G01J 9/00 - Измерение оптической разности фаз (управление фазой световых лучей G 02F 1/01); определение степени когерентности; измерение оптической длины волны (спектрометрия G 01J 3/00) [3]
| | 9/02 | . | методами интерферометрии (использование интерферометров для оптических методов измерения линейных размеров предметов G 01B 9/02) [3] |
| | 9/04 | . | методом биения двух волн различной частоты от одного источника и измерением сдвига фазы результирующей волны более низкой частоты [3] |
|
 |
МПК7
