EA201790593A1 20170630 Номер и дата охранного документа [PDF] EAPO2017\PDF/201790593 Полный текст описания [**] EA201790593 20150820 Регистрационный номер и дата заявки FR1458520 20140911 Регистрационные номера и даты приоритетных заявок FR2015/052238 Номер международной заявки (PCT) WO2016/038269 20160317 Номер публикации международной заявки (PCT) EAA1 Код вида документа [PDF] eaa21706 Номер бюллетеня [**] СПОСОБ ОТЖИГА ПРИ ПОМОЩИ ЛАМП-ВСПЫШЕК Название документа [8] H01L 21/324, [8] B23K 26/06, [8] H01L 21/02, [8] H01L 21/67 Индексы МПК [FR] Канова Лоренцо, [FR] Мимун Эмманюэль, [FR] Дюбо Брис Сведения об авторах [FR] СЭН-ГОБЭН ГЛАСС ФРАНС Сведения о заявителях
 

Патентная документация ЕАПВ

 
Запрос:  ea201790593a*\id

больше ...

Термины запроса в документе

Реферат

[RU]

Способ поверхностного отжига подложки с нанесенным на нее покрытием, при этом упомянутый способ содержит следующие этапы: подложку (1) с предназначенным для отжига покрытием (2) перемещают под лампой-вспышкой (4), при этом сторона подложки (1), содержащая упомянутое покрытие (2), обращена к лампе-вспышке (4), предназначенное для отжига покрытие облучают мощным импульсным светом, излучаемым лампой-вспышкой (4), через экран (3), находящийся в неподвижном положении относительно лампы-вспышки между лампой-вспышкой и отжигаемым покрытием и содержащий щель, продольная ось которой перпендикулярна к направлению перемещения подложки, при этом частоту лампы-вспышки и скорость перемещения подложки регулируют таким образом, чтобы каждая точка отжигаемого покрытия получала по меньшей мере один световой импульс, отличающийся тем, что расстояние между нижней стороной экрана и поверхностью отжигаемого покрытия не превышает 1 мм, и тем, что форма и протяженность щели являются такими, что экран затеняет отжигаемое покрытие во всех зонах, где сила света, который в отсутствие экрана достигал бы уровня отжигаемого покрытия, меньше пороговой силы света, называемой номинальной силой света.


Полный текст патента

(57) Реферат / Формула:

Способ поверхностного отжига подложки с нанесенным на нее покрытием, при этом упомянутый способ содержит следующие этапы: подложку (1) с предназначенным для отжига покрытием (2) перемещают под лампой-вспышкой (4), при этом сторона подложки (1), содержащая упомянутое покрытие (2), обращена к лампе-вспышке (4), предназначенное для отжига покрытие облучают мощным импульсным светом, излучаемым лампой-вспышкой (4), через экран (3), находящийся в неподвижном положении относительно лампы-вспышки между лампой-вспышкой и отжигаемым покрытием и содержащий щель, продольная ось которой перпендикулярна к направлению перемещения подложки, при этом частоту лампы-вспышки и скорость перемещения подложки регулируют таким образом, чтобы каждая точка отжигаемого покрытия получала по меньшей мере один световой импульс, отличающийся тем, что расстояние между нижней стороной экрана и поверхностью отжигаемого покрытия не превышает 1 мм, и тем, что форма и протяженность щели являются такими, что экран затеняет отжигаемое покрытие во всех зонах, где сила света, который в отсутствие экрана достигал бы уровня отжигаемого покрытия, меньше пороговой силы света, называемой номинальной силой света.


Евразийское (21) 201790593 (13) A1
патентное
ведомство
(12) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К ЕВРАЗИЙСКОЙ ЗАЯВКЕ
(43) Дата публикации заявки 2017.06.30
(22) Дата подачи заявки 2015.08.20
(51) Int. Cl.
