|
|
больше ...
Термины запроса в документе
Реферат
[RU] Изобретение относится к подложкодержателю с плитой подложкодержателя, имеющей лицевую поверхность подложкодержателя, на которой предусмотрена по меньшей мере одна подложкоприемная область для принятия соответственно одной подложки. Задача настоящего изобретения состоит в том, чтобы предложить подложкодержатель, который, по возможности, без негативного воздействия на свойства подложки или на обработку подложки гарантировал бы надежное прилегание подложки и при быстрых манипуляциях простое и без разрушений изъятие подложки из подложкодержателя. Указанная задача согласно изобретению решена посредством того, что подложкоприемная область имеет внутреннюю область и проходящую вокруг внутренней области внешнюю область, причем внешняя область имеет плато, расположенные на расстоянии друг от друга и возвышенные относительно поверхности внутренней области, для прилегания краевых областей подложки, причем между плато предусмотрены вентиляционные каналы. 
Полный текст патента
(57) Реферат / Формула:
Изобретение относится к подложкодержателю с плитой подложкодержателя, имеющей лицевую поверхность подложкодержателя, на которой предусмотрена по меньшей мере одна подложкоприемная область для принятия соответственно одной подложки. Задача настоящего изобретения состоит в том, чтобы предложить подложкодержатель, который, по возможности, без негативного воздействия на свойства подложки или на обработку подложки гарантировал бы надежное прилегание подложки и при быстрых манипуляциях простое и без разрушений изъятие подложки из подложкодержателя. Указанная задача согласно изобретению решена посредством того, что подложкоприемная область имеет внутреннюю область и проходящую вокруг внутренней области внешнюю область, причем внешняя область имеет плато, расположенные на расстоянии друг от друга и возвышенные относительно поверхности внутренней области, для прилегания краевых областей подложки, причем между плато предусмотрены вентиляционные каналы.
Евразийское (21) 201890432 (13) Al
патентное
ведомство
(12) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К ЕВРАЗИЙСКОЙ ЗАЯВКЕ
(43) Дата публикации заявки (51) Int. Cl. H01L 21/687(2006.01)
2018.09.28
(22) Дата подачи заявки 2016.08.02
(54) ПОДЛОЖКОДЕРЖАТЕЛЬ
(31) DE102015113956.1
(32) 2015.08.24
(33) DE
(86) PCT/IB2016/054630
(87) WO 2017/033076 2017.03.02
(71) Заявитель:
МЕЙЕР БЮРГЕР (ДЖЁМАНИ) ГМБХ (DE)
(72) Изобретатель:
Рашке Себастьян, Анзорге Эрик, Кер Мирко, Бём Кристиан (DE)
(74) Представитель:
Хмара М.В., Ильмер Е.Г., Пантелеев А.С., Осипов К.В., Липатова И.И., Дощечкина В.В., Новоселова С.В. (RU)
(57) Изобретение относится к подложкодержате-лю с плитой подложкодержателя, имеющей лицевую поверхность подложкодержателя, на которой предусмотрена по меньшей мере одна подложко-приемная область для принятия соответственно одной подложки. Задача настоящего изобретения состоит в том, чтобы предложить подложкодержа-тель, который, по возможности, без негативного воздействия на свойства подложки или на обработку подложки гарантировал бы надежное прилегание подложки и при быстрых манипуляциях простое и без разрушений изъятие подложки из подложкодержателя. Указанная задача согласно изобретению решена посредством того, что подлож-коприемная область имеет внутреннюю область и проходящую вокруг внутренней области внешнюю область, причем внешняя область имеет плато, расположенные на расстоянии друг от друга и возвышенные относительно поверхности внутренней области, для прилегания краевых областей подложки, причем между плато предусмотрены вентиляционные каналы.
ПОДЛОЖКОДЕРЖАТЕЛЬ
Область техники, к которой относится изобретение
Настоящее изобретение относится к подложкодержателю с плитой 5 подложкодержателя, которая имеет лицевую поверхность подложкодержателя, на которой предусмотрена по меньшей мере одна подложкоприемная область для принятия, соответственно, одной подложки.
Предшествующий уровень техники
10 Подложкодержатели, которые используют при обработке, в частности,
полупроводниковых подложек, например кремниевых пластин, должны надежно удерживать по меньшей мере одну подложку и обеспечивать возможность ее или их безупречной обработки. Обычно при этом используют горизонтально ориентированные подложкодержатели, так называемые треи или кассеты, на
15 поверхности которых укладывают по меньшей мере одну плоскую подложку, например полупроводниковую пластину, и в этом положении обрабатывают и/или транспортируют на указанном подложкодержателе. Подложка или подложки должны при этом надежно прилегать к подложкодержателю. После осуществленной обработки или после осуществленной транспортировки подложка или подложки
20 должны иметь возможность снятия с подложкодержателя, опять же без повреждений.
Подложкодержатель упомянутого вначале вида известен, например, из патентного документа DE 40 26 244 С2. Подложкодержатель из уровня техники имеет плиту подложкодержателя с углублением, в котором подложка плоско лежит.
