| 50/10 | . | проверка фотоэлектрических устройств, например фотоэлектрических модулей или отдельных фотоэлектрических элементов (тестирование полупроводниковых устройств в процессе изготовления H01L 21/66) [2014.01] | |||||||
| 50/15 | . . | с использованием оптических средств, например с использованием электролюминесценции [2014.01] | |||||||