтобы контролировать время пребывания образца в пучке, что влияет на ионную дозу для подлежащего обработке участка.
Способ по настоящему изобретению может быть легко увеличен в масштабе с
15 тем, чтобы обрабатывать крупные подложки с площадью более 1 м2, например, путем непрерывного движения по поверхности подложки пучка ионов по настоящему изобретению или, например, за счет формирования массива из множества источников ионов, который обрабатывает перемещающуюся подложку по всей ее площади за один проход или несколько проходов.
20 Авторы настоящего изобретения выявили, что источники ионов,
обеспечиваемые пучком ионов, содержащим смесь однозарядных и многозарядных ионов, ускоряемых одним и тем же ускоряющим напряжением, являются особенно пригодными, поскольку они могут обеспечивать более низкие дозы многозарядных ионов, нежели однозарядных ионов. Очевидно, что противоотражающая стеклянная
25 подложка нейтрального цвета может быть получена с помощью смеси однозарядных ионов с более высокой дозой и более низкой энергией имплантации и многозарядных ионов с более низкой дозой и более высокой энергией имплантации, обеспечиваемых в таком пучке. Энергия имплантации, выражаемая в электрон-вольтах (эВ), рассчитывается путем умножения заряда однозарядного иона или многозарядного иона
30 на ускоряющее напряжение.
В предпочтительном варианте осуществления настоящего изобретения температура участка обрабатываемой стеклянной подложки, расположенного под
обрабатываемым участком, меньше температуры стеклования стеклянной подложки или равна ей. Например, данная температура зависит от ионного тока в пучке, от времени пребывания обрабатываемого участка в пучке и от любых средств для охлаждения подложки.
5 В одном варианте осуществления настоящего изобретения для обработки
стеклянной подложки используют одновременно или последовательно несколько пучков для ионной имплантации.
В одном варианте осуществления настоящего изобретения общую дозу ионов на единицу площади поверхности стеклянной подложки получают путем однократной 10 обработки пучком для ионной имплантации.
В другом варианте осуществления настоящего изобретения общую дозу ионов на единицу площади поверхности стеклянной подложки получают путем нескольких последовательных обработок одним или несколькими пучками для ионной имплантации.
15 В предпочтительном варианте осуществления стеклянную подложку
обрабатывают на обеих ее гранях с помощью способа согласно настоящему изобретению с тем, чтобы усилить до максимума слабый эффект отражения.
Способ по настоящему изобретению предпочтительно осуществляют в вакуумной камере при давлении, составляющем от 10"2 мбар до 10"7 мбар, более
20 предпочтительно при давлении, составляющем от 10"5 мбар до 10"6 мбар.
Примером источника ионов для осуществления способа по настоящему изобретению является источник ионов Hardion+ RCE от Quertech Ingenierie S.A.
Коэффициент отражения измеряют на стороне подложки, обработанной с помощью способа ионной имплантации по настоящему изобретению, используя
25 источник света D65 и угол наблюдения 2°. Цвет в отраженном свете выражается с помощью СГЕЬАВ цветовых координат а* и Ь* с использованием источника света D65 и угла наблюдения 10°, и его измеряют на стороне подложки, обработанной согласно способу по настоящему изобретению. СГЕ L*a*b* или СГЕЬАВ представляет собой цветовое пространство, заданное Международной комиссией по освещению.
30 Настоящее изобретение также касается применения смеси однозарядных и
многозарядных ионов N для уменьшения коэффициента отражения стеклянной подложки и в то же время сохранения нейтрального цвета на отражение, при этом
смесь однозарядных и многозарядных ионов подлежит имплантации в стеклянную
подложку при ионной дозе и ускоряющем напряжении, которые являются
эффективными для уменьшения коэффициента отражения стеклянной подложки и в то
же время сохранения нейтрального цвета на отражение.
5 Преимущественно смесь одно- и многозарядных ионов N подлежит
имплантации в стеклянную подложку при ионной дозе и ускоряющем напряжении, которые являются эффективными для уменьшения коэффициента отражения стеклянной подложки до не более 6,5%, предпочтительно до не более 6%, более предпочтительно до не более 5,5%. При этом цвет на отражение сохраняется 10 нейтральным, то есть -1 < а* < 1 и -1 < b* < 1.
Коэффициент отражения стеклянной подложки до обработки составляет приблизительно 8%.
