G01Q 10/00 - Устройства сканирования или позиционирования, т.е. устройства для активного управления движением или положением зонда [2010.01]
10/02
.
грубое сканирование или позиционирование [2010.01]
10/04
.
тонкое сканирование или позиционирование [2010.01]
10/06
. .
схемы или алгоритмы для этого [2010.01]