В начало Российская ФедерацияРоссийская Федерация РОСПАТЕНТ

Российская Федерация Российская Федерация
B81B 7/00 - Микроструктурные системы [7]
 7/02содержащие отдельные электрические или оптические устройства, необходимые для их функционирования, например микроэлектромеханические системы (МЭМС) (B81B 7/04 имеет преимущество) [7]
 7/04Схемы или матрицы микроструктурных элементов [7]