|
|
C30B 23/00 - Выращивание монокристаллов конденсацией испаряемого или сублимируемого материала [3]
| | 23/02 | . | выращивание эпитаксиальных слоев [3] |
| | 23/04 | . . | отложение образцов, например с использованием защитных слоев [3] |
| | 23/06 | . . | нагревание камеры для осаждения, подложки или испаряемого материала [3] |
| | 23/08 | . . | конденсацией ионизированных паров (разбрызгиванием продуктов реакции 25/06) [3] |
| |