H01L 21/324 (2006.01) B23K 26/06 (2014.01)
H01L 21/02 (2006.01)
H01L 21/67 (2006.0l)
(54) СПОСОБ ОТЖИГА ПРИ ПОМОЩИ ЛАМП-ВСПЫШЕК
(31) 1458520
(32) 2014.09.11
(33) FR
(86) PCT/FR2015/052238
(87) WO 2016/038269 2016.03.17
(71) Заявитель:
СЭН-ГОБЭН ГЛАСС ФРАНС (FR)
(72) Изобретатель:
Канова Лоренцо, Мимун Эмманюэль, Дюбо Брис (FR)
(74) Представитель:
Медведев В.Н. (RU) (57) Способ поверхностного отжига подложки с нанесенным на нее покрытием, при этом упомянутый способ содержит следующие этапы: подложку (1) с предназначенным для отжига покрытием (2) перемещают под лампой-вспышкой (4), при этом сторона подложки (1), содержащая упомянутое покрытие (2), обращена к лампе-вспышке (4), предназначенное для отжига покрытие облучают мощным импульсным светом, излучаемым лампой-вспышкой (4), через экран (3), находящийся в неподвижном положении относительно лампы-вспышки между лампой-вспышкой и отжигаемым покрытием и содержащий щель, продольная ось которой перпендикулярна к направлению перемещения подложки, при этом частоту лампы-вспышки и скорость перемещения подложки регулируют таким образом, чтобы каждая точка отжигаемого покрытия получала по меньшей мере один световой импульс, отличающийся тем, что расстояние между нижней стороной экрана и поверхностью отжигаемого покрытия не превышает 1 мм, и тем, что форма и протяженность щели являются такими, что экран затеняет отжигаемое покрытие во всех зонах, где сила света, который в отсутствие экрана достигал бы уровня отжигаемого покрытия, меньше пороговой силы света, называемой номинальной силой света.
оооооооооосх 1
Сила света
2420-540781ЕА/019 СПОСОБ ОТЖИГА ПРИ ПОМОЩИ ЛАМП-ВСПЫШЕК
Настоящее изобретение относится к способу и устройству для быстрого отжига тонких слоев, нанесенных на плоские подложки, при помощи ламп-вспышек.
Известен локальный и быстрый лазерный отжиг {laser flash heating) тонких покрытий, нанесенных на плоские подложки. Для этого подложку с предназначенным для отжига покрытием перемещают под лазерной линией или лазерную линию перемещают под подложкой, на которой находится покрытие (см., например, WO2008/096089 и WO2013/156721).
Лазерный отжиг позволяет нагревать тонкие покрытия до высоких температур, порядка нескольких сот градусов, и одновременно предохранять нижележащую подложку.
Недавно было предложено заменить в таком способе поверхностного отжига лазерные источники света, такие как лазерные диоды, лампами мощного импульсного света (IPL, Intense Pulsed Light), называемые также лампами-вспышками. Так, в международной заявке WO2013/026817 был предложен способ изготовления покрытия с низким коэффициентом излучения, содержащий этап нанесения тонкого слоя на основе серебра, затем этап быстрого поверхностного отжига упомянутого слоя с целью снижения его излучательной способности и повышения его проводимости. Для этапа отжига подложку, покрытую слоем серебра, перемещают под набором ламп-вспышек на выходе поста нанесения слоя.
Сделав попытку воспроизвести этот способ со стеклом Planitherm ONE(r) (светлое стекло, покрытое набором тонких прозрачных слоев, некоторые из которых выполнены из благородных металлов путем нанесения вакуумным катодным напылением), заявитель наблюдал неоднородность внешнего вида покрытия после отжига. На фиг. 1 показано покрытие Planitherm ONE(r) после отжига, осуществленного при помощи ламп-вспышек в следующих условиях:
Сила каждого импульса света: 35 Дж/см2
Продолжительность каждого импульса: 2,7 мс
Частота импульсов: 0,5 Гц
Скорость движения подложки: 0,7 8 м/мин
Приблизительная ширина зоны, облучаемой лампой, в направлении движения подложки: 10 см
Расстояние между лампой-вспышкой и подложкой: 2 0 мм
Наблюдаются периодические полосы на расстоянии друг от друга около 2,6 см, которые отсутствовали на покрытии после нанесения набора слоев Planitherm ONE(r).
Эти полосы не появляются, когда отжиг покрытия осуществляют, перемещая такую же подложку под лазерной линией, состоящей из лазерных диодов. Появление дефектов однородности внешнего вида, по всей видимости, связано с использованием импульсного источника света (лампа-вспышка) вместо источника непрерывного света (лазерный диод).
После многих испытаний, проведенных с целью исследования этого нежелательного явления, заявитель нашел достаточно простое в применении решение, позволяющее значительно уменьшить и даже полностью устранить этот периодический дефект однородности отожженной подложки.