25 Боковые стенки углубления удерживают положение подложки. Для вакуумной фиксации подложки на подложкодержателе, а также для возможного напуска воздуха после указанного вакуумного процесса в указанном уровне техники между подложкой и подложкодержателем предусмотрено окружающее свободное пространство, а также размещенное под подложкой отверстие, проходящее
30 насквозь подложкодержателя. То есть подложка лежит по центру на своего рода пьедестале на подложкодержателе, в то время как внешние области подложки не касаются подложкодержателя, так как в подложкодержателе в этих областях выполнено углубление. Кроме того, по центру под подложкой может находиться еще одно свободное пространство, причем плита подложкодержателя в этой
35 центральной области имеет сквозное отверстие. Недостатком в указанном уровне техники является то, что указанный пьедестал, особенно при плазмообработке,
может проецироваться на подложке, что может негативно повлиять на свойства подложки, например на электрическую проводимость. Кроме того, подложка может опрокинуться в окружающее углубление и, таким образом, больше не будет лежать плоско на подложкодержателе. Это может вызвать, например, повреждения 5 подложки и/или неоднородности при обработке подложки, например неоднородное нанесение покрытия на подложку.
Сущность изобретения
Поэтому задача настоящего изобретения состоит в том, чтобы предложить
10 подложкодержатель, который, по возможности, без негативного воздействия на свойства подложки или на обработку подложки гарантировал бы надежное прилегание подложки и при быстрых манипуляциях простое и без разрушений изъятие подложки из подложкодержателя.
Указанная задача согласно изобретению решена посредством того, что
15 подложкоприемная область имеет внутреннюю область и проходящую вокруг внутренней области внешнюю область, причем внешняя область имеет плато, расположенные на расстоянии друг от друга и возвышенные относительно поверхности внутренней области, для прилегания краевых областей подложки, причем между плато предусмотрены вентиляционные каналы.
20 В подложкодержателе согласно изобретению на лицевой поверхности
подложкодержателя предусмотрены несколько отделенных друг от друга посредством разрывов участков прилегания, которые находятся по меньшей мере частично ниже предусмотренной на подложкодержателе подложки и образуют область прилегания для краевой области подложки, подлежащей размещению на
25 подложкодержателе. Таким образом, подложка лежит своим краем на возвышенном уровне по сравнению с внутренней областью подложкоприемной области на плите подложкодержателя. Между расположенными на расстоянии друг от друга плато, а также во внутренней области подложкоприемной области лицевая поверхность подложкодержателя имеет более низкий уровень, чем на плато. При этом между
30 плато выполнены каналы, которые при приточном вентилировании (напуске воздуха) и/или вытяжном вентилировании (откачке воздуха) работают в качестве вентиляционных каналов, т.е. могут подводить газ во внутреннюю область подложкоприемной области и делают возможным, таким образом, вентиляцию подложки сзади, что, в свою очередь, делает возможным простое и без разрушений
35 изъятие подложки с подложкодержателя.
Таким образом, подложкодержатель согласно изобретению предлагает
преимущество, заключающееся в том, что предусмотрена возможность быстрого плоскопараллельного размещения краевых областей подложки в подложкоприемной области без образования при этом газовой подушки между подложкой и участками прилегания, вследствие чего горизонтального смещения 5 подложки на подложкодержателе в значительной степени избегают. При этом во внутренней области подложкоприемной области находится по меньшей мере одно свободное пространство между подложкодержателем и подложкой. Находящийся в этом свободном пространстве газ при укладывании подложки может вытекать через находящиеся между плато вентиляционные каналы наружу, так что подложка на
10 своей внешней области не "всплывает". Это облегчает надежное и быстрое размещение подложки на плите подложкодержателя, поскольку смещение подложки на газовой подушке предотвращено.
Кроме того, при изъятии подложки из подложкодержателя вентиляционные каналы действуют таким образом, что под подложку сбоку подводится газ, и
15 вследствие этого подложка может быть снята легко и без разрушений с плиты подложкодержателя. Далее, плато и вентиляционные каналы предусмотрены только в краевой области подложки, так что проецирование этих структур на подложке удерживают, по возможности, минимальным.
В предпочтительном варианте осуществления подложкодержателя согласно
20 изобретению плато выполнены на том же уровне, что и лицевая поверхность подложкодержателя, за исключением поверхности внутренней области или внутренних областей. То есть, уровень, отличный от уровня для остальных лицевых поверхностей подложкодержателя, а именно более низкий уровень, предусмотрен лишь для внутренней области и вентиляционных каналов. Плато могут быть
25 выполнены таким образом, что они представляют собой области лицевой поверхности подложкодержателя между вентиляционными каналами. Таким образом, получают выгодное изготовление подложкодержателя согласно изобретению.
В предпочтительном варианте осуществления подложкодержателя 30 вентиляционные каналы предусмотрены со всех сторон вокруг подложкоприемной области. Вследствие этого обеспечивают возможность равномерного вытяжного и приточного вентилирования обратной стороны подложки. Таким образом, воздушная или газовая подушка под подложкой при укладке подложки равномерно удаляется или при изъятии подложки равномерно восстанавливается, так что 35 подложка может быть не только надежно и плоско уложена на подложкодержателе, но и надежно и быстро снова изъята из него.
