| | 27/02 | . | ионные источники; ионные пушки [3] |
| | 27/04 | . . | с использованием отражательного разряда, например ионные источники Пеннинга [3] |
| | 27/06 | . . | . | без магнитного поля [3] |
| | 27/08 | . . | с использованием дугового разряда [3] |
| | 27/10 | . . | . | дуоплазматроны [3] |
| | 27/12 | . . | . . | снабженные цилиндром разложения [3] |
| | 27/14 | . . | . | другие ионные источники на дуговом разряде с использованием магнитного поля [3] |
| | 27/16 | . . | с использованием высокочастотного возбуждения, например сверхвысокочастотного [3] |
| | 27/18 | . . | . | с аксиальным магнитным полем [3] |
| | 27/20 | . . | с использованием бомбардировки частицами, например ионизаторы [3] |
| | 27/22 | . . | . | металлические ионные источники [3] |
| | 27/24 | . . | с использованием фотоионизации, например с использованием лазерного луча [3] |
| | 27/26 | . . | с использованием поверхностной ионизации, например ионные источники с эмиссией под действием поля, термоионные источники ионов (27/20,27/24 имеют преимущество) [3] |