Согласно этому решению, между лампой-вспышкой и предназначенным для отжига покрытием располагают непрозрачный экран, содержащий облучающую щель. Чтобы использование такого экрана позволило уменьшить или устранить дефекты однородности отожженного покрытия, необходимо соблюдать следующие условия:
Экран и облучающая щель должны иметь неподвижное положение относительно лампы-вспышки,
Частота лампы-вспышки и скорость перемещения подложки должны быть такими, чтобы каждая точка покрытия получала по меньшей мере один световой импульс,
Экран необходимо располагать как можно ближе к поверхности отжигаемого покрытия, не дальше чем в нескольких миллиметрах от этой поверхности,
- Форма и протяженность облучающей щели должны быть такими, чтобы экран перехватывал свет лампы, то есть затенял подложку во
всех зонах, где сила света меньше пороговой силы света, называемой в дальнейшем номинальной силой света.
В настоящей заявке "номинальной силой света" называется сила света данной продолжительности, сверх которой второй импульс с силой, превышающей или равной силе первого импульса, и такой же продолжительности не приводит к изменению цвета при отражении от покрытия.
Изменением цвета называют разность (ЛЕ*) между двумя цветами
АЕ * = - L2) + - a2f + {Ьг - b2f
как это определено в колориметрической системе CIE L*a*b* (осветитель D65) . Система CIELab определяет колориметрическое пространство в виде сферы с осью L*, характеризующей светлоту, с осью а* "красный/зеленый" и с осью Ь* "синий/желтый". Значение а*, превышающее 0, соответствует цветам с красной составляющей, отрицательное значение а* - цветам с зеленой составляющей, положительное значение Ь* - цветам с желтой составляющей, и отрицательное значение Ь* - цветам с синей составляющей. В указанной выше формуле Llf а1 и bi являются координатами первого цвета в колориметрическом пространстве CIELab, и L2, а2 и b2 -координатами второго цвета.
Когда отжигаемое покрытие облучают первым импульсом достаточной силы, это облучение приводит к изменению цвета покрытия (AE*i) . Затем, если повторить это излучение с импульсом такой же энергии (такой же силы и такой же продолжительности) , появляющееся дополнительное изменение цвета приводит к общему изменению цвета (АЕ*2) •
Если АЕ2 ПО существу равно АЕ1г ТО есть когда АЕ2 - АЕг меньше или равно 1, считают, что второй импульс не оказал значительного влияния на цвет покрытия и что сила импульса превышает или равна определенной выше номинальной силе.
Если же второй импульс вызвал значительное изменение цвета (АЕ*2 - АЕ*! > 1), считается, что второй импульс оказывает влияние на цвет покрытия и что сила света меньше номинальной силы света.
Разумеется, принимаемые в расчет значения силы света являются значениями, измеряемыми на уровне рабочей плоскости, то есть на уровне отжигаемого покрытия.
Свет, излучаемый лампой-вспышкой, имеет на уровне рабочей плоскости профиль силы света, называемый также профилем плотности мощности, и по меньшей мере одну зону, где сила света превышает или равна определенной выше номинальной силе света, а также другие зоны, как правило, на периферии облучаемой зоны, где сила света меньше номинальной силы света.
Облучающий экран необходимо располагать между лампой и покрытием таким образом, чтобы полностью задерживать свет, который на уровне отжигаемого покрытия имеет значение силы света меньше номинальной силы света. В случае необходимости, экран может задерживать небольшую часть света, которая имеет значение силы света, превышающее или равное номинальной силе.
Объектом настоящего изобретения является способ поверхностного отжига подложки с нанесенным на нее покрытием, при этом упомянутый способ содержит следующие этапы:
подложку с предназначенным для отжига покрытием перемещают под лампой-вспышкой, излучающей мощный импульсный свет, при этом сторона подложки, содержащая упомянутое покрытие, обращена к лампе-вспышке,
предназначенное для отжига покрытие облучают мощным импульсным светом, излучаемым лампой-вспышкой, через экран, находящийся в неподвижном положении относительно лампы-вспышки между лампой-вспышкой и отжигаемым покрытием и содержащий щель, продольная ось которой перпендикулярна к направлению перемещения подложки, при этом частоту лампы-вспышки и скорость перемещения подложки регулируют таким образом, чтобы каждая точка отжигаемого покрытия получала по меньшей мере один световой импуль с,
отличающийся тем, что
расстояние между нижней стороной экрана и поверхностью отжигаемого покрытия не превышает 1 мм, предпочтительно не превышает 50 0 мкм и в идеале не превышает 100 мкм,
и тем, что форма и протяженность щели являются такими, что
экран затеняет отжигаемое покрытие во всех зонах, где сила света, который в отсутствие экрана достигал бы уровня отжигаемого покрытия, меньше пороговой силы света, называемой номинальной силой света.