В настоящем изобретении плато особенно предпочтительно выполнены подобно вертикальной стенке. Вместе с этим получают, с одной стороны, возможность стабильного прилегания, а с другой стороны, указанные плато, подобные вертикальной стенке, образуют только незначительную поверхность 5 прилегания и практически не проецируются на обратной стороне подложки и/или на лицевой стороне подложкодержателя при обработке подложки. Плато, образующие участки прилегания, преимущественно выполнены продолговатыми и/или прямоугольными, вследствие чего становится возможным простое и недорогое изготовление плато и/или вентиляционных каналов.
10 Согласно предпочтительному варианту осуществления подложкодержателя
согласно изобретению вентиляционные каналы фрезеруют в лицевой поверхности подложкодержателя. Вследствие этого вентиляционные каналы могут быть изготовлены особенно просто и малозатратно. Так же и внутренняя область, высотный уровень которой ниже по сравнению с внешней областью, может быть
15 выфрезерована в лицевой поверхности подложкодержателя.
В альтернативном варианте осуществления настоящего изобретения во внутренней области предусмотрена по меньшей мере одна опорная структура, на которой подложка может лежать по меньшей мере частично. Вследствие этого плоскость соприкосновения между подложкой и подложкодержателем эффективно
20 увеличивается, вследствие чего теплопередача между подложкодержателем и подложкой улучшается. Тем не менее, опорная структура может привести к проецированию ее структуры на подложке, в том числе, также на лицевой стороне подложки, а также к нежелательным воздействиям плазмы при плазмообработке.
В подходящем варианте осуществления подложкодержателя согласно
25 изобретению плато и/или опорная структура выполнены посредством наращивания материала на лицевой поверхности подложкодержателя. Возможности выполнения таких участков прилегания, подобных плато, а также опорной структуры, представляют собой, например, Зй-печать, (фото)литографические процессы, привинчивание, припаивание, соединение прихваточным швом или сварка. Кроме
30 того, варианты осуществления настоящего изобретения, в которых вентиляционные каналы фрезеруют в лицевой поверхности подложкодержателя, а плато выполняют посредством наращивания материала на лицевой поверхности подложкодержателя, могут также комбинироваться друг с другом.
В особенно предпочтительном варианте осуществления подложкодержателя
35 согласно изобретению высота плато и/или глубина вентиляционных каналов лежит в диапазоне от 0,1 мм до 1 мм, предпочтительно в области от 0,2 мм до 0,5 мм. Под
высотой плато при этом понимают высоту по сравнению с внутренней областью области прилегания подложки и/или высоту по сравнению с самым глубоким местом вентиляционного канала. Было выявлено, что приточное и вытяжное вентилирование для быстрой манипуляции по меньшей мере с одной подложкой 5 удовлетворительно протекает в диапазоне глубин и/или высот от 0,1 мм до 1 мм, предпочтительно от 0,2 мм до 0,5 мм. С другой стороны, между подложкой и подложкодержателем должно существовать хорошее термическое соединение, что также гарантируется диапазоном глубин и/или высот от 0,1 мм до 1 мм, предпочтительно от 0,2 мм до 0,5 мм.
10 Как оказалось, в подложкодержателе согласно настоящему изобретению
особенно предпочтительным является расстояние между плато, и/или ширина вентиляционных каналов, в диапазоне от 0,1 мм до 5 мм, предпочтительно в диапазоне от 0,2 мм до 1 мм. При этом под расстоянием между плато подразумевают расстояние, которое плато обнаруживает во внешней области
15 области прилегания подложки до соседнего плато, т.е. расстояние, образованное шириной вентиляционного канала между двумя плато. В указанном диапазоне расстояний и/или ширин от 0,1 мм до 5 мм, предпочтительно от 0,2 мм до 1 мм, был выявлен удовлетворительный газовый поток в процессе приточного и/или вытяжного вентилирования.
20 В предпочтительном варианте осуществления подложкодержателя согласно
изобретению плита подложкодержателя выполнена по меньшей мере из одного электропроводящего материала и/или покрыта по меньшей мере одним электропроводящим материалом. Вследствие этого плита подложкодержателя может быть выполнена, например, в качестве электрода в камере обработки
25 подложки. Это особенно полезно, если по меньшей мере на одну подлежащую обработке подложку должен быть установлен определенный электрический потенциал. В качестве электропроводящего материала рассматривают, например, металл или сплав, в частности алюминий, титан или также сплав одного из этих металлов. Далее, электропроводящие материалы имеют также хорошую
30 теплопроводность, что является желаемым качеством для плиты подложкодержателя, чтобы посредством терморегулирующего устройства, расположенного на обратной стороне плиты подложкодержателя, нагревать или охлаждать подложку, расположенную на лицевой поверхности подложкодержателя плиты подложкодержателя.
35 В соответствии с предпочтительным вариантом осуществления
подложкодержателя согласно изобретению внешняя область подложкоприемной
области составляет самое большее одну десятую часть поверхности подложки,
предусмотренной на подложкодержателе. Тем самым возможное влияние
подложкодержателя вследствие геометрического проецирования внешней области
на подложку в процессе обработки удерживают, по возможности, минимальным.
