|
|
H01L 49/00 - Приборы на твердом теле, не предусмотренные в группах H01L 27/00 - H01L 47/00 и H01L 51/00 и не предусмотренные ни в одном другом подклассе; способы и устройства, специально предназначенные для изготовления таких приборов или их частей [2,8]
| | 49/02 | . | тонкопленочные или толстопленочные приборы [2] |
| |