Каждый раз, когда в настоящей заявке упоминается "лампа-вспышка", этот термин обозначает единственную лампу-вспышку или набор ламп-вспышек, например, 5-20 ламп или 8-15 ламп, предпочтительно расположенных параллельно друг другу и объединенных с одним или несколькими зеркалами. Такой набор ламп-вспышек и зеркал используют, например, в рамках способа, раскрытого в WO 2013/026817. Зеркала предназначены для направления всего света, излучаемого лампами, в сторону подложки и для придания профилю силы света необходимой формы усеченного колокола, имеющего почти постоянный (изменяющийся менее чем на 5%) центральный горизонтальный участок и боковые стороны, где сила света постепенно уменьшается. Эти зеркала могут быть плоскими зеркалами или фокусирующими зеркалами.
Используемые в рамках настоящего изобретения лампы-вспышки, как правило, выполнены в виде стеклянных или кварцевых трубок, запечатанных и заполненных инертным газом, оснащенных электродами на своих концах. Под действием короткого электрического импульса, получаемого при разрядке конденсатора, газ ионизируется и производит исключительно мощный некогерентный свет. Как правило, спектр испускания имеет по меньшей мере две полосы испускания; предпочтительно речь идет о сплошном спектре, имеющем максимум испускания в ближней ультрафиолетовой области.
Предпочтительно лампа является ксеноновой лампой. Она может быть также аргоновой, гелиевой или криптоновой лампой. Предпочтительно спектр испускания имеет несколько полос, в частности, с длинами волн от 160 до 1000 нм.
Предпочтительно продолжительность импульса света (вспышки) составляет от 0,05 до 20 миллисекунд, в частности, от 0,1 до 5 миллисекунд. Частота повторения предпочтительно составляет от 0,1 до 5 Гц, в частности, от 0,2 до 2 Гц.
Предпочтительно лампа или лампы расположены поперечно к двум длинным сторонам подложки. Предпочтительно они имеют длину
не менее 1 м, в частности, не менее 2 м и даже не менее 3 м, чтобы обеспечивать обработку подложек большого размера.
Конденсатор обычно заряжен до напряжения от 500 В до 500 кВ. Предпочтительно плотность тока составляет не менее 5000 А/см2. Общая плотность энергии, излучаемой лампами-вспышками, в отношении к площади покрытия предпочтительно составляет от 1 до 100 Дж/см2, предпочтительно от 2 до 30 Дж/см2 и, в частности, от 5 до 2 0 Дж/см2.
Предпочтительно подложка, на которой нанесено
предназначенное для отжига покрытие, выполнена из стекла или из стеклокерамики. Предпочтительно она является прозрачной, бесцветной (светлое или сверхсветлое стекло) или цветной, например, синего, серого, зеленого или бронзового цвета. Предпочтительно стекло является щелочно-известковым силикатным стеклом, но может быть боросиликатным или алюмосиликатным. Предпочтительно подложка имеет по меньшей мере один размер, превышающий или равный 1 м, даже 2 м и даже 3 м. Как правило, толщина подложки колеблется от 0,1 мм до 19 мм, предпочтительно от 0,7 до 9 мм, в частности, от 1 до б мм и даже от 2 до 4 мм.
Материал предназначенного для отжига покрытия в принципе может быть любым органическим или минеральным материалом, который не разрушается при обработке поверхностного отжига и физические свойства которого, в частности, цвет, меняются в результате этой обработки.
Предпочтительно речь идет о минеральном покрытии, в частности, о покрытии, содержащем один или несколько слоев металлического оксида и/или один или несколько слоев металла, предпочтительно благородного металла в металлическом состоянии.
В варианте выполнения отжигаемое покрытие предпочтительно содержит по меньшей мере один слой прозрачного проводящего оксида (ТСО от английского transparent conductive oxide) . Предпочтительно этот оксид выбирают из оксида олова и индия (ITO), оксида индия и цинка (IZO), оксида олова, легированного сурьмой или фтором (АТО и FTO), оксида цинка, легированного алюминием (AZO) и/или галлием (GZO) и/или титаном, оксида титана, легированного ниобием и/или танталом, станната кадмия
или цинка.
