В начало Российская ФедерацияРоссийская Федерация РОСПАТЕНТ

Российская Федерация Российская Федерация
C30B 23/00 - Выращивание монокристаллов конденсацией испаряемого или сублимируемого материала [3]
 23/02выращивание эпитаксиальных слоев [3]
 23/04. . отложение образцов, например с использованием защитных слоев [3]
 23/06. . нагревание камеры для осаждения, подложки или испаряемого материала [3]
 23/08. . конденсацией ионизированных паров (разбрызгиванием продуктов реакции C30B 25/06) [3]