Более преимущественно смесь одно- и многозарядных ионов N используют для уменьшения коэффициента отражения стеклянной подложки до не более 6,5%, 15 предпочтительно до не более 6%, более предпочтительно до не более 5,5%. При этом цвет на отражение сохраняется очень нейтральным, то есть -0,3 < а* < 0,3 и -0,3 < Ь* < 0,3.
Согласно настоящему изобретению смесь однозарядных и многозарядных ионов
N предпочтительно содержит N+, N2+ и N3+.
20 Согласно настоящему изобретение ускоряющее напряжение и ионная доза,
которые являются эффективными для уменьшения коэффициента отражения стеклянной подложки и в то же время сохранения нейтрального цвета на отражение, предпочтительно находятся в следующих диапазонах.
Настоящее изобретение также касается стеклянной подложки, подвергнутой
ионной имплантации, характеризующейся уменьшенным коэффициентом отражения,
где смесь однозарядных и многозарядных ионов N была имплантирована согласно
способу по настоящему изобретению.
5 Преимущественно стеклянные подложки, подвергнутые ионной имплантации,
по настоящему изобретению характеризуются коэффициентом отражения, составляющим не более 6,5%, предпочтительно не более 6%, более предпочтительно не более 5,5%. Они также имеют нейтральный цвет на отражение, то есть -1 < а* < 1 и -1 < b* < 1, предпочтительно -0,3 < а* < 0,3 и -0,3 < Ь* < 0,3.
10 В предпочтительном варианте осуществления настоящего изобретения ионы,
имплантированные в стеклянные подложки по настоящему изобретению, представляют собой однозарядные и многозарядные ионы N.
Согласно другому предпочтительному варианту осуществления настоящего изобретения смесь однозарядных и многозарядных ионов N содержит меньшее
15 количество N3+, чем каждого из N+ и N2+. В более предпочтительном варианте осуществления настоящего изобретения смесь однозарядных и многозарядных ионов N содержит 40-70% N+, 20-40% N2+ и 2-20% N3+.
Преимущественно глубина имплантации ионов может составлять от 0,1 мкм до 1 мкм, предпочтительно от 0,1 мкм до 0,5 мкм.
20 Используемая в настоящем изобретении стеклянная подложка обычно
представляет собой подобную листу стеклянную подложку, имеющую две противоположные основные поверхности. Ионная имплантация по настоящему изобретению может быть осуществлена на одной или обеих данных поверхностях. Ионная имплантация по настоящему изобретению может быть осуществлена на части
25 поверхности или на всей поверхности стеклянной подложки.
В другом варианте осуществления настоящее изобретение также касается элементов остекления, включающих противоотражающие стеклянные подложки по настоящему изобретению, независимо от того, являются ли они монолитными, слоистыми или многослойными с промежуточными газовыми слоями.
30 Данные элементы остекления могут быть использованы в качестве элементов
остекления, расположенных как снаружи, так и внутри здания, и в качестве защитного стекла для объектов, таких как панели, витрины, стеклянная мебель, как, например,
прилавок, охлаждаемый прилавок-витрина и т. д., а также в качестве элементов остекления для автомобиля, таких как многослойные ветровые стекла, зеркала, антибликовые экраны для компьютеров, мониторов и декоративного стекла.
Элемент остекления, включающий противоотражающую стеклянную подложку 5 согласно настоящему изобретению, может обладать интересными дополнительными свойствами. Таким образом, он может представлять собой элемент остекления, обладающий защитной функцией, как, например, слоистые элементы остекления. Также он может представлять собой элемент остекления, обладающий функцией защиты от проникновения, защиты от звука, защиты от огня, или он может обладать
10 антибактериальной функцией.
Также элемент остекления может быть выбран таким образом, что подложка, обработанная на одной из ее граней с помощью способа согласно настоящему изобретению, содержит набор слоев, нанесенный на другую из ее граней. Набор из слоев может обладать конкретной функцией, например, защитой от солнца или
15 поглощением тепла, или также обладать защитой от ультрафиолетового излучения, антистатическим (как, например, слабопроводимый, легированный оксидом металла слой) и энергосберегающим свойствами, как, например, слои на основе серебра или слои легированные оксидом олова. Он также может представлять собой слой, обладающий свойствами в отношении защиты от загрязнения, как, например, слой на
20 основе тонкодисперсного ТЮг, или гидрофобный органический слой с водоотталкивающей функцией, или гидрофильный слой с противоконденсационной функцией.