Наиболее предпочтительным оксидом является оксид олова и индия, часто называемый "1Т0". Атомное процентное содержание Sn предпочтительно находится в интервале от 5 до 70%, в частности, от б до 60%, предпочтительно от 8 до 12%. По сравнению с другими проводящими оксидами, такими как оксид олова, легированный фтором, ITO обладает более высокой электрической проводимостью, что позволяет применять небольшие значения толщины для получения хорошего уровня коэффициента излучения или удельного сопротивления.
В другом варианте выполнения предназначенное для отжига покрытие содержит один или несколько тонких слоев металла, в частности, благородного металла, как правило, слои на основе серебра или золота, предпочтительно по меньшей мере один слой серебра.
Физическая толщина отжигаемого покрытия предпочтительно по меньшей мере равна 30 нм и не превышает 5000 нм, предпочтительно составляет от 50 нм до 2000 нм.
В рамках заявленного способа подложку с предназначенным для отжига покрытием перемещают под или перед лампами-вспышками, частично закрытыми облучающим экраном.
Чтобы повысить энергетическую эффективность способа, предпочтительно лампы-вспышки располагают близко к отжигаемому покрытию, предпочтительно на расстоянии менее 2 0 см и, в частности, менее 5 см. Чем меньше это расстояние, тем больше сила света на уровне рабочей плоскости (отжигаемого покрытия) при данной рабочей мощности.
Облучающий экран содержит щель, продольная ось которой перпендикулярна к направлению перемещения подложки. Наиболее простой формой щели, обеспечивающей однородное облучение отжигаемого покрытия, является прямоугольник. Таким образом, предпочтительно щель имеет по существу прямоугольную форму. Вместе с тем, можно предусматривать также менее предпочтительные и более сложные формы, и изобретение не ограничивается вариантом выполнения, в котором щель является прямоугольником. Щель в виде дуги, зигзага или волны может быть эквивалентом прямоугольной
щели, при условии, что входной край и выходной край щели
являются параллельными, что позволяет идеально располагать рядом
(без промежутков) зоны облучения, соответствующие
последовательным световым импульсам.
Подложку, содержащую предназначенное для отжига покрытие, можно приводить в движение при помощи любых соответствующих механических конвейерных средств, например, при помощи поступательно перемещающихся лент, роликов, поддонов. Конвейерная система позволяет контролировать и регулировать скорость перемещения.
Скорость перемещения подложки регулируют в зависимости от частоты импульсов и от ширины щели или экрана таким образом, чтобы каждая точка покрытия получала по меньшей мере один световой импульс, иначе говоря, скорость перемещения должна быть меньше или равна соотношению L/P ширины (L) щели к периоду (Р) между двумя импульсами.
При частоте излучения 1 Гц и ширине щели 10 см скорость перемещения подложки не должна превышать 10 см/сек. Когда скорость перемещения подложки меньше L/P, некоторое количество точек получают два световых импульса (зона перекрывания) , что не очень желательно с точки зрения энергетической эффективности способа. Вместе с тем, наличие относительно узкой зоны перекрывания обеспечивает сплошной характер облучаемой зоны в случае незначительных колебаний скорости перемещения.
Следовательно, в предпочтительном варианте осуществления способа в соответствии с настоящим изобретением частота лампы-вспышки, ширина щели и скорость перемещения подложки являются такими, при которых не менее 90%, предпочтительно не менее 95% и еще предпочтительнее не менее 98% точек отжигаемого покрытия получают только один световой импульс. Иначе говоря, не более 10%, предпочтительно не более 5% и еще предпочтительнее не более 2% точек покрытия получают два световых импульса.
Таким образом, предпочтительно скорость перемещения подложки находится в интервале от L/P до 0,9 L/P.
Предпочтительно скорость перемещения подложки, содержащей предназначенное для отжига покрытие, составляет от 0,1 до 30
м/мин, предпочтительно от 1 до 20 м/мин и, в частности, от 2 до 10 м/мин.
Предпочтительно ширина облучающей щели составляет от 1 до 50см, предпочтительно от 5 до 20 см.
Длина щели по существу равна ширине предназначенного для отжига покрытия, а именно, как правило, равна по меньшей мере 1 м, предпочтительно равна по меньшей мере 2 м, в частности, равна по меньшей мере 3 м.