5 Для бокового ограничения поверхности прилегания подложки на
подложкоприемной области особенно предпочтительно предусмотрен по меньшей мере один выступ, выступающий вверх из лицевой поверхности подложкодержателя. Выступ служит в качестве боковой поддержки для подложки. Таким образом, подложка не может горизонтально смещаться, например, в
10 состоянии приточного вентилирования, и зафиксирована в своем положении на подложкоприемной области. Преимущественным образом вокруг подложкоприемной области предусмотрены несколько выступов, так что смещение подложки заблокировано во всех направлениях. Кроме того, между соседними подложками может быть предусмотрен точно один выступ, так чтобы соседние подложки
15 "делили" соответствующий один выступ. Однако, в качестве варианта, между соседними подложками могут быть предусмотрены выступы, расположенные на расстоянии друг от друга, так что каждый выступ расположен вблизи только одной подложки.
В альтернативном варианте осуществления настоящего изобретения выступ
20 может быть выполнен в виде по меньшей мере одной ступени, проходящей вокруг подложкоприемной области, на лицевой поверхности подложкодержателя. Уровень указанной ступени выше, чем у плато внешней области, вследствие чего образуется так называемое гнездо подложки. Через ступень проходят вентиляционные каналы, которые могут быть связаны, например, с вентиляционными каналами внешней
25 области. Таким образом, подложка не полностью окружена плотно прилегающей ступенью, и может быть обеспечено эффективное приточное и вытяжное вентилирование подложкоприемной области.
В предпочтительном варианте осуществления подложкодержателя согласно изобретению по меньшей мере один выступ представляет собой штифт. При этом
30 под штифтом подразумевают цилиндрическое тело, боковая поверхность которого проходит перпендикулярно к лицевой поверхности подложкодержателя. Употребительным наименованием для такого штифта является "штырек". Такие цилиндрические тела могут быть изготовлены особенно выгодным образом. В альтернативных вариантах осуществления штифт может быть выполнен в виде
35 многогранной призмы, например, в виде трехгранной призмы, четырехгранной или восьмигранной призмы, причем каждая боковая поверхность призмы вдоль
удлиненного протяжения призмы проходит перпендикулярно к лицевой поверхности подложкодержателя.
Выступ преимущественно вставлен в выполненное на лицевой поверхности подложкодержателя глухое отверстие. Глухое отверстие представляет собой 5 выемку на поверхности подложкодержателя, которая не проходит насквозь плиты подложкодержателя. Выступ вставляют в глухое отверстие, т.е. его утапливают в часть отверстия и лишь часть выступа выступает из отверстия, чтобы препятствовать боковому смещению подложки. Таким образом, выступ свободно находится в глухом отверстии. В качестве варианта, выступ может также
10 удерживаться в глухом отверстии посредством кинематического замыкания, например посредством байонетного соединения или посредством клинообразно проходящих друг напротив друга поверхностей глухого отверстия и выступа. Вследствие этого выступ может быть жестко, но с возможностью отсоединения, соединен с плитой подложкодержателя. В особом случае выступ может быть
15 выполнен в виде винта, а глухое отверстие может быть снабжено резьбой, так что выступ на лицевой поверхности подложкодержателя выполнен с возможностью завинчивания.
В особенном варианте осуществления настоящего изобретения выступ установлен с обратной стороны подложкодержателя, причем выступ выступает из
20 отверстия лицевой поверхности подложкодержателя, причем выступ удерживается в отверстии за счет соответствующего размера отверстия, и при этом выступ зафиксирован в отверстии с обратной стороны посредством фиксирующего элемента. То есть в данном варианте предусмотрено отверстие, проходящее насквозь плиты подложкодержателя, через которое с обратной стороны
25 подложкодержателя может проходить выступ. При этом отверстие и выступ могут быть выполнены таким образом, что в направлении лицевой поверхности подложкодержателя существует своего рода упор, т.е. выступ может проходить через отверстие только до определенной точки. На обратной стороне подложкодержателя и, таким образом, на обратной стороне отверстия выступ
30 посредством фиксирующего элемента закреплен на подложкодержателе. Закрепление может быть выполнено, в частности, газонепроницаемым, так что фиксация выступа уплотняет отверстие в подложкодержателе.
В качестве еще одного варианта осуществления настоящего изобретения, выступ расположен в канавке, проходящей в плите подложкодержателя
35 параллельно к лицевой поверхности подложкодержателя, причем находящийся в канавке удерживающий элемент выступа охватывается удерживающим
контрэлементом канавки. Т.е. канавка может быть выполнена в области глубины более широкой, чем в области вблизи лицевой поверхности подложкодержателя, так что в направлении лицевой поверхности подложкодержателя существует сужение канавки. Суженная область может образовывать удерживающий 5 контрэлемент. Выступ, со своей стороны, может расширяться в самой нижней области, предусмотренной в канавке, аналогично головке винта. Эта расширенная область выступа может образовывать удерживающий элемент. Вследствие этого выступ удерживается в канавке посредством геометрического замыкания. В случае продолговатой канавки выступ, по примеру т.н. пазового сухаря, может быть вдвинут
10 в желаемое положение и с одной или с двух сторон закреплен посредством по меньшей мере одного стопорного элемента в желаемом положении, предотвращая какое-либо смещение.