Набор слоев может представлять собой покрытие, содержащее серебро, обладающее функцией зеркального отражения, причем возможны все конфигурации.
25 Таким образом, в случае монолитного элемента остекления с функцией зеркального отражения интерес представляет размещение противоотражающей стеклянной подложки по настоящему изобретению с обработанной гранью в качестве грани 1 (т. е. на стороне, обращенной к наблюдателю) и серебряным покрытием на грани 2 (т. е. на стороне, которой зеркало прикрепляют к стене), причем за счет противоотражающего
30 набора согласно настоящему изобретению таким образом обеспечивается предотвращение разделения отраженного изображения.
В случае двойного элемента остекления (где, как принято, грани стеклянных подложек пронумерованы, начиная с самой наружной грани) таким образом можно применять противоотражающую обработанную грань в качестве грани 1, а другие функциональные слои на грани 2 для защиты от ультрафиолетового излучения или 5 защиты от солнца и 3 в качестве энергосберегающих слоев. При двойном элементе остекления таким образом также возможно наличие по меньшей мере одной противоотражающей грани в качестве одной из граней подложек и по меньшей мере одного слоя или набора слоев, обеспечивающих дополнительную функциональность. Двойной элемент остекления также может иметь несколько противоотражающих
10 обработанных граней, в частности, по меньшей мере на гранях 2, 3 или 4. В случае монолитного элемента остекления 1 возможно нанесение слоя с антистатической функцией на слой, связанный с противоотражающей гранью.
Подложку также можно подвергнуть поверхностной обработке, в частности травлению кислотой (матированию), причем обработку путем ионной имплантации
15 можно проводить на протравленной грани или на противоположной грани.
Подложка или одно из тех, которые с ней связаны, также могут представлять собой декоративное стекло, подвергнутое печати или которое может быть подвергнуто трафаретной печати.
Особенно примечательным элементом остекления, включающим
20 противоотражающую стеклянную подложку согласно настоящему изобретению, является элемент остекления со слоистой структурой с двумя стеклянными подложками, содержащими лист в сборе полимерного типа, между противоотражающей стеклянной подложкой по настоящему изобретению с поверхностью, обработанной путем ионной имплантации, обращенной в
25 противоположную сторону от полимерного листа в сборе, и другой стеклянной подложкой. Полимерный лист в сборе может состоять из поливинилбутирального (PVB) типа, поливинилацетатного (EVA) типа или полициклогексанового (СОР) типа. Предпочтительно другая стеклянная подложка представляет собой противоотражающую стеклянную подложку согласно настоящему изобретению.
30 Данная конфигурация, в частности, с двумя термически обработанными
подложками, которые изогнуты и/или закалены, обеспечивает возможность получения элемента остекления для автомобиля, в частности, ветрового стекла с очень
преимущественными характеристиками. Согласно стандартам требуется, чтобы автомобили были оснащены ветровыми стеклами с высоким коэффициентом пропускания света, составляющим по меньшей мере 75% при нормальном падении света. Благодаря включению термически обработанной противоотражающей 5 стеклянной подложки в слоистую структуру обычного ветрового стекла, коэффициент пропускания света элемента остекления особенно улучшается, так что его передача энергии может быть незначительно снижена за счет других средств, оставаясь при этом в пределах стандартов коэффициента пропускания света. Таким образом, солнцезащитный эффект ветрового стекла может быть улучшен, например, путем 10 абсорбции стеклянными подложками. Значение коэффициента отражения света для стандартного слоистого ветрового стекла может быть доведено от 8% до менее 5%.
Стеклянная подложка согласно настоящему изобретению может представлять собой лист стекла любой толщины, характеризующийся следующими диапазонами компонентов состава, выраженными в процентах по весу от общего веса стекла.
Si02
35-85%,
А1203
0-30%,
Р2О5
0-20%
В203
0-20%,
Na20
0-25%,
СаО
0-20%,
MgO
0-20%,
К20
0-20% и
ВаО
0-20%.
25 Стеклянная подложка согласно настоящему изобретению предпочтительно
представляет собой лист стекла, выбранный из листа известково-натриевого стекла, листа боросиликатного стекла или листа алюмосиликатного стекла. В особенно предпочтительном варианте осуществления лист стекла представляет собой прозрачный лист стекла.