Как было указано выше, облучающий экран должен находиться как можно ближе к отжигаемому покрытию, то есть расстояние между его внутренней стороной и поверхностью отжигаемого покрытия не должно превышать 1 мм, предпочтительно не превышает 500 мкм и в идеале равно не более 100 мкм.
Разумеется, в рамках непрерывного процесса, который предусматривает непрерывное движение подложки под неподвижными лампами или непрерывное движение лампы и экрана относительно неподвижной подложки, невозможно располагать экран в контакте с отжигаемым покрытием. Чтобы корректировать расстояние между экраном и отжигаемым покрытием, необходимо учитывать волнистость поверхности подложки, которая отражается на поверхности отжигаемого покрытия.
Поэтому важно понять, что существует не только максимальное расстояние между экраном и поверхностью покрытия, но также минимальное расстояние, которое должно быть достаточным, чтобы гарантировать отсутствие контакта между экраном и покрытием. Разумеется, это минимальное расстояние зависит от плоскостности подложки и/или от шероховатости покрытия. Оно может быть равно, например, 10 мкм, даже 2 0 мкм или даже 50 мкм.
Объектом настоящего изобретения является также устройство для поверхностного отжига подложки, содержащей предназначенное для отжига покрытие, выполненное с возможностью осуществления заявленного способа.
Заявленное устройство содержит
лампу-вспышку, выполненную с возможностью излучения мощного импульсного света,
- средство транспортировки, позволяющее перемещать плоскую
подложку с отжигаемым покрытием перед лампой-вспышкой,
- экран, находящийся в неподвижном положении относительно лампы-вспышки между лампой-вспышкой и средством транспортировки, при этом упомянутый экран содержит щель, продольная ось которой перпендикулярна к направлению перемещения подложки и которая расположена таким образом, чтобы излучаемый лампой-вспышкой свет проходил через щель в направлении плоской подложки, на которой находится предназначенное для отжига покрытие,
и дополнительно содержит средства регулирования расстояния между экраном и средством транспортировки, выполненные таким образом, чтобы расстояние между внутренней стороной экрана и поверхностью отжигаемого покрытия можно было регулировать до значения менее 1 мм, предпочтительно менее 500 мкм, в частности, менее 100 мкм.
Предпочтительно экран выполнен из металлического материала, как правило, из алюминия или меди.
Он может быть покрыт поглощающим слоем или может быть подвергнут обработке анодирования, которая делает его поглощающим, чтобы поглощать весь задерживаемый им свет. В этом случае корпус экрана предпочтительно входит в контакт с контуром охлаждения, чтобы поддерживать его температуру ниже 100°С, предпочтительно ниже 50°С.
Другой возможностью является применение отражающего рассеивающего слоя для экрана, чтобы задерживаемый свет не поглощался, а рассеивался, что позволяет уменьшить силу отраженного света и, следовательно, его опасность.
Толщина экрана на уровне краев щели должна быть как можно меньше, предпочтительно меньше 50 0 мкм, даже меньше 2 00 мкм и даже меньше 100 мкм.
Чтобы обеспечить механическую жесткость экрана и его охлаждение, его части, наиболее удаленные от щели, могут быть более толстыми. При этом края щели можно выполнить скошенными, чтобы свет задерживался самой тонкой частью.
Изобретение будет более понятно при рассмотрении фигур.
На фиг. 1 показана фотография подложки с покрытием из
Planitherm ONE(r), облученным в описанных выше условиях в отсутствие экрана. На фотографии видны периодические горизонтальные полосы, отстоящие друг от друга примерно на 2,6 см.
Фиг. 2 - фотография подложки из Planitherm ONE(r), обработанной при помощи заявленного способа. Полосы, видимые на фиг. 1, полностью исчезли, благодаря применению экрана в условиях в соответствии с изобретением.
Фиг. 3 - пояснительная схема, иллюстрирующая работу заявленного способа и, в частности, соответствующее расположение облучающего экрана в связи с профилем силы света ламп.
На этой фиг. 3 сплошная плоская подложка 1, содержащая предназначенное для отжига покрытие 2, перемещается на роликах б в направлении движения, показанном стрелкой.
Предназначенное для отжига покрытие 21 облучают светом, излучаемым набором ламп 4 и направляемым вниз при помощи набора зеркал 5 через экран 3. Расстояние между двумя частями экрана 3 соответствует ширине продольной щели.