В предпочтительном варианте осуществления подложкодержателя согласно изобретению выступ выполнен по меньшей мере из одного электрического
15 изолятора. Электрические изоляторы являются плохими проводниками тепла, вследствие чего можно избежать образования стока тепла через штифт, выступающего в роли выступа. Кроме того, плита подложкодержателя может использоваться в процессе обработки подложки в качестве электрода. За счет выполнения выступа в виде электрического изолятора избегают образования острия
20 электрического потенциала на плите подложкодержателя. Если подложку обрабатывают, например, в плазме, то искажения плазмы избегают за счет того, что выступ выполнен в виде электрического изолятора. В качестве материала для выступа рассматривают, например, стекло, кварц, керамику или пластмассу, в частности, оксид алюминия. Поэтому такие выступы могут обозначаться также как
25 "керамические штырьки".
Согласно предпочтительному варианту осуществления подложкодержателя согласно изобретению выступ выполнен пустотелым. Выступ может представлять собой, например, полый цилиндр. Это благоприятно для процесса обработки подложки в вакууме, так как выступ при откачке воздуха не может быть вытащен из
30 глухого отверстия под действием пониженного давления.
Кроме того, было выявлено, что предпочтительным является выполнение конца выступа, направленного от плиты подложкодержателя, остро или закругленно сужающимся. Если подложка на лицевой поверхности подложкодержателя уложена по ошибке за пределами подложкоприемной области, так что подложка касается
35 наклонной поверхности выступа, то эта наклонная поверхность выступа ведет к указанию направления подложки вплоть до подложкоприемной области. Это
приводит к тому, что подложки располагаются между выступами. Перечень фигур
Предпочтительные варианты осуществления настоящего изобретения, его 5 структура, функция и преимущества разъяснены ниже подробнее при помощи следующих фигур.
Фигура 1 - схематическое изображение лицевой поверхности подложкодержателя согласно изобретению на виде сверху.
Фигура 2 - схематическое изображение лицевой поверхности 10 подложкодержателя с фигуры 1 с уложенными подложками на подложкоприемные области подложкодержателя на виде сверху.
Фигура 3 - схематическое изображение подложкодержателя согласно
изобретению с уложенными на него подложками вдоль плато подложкоприемных
областей подложкодержателя на виде в поперечном разрезе.
15 Фигура 4 - схематическое изображение подложкодержателя согласно
изобретению с фигуры 3 с уложенными на него подложками вдоль вентиляционных каналов на еще одном виде в поперечном разрезе.
Фигура 5 - укрупненный вид подложкодержателя согласно изобретению с выступом в форме цилиндра или прямоугольного параллелепипеда в глухом 20 отверстии на виде в поперечном разрезе.
Фигура 6 - укрупненный вид подложкодержателя согласно изобретению с пирамидальным или конусообразным выступом в глухом отверстии на виде в поперечном разрезе.
Фигура 7 - укрупненный вид подложкодержателя согласно изобретению с 25 выступом, выполненным пустотелым, в глухом отверстии на виде в поперечном разрезе.
Фигура 8 - укрупненный вид альтернативного варианта осуществления
подложкодержателя согласно изобретению с выступом, проходящим насквозь
отверстия подложкодержателя, на виде в поперечном разрезе.
30 Фигура 9 - укрупненный вид еще одного альтернативного варианта
осуществления подложкодержателя согласно изобретению с выступом, удерживаемым в канавке, на виде в поперечном разрезе.
Фигура 10 - схематическое изображение подложкоприемной области подложкодержателя согласно изобретению с расположенными во внутренней 35 области опорными структурами на виде сверху.
Сведения, подтверждающие возможность осуществления изобретения На фигуре 1 показан вариант осуществления подложкодержателя согласно изобретению на виде сверху. Подложкодержатель содержит плиту 1 подложкодержателя с лицевой поверхностью 2 подложкодержателя. На 5 поверхности 2 подложкодержателя на расстоянии друг от друга в нескольких столбцах и строках расположены прямоугольные подложкоприемные области 3. Каждая подложкоприемная область 3 содержит, соответственно, одну прямоугольную внутреннюю область 5 с низким высотным уровнем, а также одну внешнюю область 6, проходящую вокруг внутренней области 5. В качестве варианта 10 также возможно, что подложкоприемная область 3 и внутренняя область 5 имеют геометрию, отличную от прямоугольной, например круглую, овальную или восьмиугольную.
Во внешней области 6 предусмотрены плато 7 с высотным уровнем, возвышенным по сравнению с внутренней областью 5, а также вентиляционные
15 каналы 8 с низким высотным уровнем внутренней области 5. В варианте осуществления на фигуре 1 вентиляционные каналы 8 выполнены в виде канавок, параллельно или перпендикулярно ориентированных друг относительно друга, а плато 7 - в виде вертикальных стенок, параллельно или перпендикулярно ориентированных друг относительно друга. В других вариантах осуществления
20 настоящего изобретения вентиляционные каналы 8 могут быть также расположены под острым или тупым углом друг относительно друга. Таким же образом плато 7 могут образовывать острые или тупые углы друг относительно друга.