30 Стеклянная подложка согласно настоящему изобретению предпочтительно не
имеет покрытия на стороне, подвергаемой ионной имплантации.
Стеклянная подложка согласно настоящему изобретению может представлять
собой большой лист стекла, который будет обрезан до его конечно размера после
обработки путем ионной имплантации, или может представлять собой лист стекла, уже
обрезанный до его конечного размера.
5 Преимущественно стеклянная подложка по настоящему изобретению может
представлять собой подложку из флоат-стекла. Способ ионной имплантации по настоящему изобретению может быть осуществлен на стороне со стороны воздуха подложки из флоат-стекла и/или на покрытой оловом стороне подложки из флоат-стекла. Предпочтительно способ ионной имплантации по настоящему изобретению 10 осуществляют на стороне со стороны воздуха подложки из флоат-стекла.
В одном варианте осуществления по настоящему изобретению стеклянная подложка может представлять собой предварительно химически упрочненную стеклянную подложку.
Оптические свойства измеряли с использованием спектрофотометра Hunterlab 15 Ultrascan Pro.
Подробное описание конкретных вариантов осуществления
Примеры осуществления ионной имплантации получали в соответствии с различными параметрами, подробно описанными в таблицах ниже, с использованием источника ионов RCE для генерации пучка однозарядных и многозарядных ионов. 20 Используемый источник ионов представлял собой источник ионов Hardion+ RCE от Quertech Ingenierie S.A.
Все образцы имели размер 10x10 см2, и их обрабатывали по всей поверхности путем перемещения стеклянной подложки через ионный пучок со скоростью от 20 до 30 мм/с.
25 Температуру участка обрабатываемой стеклянной подложки поддерживали при
температуре, меньше температуры стеклования стеклянной подложки или равной ей.
Для всех примеров имплантацию проводили в вакуумной камере при давлении 10"6 мбар.
Ионы N имплантировали в 4 мм подложки на основе стандартного прозрачного 30 известково-натриевого стекла и алюмосиликатного стекла. До проведения имплантации с помощью способа ионной имплантации по настоящему изобретению коэффициент
отражения стеклянных подложек составлял приблизительно 8%. Ключевые параметры имплантации и оптические измерения можно найти в таблице ниже.
Известк ово-
натриева я
7,90
-0,53
-0,56
Известк ово-
натриева я
9х 1016
5,15
0,33
-1,19
Известк ово-
натриева я
2,5 х 101
5,76
-0,93
-4,84
Известк ово-
натриева я
lxlO1'
6,37
-1,12
-5,16
Из примеров El - Е6 по настоящему изобретению можно увидеть, что выбранные ключевые параметры, используемые для ионной имплантации, где ускоряющее напряжение А составляет от 20 кВ до 25 кВ, и доза D составляет от 6 х 1016 5 ионов/см2 до -5,00 х 1015х А/кВ + 2,00 х 1017 ионов/см2, приводят, с одной стороны, к уменьшению коэффициента отражения до не более 6,5%, не более 6,0% или даже не более 5,5%, а с другой стороны цвет на отражение в данных примерах является нейтральным, то есть -1 < а* < 1 и -1 < b* < 1. Ключевые параметры имплантации, выбранные для примеров ЕЗ, Е4 и Е5, дают очень нейтральный цвет на отражение, то 10 есть-0,3 < а* < 0,3 и-0,3 <Ь* < 0,3.
Кроме того, измерения с помощью XPS были проведены в отношении примеров Е1 -Е6 по настоящему изобретению, и было выявлено, что концентрация в атомных процентах имплантированных ионов N составляет менее 8 атомных % по всей глубине имплантации.
ФОРМУЛА ИЗОБРЕТЕНИЯ
1. Способ получения противоотражающей стеклянной подложки нейтрального
цвета, предусматривающий следующие технологические операции:
a) обеспечение исходного газа, представляющего собой N2,
b) ионизацию исходного газа, представляющего собой N2, с образованием таким образом смеси однозарядных ионов и многозарядных ионов N,
c) ускорение смеси однозарядных ионов и многозарядных ионов N с помощью ускоряющего напряжения с образованием таким образом пучка однозарядных ионов и многозарядных ионов, при этом ускоряющее напряжение А составляет от 20 кВ до 25 кВ, и доза D составляет от 6х1016 ионов/см2 до -5,00 х 1015 х А/кВ + 2,00 х 1017 ионов/см2,
d) обеспечение стеклянной подложки,
e) размещение стеклянной подложки на траектории пучка однозарядных и многозарядных ионов N.