Расстояние между внутренней стороной экрана 3 и верхней стороной отжигаемого покрытия 2 меньше 1 мм.
В нижней части фигуры показан профиль силы светового импульса, который существовал бы на уровне отжигаемого покрытия 2 в отсутствие экрана 3. Экран 3 расположен таким образом, чтобы свет, имеющий силу меньше номинальной силы, задерживался непрозрачными зонами экрана.
ФОРМУЛА ИЗОБРЕТЕНИЯ
1. Способ поверхностного отжига подложки с нанесенным на нее покрытием, при этом упомянутый способ содержит следующие этапы:
- подложку (1) с предназначенным для отжига покрытием (2) перемещают под лампой-вспышкой (4), излучающей мощный импульсный свет, при этом сторона подложки, содержащая упомянутое покрытие, обращена к лампе-вспышке,
предназначенное для отжига покрытие облучают мощным импульсным светом, излучаемым лампой-вспышкой, через экран (3), находящийся в неподвижном положении относительно лампы-вспышки между лампой-вспышкой и отжигаемым покрытием и содержащий щель, продольная ось которой перпендикулярна к направлению перемещения подложки, при этом частоту лампы-вспышки и скорость перемещения подложки регулируют таким образом, чтобы каждая точка отжигаемого покрытия получала по меньшей мере один световой импуль с,
отличающийся тем, что
расстояние между нижней стороной экрана и поверхностью отжигаемого покрытия не превышает 1 мм, предпочтительно не превышает 50 0 мкм и в идеале не превышает 100 мкм,
и тем, что форма и протяженность щели являются такими, что экран затеняет отжигаемое покрытие во всех зонах, где сила света, который в отсутствие экрана достигал бы уровня отжигаемого покрытия, меньше пороговой силы света, называемой номинальной силой света.
2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что щель имеет по существу прямоугольную форму.
3. Способ по п. п. 1 или 2, отличающийся тем, что частота лампы-вспышки, ширина щели и скорость перемещения подложки являются такими, при которых не менее 90%, предпочтительно не менее 95% и еще предпочтительнее не менее 98% точек отжигаемого покрытия получают только один световой импульс.
4. Способ по любому из предыдущих пунктов, отличающийся тем, что длина щели по существу равна ширине предназначенного для отжига покрытия.
2.
5. Способ по одному из предыдущих пунктов, отличающийся тем, что ширина предназначенного для отжига покрытия равна по меньшей мере 1 м, предпочтительно равна по меньшей мере 2 м и, в частности, равна по меньшей мере 3 м.
6. Способ по одному из предыдущих пунктов, отличающийся тем, что ширина щели составляет от 1 до 50см, предпочтительно от 5 до 2 0 см.
7. Способ по любому из предыдущих пунктов, отличающийся тем, что скорость перемещения подложки, содержащей предназначенное для отжига покрытие, составляет от 0,1 до 30 м/мин, предпочтительно от 1 до 20 м/мин и, в частности, от 2 до 10 м/мин.
8. Способ по любому из предыдущих пунктов, отличающийся тем, что предназначенное для отжига покрытие содержит по меньшей мере один слой металла, предпочтительно слой серебра или по меньшей мере один слой прозрачного проводящего оксида.
9. Устройство для поверхностного отжига подложки,
содержащей предназначенное для отжига покрытие, содержащее
- лампу-вспышку (4), выполненную с возможностью излучения мощного импульсного света,
средство (б) транспортировки, позволяющее перемещать плоскую подложку (1) с отжигаемым покрытием (2) перед лампой-вспышкой,
экран (3), находящийся в неподвижном положении относительно лампы-вспышки между лампой-вспышкой и средством транспортировки, при этом упомянутый экран содержит щель, продольная ось которой перпендикулярна к направлению перемещения подложки и которая расположена таким образом, чтобы излучаемый лампой-вспышкой свет проходил через щель в направлении плоской подложки, на которой находится предназначенное для отжига покрытие,
отличающееся тем, что содержит средства регулирования расстояния между экраном и средством транспортировки, выполненные таким образом, чтобы расстояние между внутренней стороной экрана и поверхностью отжигаемого покрытия можно было регулировать до значения менее 1 мм, предпочтительно менее 500 мкм, в частности, менее 100 мкм.
По доверенности
1/2
Jmrnmrnm
ФИГ. 1
ФИГ. 2
540781
2/2
ФИГ. 3
(19)
(19)
(19)
(19)