Вокруг подложкоприемной области 3 предусмотрены выступы 9, выступающие из поверхности 2 подложкодержателя. В варианте осуществления на
25 фигуре 1 на каждой стороне подложкоприемной области 3 предусмотрено по одному выступу 9, так что прямоугольная подложкоприемная область 3 окружена четырьмя выступами 9. Вследствие этого можно воспрепятствовать смещению подложки 4 во всех направлениях. В альтернативных вариантах осуществления на каждой стороне подложкоприемной области 3 могут быть расположены несколько
30 выступов 9. При круглой или овальной геометрии подложкоприемной области 3 предпочтительно располагать выступы 9 также по кругу или вдоль овала подложкоприемной области 3. В варианте осуществления на фигуре 1 выступы 9 расположены на плато 7. В качестве варианта выступы 9 могут быть расположены в вентиляционных каналах 8, причем вентиляционные каналы 8 тогда выполняют
35 более широкими, чем выступы 9, чтобы не воспрепятствовать протеканию газа через вентиляционные каналы 8.
На фигуре 2 показан подложкодержатель с фигуры 1 на виде сверху на лицевую поверхность 2 подложкодержателя с подложками 4, уложенными на плиту 1 подложкодержателя. Здесь подложки 4 прилегают к подложкоприемным областям 3 и закрывают их. В показанном варианте осуществления подложки 4 выполнены 5 прямоугольными, однако в качестве примера или альтернативы могут иметь также круглую или иную, например многоугольную, геометрию.
Сбоку на расстоянии от соответствующих сторон подложек 4 расположены выступы 9. Между подложками 4 и выступами 9 предусмотрено незначительное расстояние, так что каждая подложка 4 может быть расположена между четырьмя 10 выступами 9, окружающими указанную подложку 4. С другой стороны, это расстояние между подложкой 4 и выступами 9 выбирают настолько малым, что подложка 4 в случае незначительного горизонтального смещения ограничена одним из выступов 9.
Далее, сбоку и в краевой области подложки 4 расположены вентиляционные
15 каналы 8, которые проходят, соответственно, из внешней области 6 во внутреннюю
область 5 и расположены, таким образом, частично под соответствующей
подложкой 4. Между двумя вентиляционными каналами 8 соответственно
расположено одно плато 7, причем подложка 4 лежит на указанных плато 7, которые
на фигуре 2 изображены лишь как области между вентиляционными каналами 8.
20 На фигуре 4 показан подложкодержатель согласно изобретению с лежащими
на нем подложками 4 на виде в поперечном разрезе вдоль линии А-А на фигуре 2, т.е. вдоль плато 7. Подложки 4 лежат на лицевой поверхности 2 подложкодержателя плиты 1 подложкодержателя. Сбоку на расстоянии от подложек 4 расположены несколько выступов 9 с незначительным расстоянием до соответствующей 25 подложки 4. Подложка 4 лежит во внешней области 6 на по меньшей мере одном плато 7, тогда как во внутренней области 5, расположенной под подложкой 4, между подложкой 4 и плитой 1 подложкодержателя существует полость или свободное пространство.
На фигуре 4 показан подложкодержатель согласно изобретению с 30 уложенными на него подложками 4 на виде в поперечном разрезе вдоль линии В-В на фигуре 2, т.е. вдоль вентиляционных каналов 8. В отличие от фигуры 3 здесь во внешней области 6 показан вентиляционный канал 8, проходящий под подложкой 4. Вентиляционный канал 8 находится на том же высотном уровне, что и внутренняя область 5, и связывает ее по текучей среде с пространством над плитой 1 35 подложкодержателя и вокруг нее. Если для вакуумного процесса плиту 1 подложкодержателя с уложенными на ней подложками 4 подвергают воздушной
откачке, то газ, находящийся в полости, расположенной во внутренней области 5 между плитой 1 подложкодержателя и подложкой 4, выводится через вентиляционные каналы 8 наружу. В случае напуска воздуха после вакуумного процесса газ может снова протекать через вентиляционные каналы 8 во 5 внутреннюю область 5 и, таким образом, вентилировать подложку 4.
На фигуре 5 схематически показан укрупненный вид выполненного в виде штифта выступа 9 подложкодержателя согласно изобретению в глухом отверстии 10 на виде в поперечном разрезе. Глухое отверстие 10 выполнено на лицевой поверхности 2 подложкодержателя плиты 1 подложкодержателя, причем глухое 10 отверстие 10 представляет собой углубление в лицевой поверхности 2 подложкодержателя, которое не проходит насквозь плиты 1 подложкодержателя. Глухое отверстие 10 может быть выполнено в виде круглой выемки, т.е. в виде цилиндра, однако в качестве варианта она может иметь также многоугольное или овальное основание.