2. Способ получения противоотражающей стеклянной подложки нейтрального цвета по п. 1, где обеспечиваемая стеклянная подложка характеризуется следующими диапазонами компонентов состава, выраженными в процентах по весу от общего веса стекла:
Si02 35-85%,
AI2O3 0-30%,
Р205 0-20%,
В203 0-20%,
Na20 0-25%,
CaO 0-20%,
MgO 0-20%,
K20 0-20% и
BaO 0-20%.
3. Способ получения противоотражающей стеклянной подложки нейтрального цвета по п. 2, где стеклянная подложка выбрана из листа известково-натриевого стекла, листа боросиликатного стекла или листа алюмосиликатного стекла.
4. Применение смеси однозарядных и многозарядных ионов N для уменьшения коэффициента отражения стеклянной подложки и в то же время
3.
сохранения нейтрального цвета на отражение, при этом смесь однозарядных и многозарядных ионов подлежит имплантации в стеклянную подложку при ионной дозе и ускоряющем напряжении, которые являются эффективными для уменьшения коэффициента отражения стеклянной подложки и в то же время сохранения 5 нейтрального цвета на отражение.
5. Применение смеси однозарядных и многозарядных ионов N для
уменьшения коэффициента отражения стеклянной подложки и в то же время
сохранения нейтрального цвета на отражение по п. 4, где смесь однозарядных и
многозарядных ионов подлежит имплантации в стеклянную подложку при ионной дозе
10 и ускоряющем напряжении, которые являются эффективными для уменьшения коэффициента отражения стеклянной подложки до не более 6,5% и в то же время сохранения нейтрального цвета на отражение таким образом, что -1 <а* <1и-1 <Ь* < 1.
6. Применение смеси однозарядных и многозарядных ионов N для
15 уменьшения коэффициента отражения стеклянной подложки и в то же время
сохранения нейтрального цвета на отражение по п. 5, где смесь однозарядных и многозарядных ионов подлежит имплантации в стеклянную подложку при ионной дозе и ускоряющем напряжении, которые являются эффективными для уменьшения коэффициента отражения стеклянной подложки до не более 6,5% и в то же время 20 сохранения нейтрального цвета на отражение таким образом, что -0,3 < а* < 0,3 и -0,3 < Ь* <0,3.
7. Применение смеси однозарядных и многозарядных ионов N для уменьшения коэффициента отражения стеклянной подложки и в то же время сохранения нейтрального цвета на отражение по любому из пп. 4-6, где ускоряющее
25 напряжение А составляет от 20 кВ до 25 кВ, и доза D составляет от 6 х 1016 ионов/см2 до -5,00 х 1015 х А/кВ + 2,00 х 1017 ионов/см2.
8. Противоотражающая стеклянная подложка нейтрального цвета, полученная с помощью способа по любому из пп. 1-3.
9. Монолитный элемент остекления, слоистый элемент остекления или
30 многослойный элемент остекления с промежуточным газовым слоем, содержащий
противоотражающую стеклянную подложку нейтрального цвета по п. 8.
10. Элемент остекления по п. 9, дополнительно содержащий солнцезащитные, теплопоглощающие, защищающие от ультрафиолетового излучения, антистатические, энергосберегающие, нагревающие, защищающие от загрязнения, защитные, защищающие от проникновения, защищающие от звука, защищающие от
5 огня, предотвращающие запотевание, водоотталкивающие, антибактериальные или отражающие средства.
11. Элемент остекления по любому из п. 9 или п. 10, где указанная противоотражающая стеклянная подложка является матированной, подвергнута печати или подвергнута трафаретной печати.
10 12. Элемент остекления по любому из пп. 9-11, где указанная подложка
является тонированной, закаленной, армированной, изогнутой, гнутой или не пропускающей ультрафиолетовое излучение.
13. Элемент остекления по любому из пп. 9-12, имеющий слоистую структуру, содержащую лист в сборе полимерного типа, расположенный между
15 противоотражающей стеклянной подложкой по настоящему изобретению, с поверхностью, обработанной путем ионной имплантации, обращенной в сторону от полимерного листа в сборе, и другой стеклянной подложкой.
14. Элемент остекления по п. 13, где указанный элемент остекления представляет собой ветровое стекло автомобиля.
(19)
(19)
(19)