15 Основание выступа 9 предпочтительно комплементарно основанию глухого
отверстия 10, однако выполнено меньшим, так что обеспечена возможность вставления выступа 9 в глухое отверстие 10 без трения. В случае круглого глухого отверстия 10 штифтообразный выступ 9 выполнен в виде цилиндра. В варианте осуществления согласно фигуре 5 выступ 9 выполнен из одного блока и в виде
20 прямого тела.
На фигуре 6 схематически показан укрупненный вид выступа 9а, используемого в одном из вариантов осуществления подложкодержателя согласно изобретению вместо выступа 9, на виде в поперечном разрезе. Выступ 9а выполнен в виде остро сужающегося кверху тела, т.е. в случае круглого основания в виде
25 конуса, а в случае прямоугольного основания в виде пирамиды. В качестве варианта также возможно, что погруженное в глухое отверстие 10 основание выступа 9а выполнено в виде прямого тела, и только возвышающаяся над глухим отверстием область выступа 9а выполнена в виде остро сужающегося тела. В варианте осуществления согласно фигуре 6 выступ 9а выполнен из одного блока.
30 На фигуре 7 схематически показан укрупненный вид еще одного
альтернативного варианта осуществления выступа 9Ь, используемого в подложкодержателе согласно изобретению вместо выступа 9 или 9а, на виде в поперечном разрезе. Выступ 9Ь выполнен пустотелым, т.е. может представлять собой цилиндрическую трубку или пустотелую призму. Это обеспечивает
35 преимущество, в частности, в вакуумном процессе, заключающееся в том, что при воздушной откачке выступ 9Ь не может быть вытащен из глухого отверстия 10 по
причине низкого давления, возникающего над лицевой поверхностью 2 подложкодержателя.
На фигуре 8 на виде в поперечном разрезе схематически показан альтернативный вариант осуществления подложкодержателя согласно 5 изобретению, в котором плита 1а подложкодержателя имеет сквозное отверстие 13. Выступ 9с проходит от обратной стороны 12 подложкодержателя до лицевой поверхности 2 подложкодержателя через отверстие 13. Как отверстие 13, так и выступ 9с выполнены сужающимися в направлении лицевой поверхности 2 подложкодержателя, причем отверстие 13 и выступ 9с в показанном варианте
10 осуществления имеют одинаковый размер на лицевой поверхности 2 подложкодержателя, т.е. в этом месте существует упор, вследствие чего выступ 9с не может пройти дальше через отверстие 13. На обратной стороне 12 подложкодержателя на выступе 9с выполнен фиксирующий элемент 91, который может быть жестко и газонепроницаемо соединен с обратной стороной 12,
15 например посредством пайки. Таким образом, выпадение выступа 9с из плиты 1а подложкодержателя предотвращается.
На фигуре 9 схематически показан еще один альтернативный вариант осуществления подложкодержателя согласно изобретению с плитой 1Ь подложкодержателя на виде в поперечном разрезе. В плите 1Ь подложкодержателя
20 на лицевой поверхности 2 подложкодержателя предусмотрена канавка 14, которая в углубленной области расширена по сравнению с областью вблизи поверхности 2 подложкодержателя. Выступ 9d, расположенный в канавке 14, выполнен адаптированным по форме к канавке 14, т.е. содержит в нижней области расширение, которое образует удерживающий элемент 92. Удерживающий элемент
25 92 охватывается удерживающим контрэлементом 15, образованным канавкой 14 в плите 1Ь подложкодержателя. Таким образом, вертикальное вытаскивание выступа 9d из канавки 14 предотвращается посредством геометрического замыкания. Для предотвращения горизонтального смещения в канавке 14 выступ 9d может быть зафиксирован посредством по меньшей мере одного стопорного элемента, который
30 как и выступ 9d может быть зафиксирован в канавке 14.
На фигуре 10 показан альтернативный вариант осуществления приемной области За на виде сверху. В противоположность варианту осуществления согласно фигуре 1 во внутренней области 5а расположены четыре прямоугольные опорные структуры 11, которые могут образовывать уровень, такой же, что и плато 7. Таким
35 образом опорные структуры 11 могут соприкасаться с подложкой 4, которая может быть уложена на подложкоприемной области За. Вследствие этого, с одной
стороны, избегают прогибания подложки 4 над внутренней областью 5а. Кроме того, таким образом увеличивается плоскость соприкосновения между подложкой 4 и плитой 1 подложкодержателя по сравнению с вариантом осуществления согласно фигуре 1, вследствие чего увеличивается теплопередача между плитой 1 5 подложкодержателя и подложкой 4.
ФОРМУЛА ИЗОБРЕТЕНИЯ
1. Подложкодержатель с плитой (1, 1а, 1Ь) подложкодержателя, имеющей лицевую поверхность (2) подложкодержателя, на которой предусмотрена по 5 меньшей мере одна подложкоприемная область (3, За) для принятия, соответственно, одной подложки (4), отличающийся тем, что
подложкоприемная область (3, За) содержит внутреннюю область (5) и внешнюю область (6), проходящую вокруг внутренней области (5), причем внешняя 10 область (6) содержит плато (7), расположенные на расстоянии друг от друга и возвышенные относительно поверхности внутренней области (5), для прилегания краевых областей подложки (4), причем между указанными плато (7) предусмотрены вентиляционные каналы (8).
15 2. Подложкодержатель по п. 1, отличающийся тем, что указанные плато (7)
выполнены на том же уровне, что и лицевая поверхность (2) подложкодержателя, за исключением поверхности одной или нескольких внутренних областей (5).
3. Подложкодержатель по п.п. 1 или 2, отличающийся тем, что
20 вентиляционные каналы (8) предусмотрены со всех сторон вокруг
подложкоприемной области (За).
4. Подложкодержатель по меньшей мере по одному из предыдущих пунктов, отличающийся тем, что плато (7) выполнены подобными вертикальной стенке.
5. Подложкодержатель по меньшей мере по одному из предыдущих пунктов, отличающийся тем, что вентиляционные каналы (8) выфрезерованы в лицевой поверхности (2) подложкодержателя.
30 6. Подложкодержатель по меньшей мере по одному из предыдущих пунктов,
отличающийся тем, что во внутренней области (5) предусмотрена по меньшей мере одна опорная структура (11), к которой предусмотрена возможность прилегания, по меньшей мере частичного, подложки (4).
35 7. Подложкодержатель по меньшей мере по одному из предыдущих пунктов,
отличающийся тем, что плато (7) выполнены на лицевой поверхности (2)
подложкодержателя посредством наращивания материала.
8. Подложкодержатель по меньшей мере по одному из предыдущих пунктов, отличающийся тем, что высота указанных плато (7) и/или глубина вентиляционных
5 каналов (8) лежит в диапазоне от 0,1 мм до 1 мм.
9. Подложкодержатель по меньшей мере по одному из предыдущих пунктов, отличающийся тем, что расстояние между указанными плато (7) и/или ширина вентиляционных каналов (8) лежит в диапазоне от 0,1 мм до 5 мм.
10. Подложкодержатель по меньшей мере по одному из предыдущих пунктов, отличающийся тем, что плита (1, 1а, 1Ь) подложкодержателя выполнена по меньшей мере из одного электропроводящего материала и/или покрыта по меньшей мере одним электропроводящим материалом.
11. Подложкодержатель по меньшей мере по одному из предыдущих пунктов, отличающийся тем, что внешняя область (6) подложкоприемной области (3) составляет не больше одной десятой части поверхности подложки (4), предусмотренной на подложкодержателе.
12. Подложкодержатель по меньшей мере по одному из предыдущих пунктов, отличающийся тем, что на подложкоприемной области (3) предусмотрен по меньшей мере один выступ (9, 9а, 9b, 9с, 9d), выступающий из лицевой поверхности (2) подложкодержателя, для бокового ограничения поверхности прилегания
25 подложки.
13. Подложкодержатель по п. 12, отличающийся тем, что указанный по
меньшей мере один выступ (9, 9а, 9b, 9с, 9d) представляет собой штифт.
30 14. Подложкодержатель по п.п 12 или 13, отличающийся тем, что выступ (9,
9а, 9b, 9с, 9d) вставлен в глухое отверстие (10), выполненное в лицевой поверхности (2) подложкодержателя.
15. Подложкодержатель по п.п. 12 или 13, отличающийся тем, что выступ (9, 35 9а, 9b, 9с, 9d) установлен с обратной стороны (12) подложкодержателя, причем выступ (9, 9а, 9b, 9с, 9d) выступает из отверстия (13) лицевой поверхности (2)
подложкодержателя, причем выступ (9, 9а, 9b, 9с, 9d) удерживается в отверстии (13) за счет размера отверстия (13), и при этом выступ (9, 9а, 9b, 9с, 9d) зафиксирован в отверстии (13) посредством фиксирующего элемента (91) с обратной стороны (12).
5 16. Подложкодержатель по п.п. 12 или 13, отличающийся тем, что выступ (9,
9а, 9b, 9с, 9d) расположен в канавке (14), проходящей в плите (1) подложкодержателя параллельно к лицевой поверхности (2) подложкодержателя, причем находящийся в канавке (14) удерживающий элемент (92) выступа (9, 9а, 9Ь, 9с, 9d) окружен удерживающим контрэлементом (15) канавки (14).
17. Подложкодержатель по меньшей мере по одному из пунктов 12-16, отличающийся тем, что выступ (9, 9а, 9b, 9с, 9d) выполнен по меньшей мере из одного электрического изолятора.
15 18. Подложкодержатель по меньшей мере по одному из пунктов 12-17,
отличающийся тем, что выступ (9, 9а, 9b, 9с, 9d) выполнен пустотелым.
19. Подложкодержатель по меньшей мере по одному из пунктов 12-18, отличающийся тем, что выступ (9, 9а, 9b, 9с, 9d) на конце, направленном от плиты 20 (1) подложкодержателя, выполнен остро или закругленно сужающимся.
о о
о о
о о
о о
о о
о о
ФИГ. 2
А-А
2 4
7 9
ФИГ. 3
В-В
2 4 5 6 8 9
П" , ; Л ^ чП 1. П
7////////////,//Г//////,////////777Г///,///,/////////> ////1
ФИГ. 4
|
